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    高次谐波体声波谐振器的有效机电耦合系数  CNKI文献

    高次谐波体声波谐振器HBAR(High-overtone Bulk Acoustic Resonator)由基底、压电薄膜和上下电极组成,系统地研究了它们的结构参数(厚度)和性能参数(特性阻抗)对HBAR的重要性能参数有效机电耦合系数K_(eff)~2的影响。...

    李鉴 汪承灏... 《声学学报》 2016年01期 期刊

    关键词: 厚度 / 变化曲线 / 压电层 / 集总参数等效电路

    下载(243)| 被引(8)

    ZnO薄膜硅微压电矢量水听器  CNKI文献

    提出了一种基于ZnO压电薄膜的硅微压电矢量水听器,其核心部件是利用微电子机械系统(MEMS)技术制作的悬臂梁结构压电加速度计。由近似解析和有限元分析,得出加速度计的灵敏度和谐振频率,并在此基础上对其进行了优化设计...

    李俊红 魏建辉... 《声学学报》 2016年03期 期刊

    关键词: 水听器 / 水声换能器 / 压电加速度计 / 压电式加速度计

    下载(304)| 被引(3)

    高次谐波体声波谐振器的机械品质因数  CNKI文献

    机械品质因数QM是高次谐波体声波谐振器(High-overtone Bulk Acoustic Resonator,HBAR)一个关键的特性参数。首次较系统地研究了QM随构成HBAR的3个组成部分(基底、压电薄膜和电极)的结构参数(厚度)和性能参数(特性阻抗...

    李鉴 刘梦伟... 《声学学报》 2016年05期 期刊

    关键词: 机械品质因数 / 变化曲线 / 压电薄膜 / QM

    下载(114)| 被引(4)

    高次谐波体声波谐振器机械品质因数的谐振谱特性  CNKI文献

    高次谐波体声波谐振器(High-overtone Bulk Acoustic Resonator,HBAR)是由基底、压电薄膜及上下电极所组成的器件,它具有高的品质因数Q和多模谐振频谱特性.从给出HBAR的谐振谱出发,以各层的结构(厚度)和材料特性(特性...

    李鉴 高翔... 《声学学报》 2020年01期 期刊

    关键词: 压电薄膜 / 变化曲线 / 基底材料 / 机械品质因数

    下载(24)| 被引(0)

    基于圆形振动膜的MEMS压电传声器研究  CNKI文献

    为提高微电子机械系统(Micro-electro-mechanical systems,MEMS)压电传声器的灵敏度和成品率,提出一种优化设计的圆形振动膜MEMS压电传声器。采用硼扩散方法实现振动膜的圆形支撑墙,避免由于方形支撑墙造成的四角应力...

    李俊红 汪承灏... 《机械工程学报》 2012年18期 期刊

    关键词: 微机电系统 / 压电微传声器 / 圆形振动膜 / 分割电极

    下载(196)| 被引(3)

    Design and fabrication of a MEMS Lamb wave device base...  CNKI文献

    This paper presents the design and fabrication of a Lamb wave device based on ZnO piezoelectric film. The Lamb waves were respectively launched and received by both Al interdigital transducers.In ord...

    刘梦伟 李俊红... 《半导体学报》 2011年04期 期刊

    关键词: Lamb / wave / MEMS / ZnO

    下载(103)| 被引(10)

    微纳相控线阵超声换能器参数的理论分析  CNKI文献

    微纳相控线阵超声换能器参数(阵元数目、阵元宽度及阵元间距)直接影响其横向声场分布,而其横向声场分布是能否实现高成像分辨率、大探测深度的决定性因素,也是制备换能器的主要依据。该文利用数值模拟研究微纳相控线阵...

