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    基于直线位移传感器的机械手柔性控制  CNKI文献

    在双极性功率半导体器件如晶闸管的制造工艺中,需要对经过激光割圆工艺切割后的芯片进行喷砂整形,以符合后续工艺对外观形状的精密要求,目前工艺中使用的喷砂设备的喷嘴进给系统均采用手动丝杆调节,难以保证加工的一致...

    马宁强 张琦 《仪表技术与传感器》 2013年09期 期刊

    关键词: 功率半导体 / 喷砂工艺 / 智能机械手 / 伺服控制

    下载(102)| 被引(4)

    基于PLC网络通信的喷射腐蚀机控制系统的研究  CNKI文献

    介绍了功率半导体工艺设备——喷射腐蚀机的控制系统构成,应用PLC网络通信理论,给出了网络拓扑图,构建了基于MPI和Profibus总线的多网络混合型网络系统,通过创建链接和编制网络通信程序,实现了对高精度喷射腐蚀机的自...

    马宁强 张琦... 《化工自动化及仪表》 2013年08期 期刊

    关键词: 功率半导体器件 / 喷射腐蚀机 / MPI网络 / Profibus-DP通信

    下载(34)| 被引(4)

    刻蚀设备中射频功率全态输出技术的研究  CNKI文献

    本文主要讲述了刻蚀设备在进行工艺时,射频发生器产生的射频信号输出到自动匹配网络,然后输入到工艺腔室的下电极。在整个刻蚀过程中,反射功率无限小,射频功率全态输出,不仅损耗减少,而且可以提高刻蚀效率。

    赵涛 陈黄鹂... 《价值工程》 2018年25期 期刊

    关键词: 射频发生器 / 自动匹配网络 / 反射功率

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    特高压晶闸管掺杂技术研究  CNKI文献

    特高压晶闸管半导体芯片主要通过掺杂技术形成。高均匀性、高寿命掺杂技术是获得高品质特高压晶闸管的根本保证。本文通过一系列大胆的创新方法和先进"6σ设计[1]"的控制措施,成功研制了世界上首只6英寸400...

    高山城 罗艳红... 《价值工程》 2014年17期 期刊

    关键词: 晶闸管 / 掺杂技术 / 特高压直流输电 / 6σ设计

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