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    不同衬底材料的ZnO/Si异质结I-V及光电特性  CNKI文献

    采用脉冲激光沉积(PLD)技术和微电子平面工艺,用不同表面掺杂的Si作为衬底制备了ZnO/Si异质结,并且以p-Si(p-)为衬底制备了ZnO(含Mn0.2%)/Si异质结、包含SiC缓冲层的ZnO/SiC/Si和ZnO(含Mn0.2%)/SiC/Si结构,测试了样品...

    刘峥嵘 谢家纯... 《中国科学技术大学学报》 2008年11期 期刊

    关键词: ZnO / SiC / 脉冲激光沉积 / 异质结

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    SiC缓冲层对Si表面生长的ZnO薄膜结构和光电性能的改善  CNKI文献

    用脉冲激光沉积(PLD)技术制备了ZnO/SiC/Si和ZnO/Si薄膜并制成了紫外探测器。利用X射线衍射(XRD),光致发光(PL)谱,I-V曲线和光电响应谱对薄膜的结构和光电性能进行了研究。实验结果表明:SiC缓冲层改善了ZnO薄膜的结晶...

    康朝阳 赵朝阳... 《发光学报》 2009年06期 期刊

    关键词: ZnO薄膜 / Si(111)衬底 / SiC缓冲层 / 光电性能

    下载(128)| 被引(2)

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