    姜雪娇 刘梦伟... 《应用声学》 2018年06期 期刊

    关键词: 微纳 / 相控线阵 / 横向声场分布 / 理论分析

    下载(43)| 被引(0)

    一种用于深空探测的宽带低功耗频谱仪的设计与试验  CNKI文献

    本文针对行星大气探测、彗星与小行星探测等深空探测需求,研究面向深空探测的宽带低功耗频谱仪技术。根据深空探测低功耗、抗辐照等应用需求,研究基于大时间带宽积声表面波信号处理器的Chirp变换谱分析仪的关键技术。...

    贺小琦 董晓龙... 《电子设计工程》 2019年03期 期刊

    关键词: 深空探测 / chirp变换 / 声表面波滤波器 / 频谱分析

    下载(34)| 被引(0)

    Chirp变换频谱分析仪的设计及其数字部分的实现  CNKI文献

    太赫兹频谱分析仪应用技术中,Chirp变换频谱分析应用了声表面波滤波器件,能够保障中频、分辨率等参数,满足深空探测领域对稳定性和功耗的严格要求。但目前国内的Chirp变换频谱分析仪只能处理400 MHz带宽的输入信号,不...

    周海松 马骊群... 《计测技术》 2019年05期 期刊

    关键词: 太赫兹 / 频谱分析仪 / 基于声表面波的Chirp变换 / 1

    下载(20)| 被引(0)

    基于高次谐波体声波谐振器的微波振荡器设计  CNKI文献

    基于高次谐波体声波谐振器(HBAR)的高品质因数(Q)值和多模谐振特性,设计了Colpitts和Pierce两种形式的微波振荡器。采用HBAR与LC元件组成谐振回路的方法,与放大电路构成反馈环路直接基频输出微波频段信号。Colpitts振...

    闫波 刘梦伟... 《压电与声光》 2018年01期 期刊

    关键词: 高次谐波体声波谐振器 / 微波 / 振荡器 / 相位噪声

    下载(61)| 被引(1)

    基于ZnO薄膜的高次谐波体声波谐振器的研究  CNKI文献

    基于氧化锌(ZnO)作压电层和蓝宝石作基底的高次谐波体声波谐振器(HBAR),采用不同电极材料和溅射方法进行优化。优化选定镀铬-金/氧化锌/铬-金/蓝宝石结构。对制备的器件进行了测试分析,结果显示,具有多模谐振特性的HB...

    朱明博 刘梦伟... 《应用声学》 2013年03期 期刊

    关键词: 体声波谐振器 / Q值 / ZnO薄膜 / Mason模型

    下载(112)| 被引(3)

    薄膜体声波谐振器横向杂散模式三维仿真分析  CNKI文献

    利用有限元分析软件ANSYS建立了FBAR三维振动模型,分析了不同有效区域形状(方形、圆形、非正五边形)、不同有效区域面积(10 000μm~2、15 625μm~2、22 500μm~2、30 625μm~2、40 000μm~2)和不同压电层材料(AlN、Zn...

    张玲玲 刘梦伟... 《压电与声光》 2017年03期 期刊

    关键词: 薄膜体声波谐振器 / 谐响应 / 横向杂散模式 / 有限元

    下载(105)| 被引(0)

    高次谐波体声波谐振器机械品质因数的测量  CNKI文献

    高次谐波体声波谐振器(HBAR)具有高的机械品质因数(Q_M)和多模谐振谱特性,其在频率控制系统中具有重要应用。对制备的Al/Zn O/Au/Sapphire结构HBAR器件进行了Q_M的测定,从实际的测试系统出发,给出了它的等效电路,通过...

    李鉴 高翔... 《应用声学》 2018年01期 期刊

    关键词: 高次谐波体声波谐振器 / 机械品质因数 / 等效电路

    下载(64)| 被引(0)

    基于高次谐波体声波谐振器的微波跳频源研究  CNKI文献

    频率信号源已经成为现代通信系统的核心部件,是决定系统性能的关键设备。采用MEMS工艺实验制备了Al-Zn O-Au-Sapphire结构的高次谐波体声波谐振器(HBAR),基于HBAR的高Q值、多模谐振特性,研究实现了高性能的微波点频源...

