大面积热反射薄膜材料的制备梁厚蕴娄朝刚张学华闫宝明（北京有色金属研究总院１０００８８）关键词：磁控溅射热反射薄膜材料薄膜材料以其特有的物理、化学性能应用在材料改性、微电子学、建筑材料以及装饰、装璜等方...
用两种靶材,采用磁控反应溅射沉积Ti-Al-V-N薄膜。XRD和XPS测定薄膜的结构主要为BI-NaCl型Ti(Al、V)N相。SEM观察确定微观结构比较致密,晶粒直径约0.1μm;元素面分布均匀;主要成份与靶材基本一致。氧化试验表明Ti(Al、...
本文简要介绍了世界发达国家PVD(物理气相沉积)涂层刀具的发展趋势。对可用于硬质合金涂层的三种PVD技术、涂层的组织结构特征、性能进行了评述,同时与未涂屡、CVD(化学气相沉积)涂层作了比较。
采用电子束蒸发的方法制备ＺｒＯ２薄膜，经Ｘ射线衍射和Ｘ光电子能谱分析证实：薄膜为具有立方结构的ＺｒＯ２薄膜，薄膜中缺氧，Ｙ原子的百分含量比蒸发原料中高．