    闫波 刘梦伟... 《微波学报》 2018年04期 期刊

    关键词: 频率信号源 / 微机电系统 / 高次谐波体声波谐振器 / 跳频

    下载(37)| 被引(0)

    基于PZT薄膜面内极化工作的低应力压电微传声器  CNKI文献

    本文设计、制作并测试了一种基于压电PZT薄膜面内极化工作的压电微传声器.利用压电薄膜的纵向压电常数,并通过压电微传声器面内电极的设计提高电极间距,以提高压电微传声器的灵敏度.由于基于PZT薄膜的多层结构常具有很...

    刘梦伟 汪承灏... 《纳米技术与精密工程》 2011年04期 期刊

    关键词: 微机电系统 / PZT薄膜 / 面内极化 / 压电微传声器

    下载(151)| 被引(0)

    微型硅基弯曲板波器件  CNKI文献

    介绍了基于ZnO压电薄膜的微型弯曲板波(FPW)器件的设计与制作。为减小薄膜的应力,器件采用LTO/ZnO/LTO/Si3N4多层复合板结构,并采用直流磁控溅射工艺制备ZnO压电薄膜,在压电复合板结构上沉积两对叉指电极,分别用于Lam...

    李新 刘梦伟... 《传感技术学报》 2012年04期 期刊

    关键词: 弯曲板波 / ZnO压电薄膜 / 多层复合板 / 叉指电极

    下载(56)| 被引(0)

    一种深空探测用声表面波Chirp变换谱分析系统  CNKI文献

    0引言深空探测特别是对太阳系其他行星及小行星、彗星等小天体的探测是我国空间探测的重要发展方向。空间探测中天体上的特征谱线都处于毫米波到太赫兹波段,因此,毫米波太赫兹谱仪是进行天体上的气态物质、挥发物和表...

    刘梦伟 宫俊杰... 2018年全国声学大会论文集 G微声学 2018-11-10 中国会议

    关键词: 深空探测 / 声表面波 / Chirp / 分析系统

    下载(13)| 被引(0)

    微纳相控线阵换能器的声场分析与测试  CNKI文献

    0引言本文研究制备的微纳线性相控阵超声换能器是一种传统平面超声相控阵工艺和微加工工艺相结合的用于微尺度特征超声检测的超声线性相控阵换能器,检测分辨率达10-100微米量级,工作频率达10-100MHz量级,可以穿透多种...

    姜雪娇 刘梦伟... 2018年全国声学大会论文集 G微声学 2018-11-10 中国会议

    关键词: 相控阵换能器 / 分辨率 / 线阵换能器 / 阵元间距

    下载(13)| 被引(0)

    基于PZT薄膜面内极化工作的硅微传声器设计与制作  CNKI文献

    1引言硅微传声器是声学微机电系统(Acoustic MEMS)的重要组成部分,主要分为电容式微传声器和压电式微传声器,目前,电容式微传声器已经走向产业化。与电容式相比,压电式微传声器具有

    刘梦伟 汪承灏... 2008年全国声学学术会议论文集 2008-10-01 中国会议

    关键词: 硅微传声器 / 压电传声器 / 面内极化 / PZT

    下载(32)| 被引(0)

    适用于压电硅微传声器的PZT压电薄膜的研制  CNKI文献

    1引言硅微压电传声器相对于电容传声器具有制备工艺简单,不需要复杂的气隙制备工艺;工作时,利用的是压电薄膜的压电效应,因此不需要偏置极化电压,这样大大方便了传感器和电路的集成;其频率动态范围要比电容式的宽;内阻...

    李俊红 汪承灏... 2008年全国声学学术会议论文集 2008-10-01 中国会议

    关键词: 压电薄膜 / 电介质薄膜 / 硅微传声器 / 压电传声器

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