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    CNKI为你找到相关结果

    静电梳齿驱动结构的稳定性分析  CNKI文献

    静电梳齿驱动结构的最大驱动位移主要受限于其侧向不稳定性,即当驱动电压接近吸合电压时,静电梳齿驱动结构的活动梳齿与固定梳齿发生吸合,导致静电梳齿驱动器失效。建立典型静电梳齿驱动结构的稳定性分析模型,研究梳齿...

    张峰 苑伟政... 《传感技术学报》 2011年08期 期刊

    关键词: 静电梳齿驱动结构 / 稳定性 / 侧向吸合 / 刚度

    下载(326)| 被引(14)

    一种低噪声MEMS加速度计设计与制作  CNKI文献

    为了提高微加速度计的噪声性能,研究了一种基于绝缘体上硅(SOI)技术的单轴MEMS加速度计的设计和加工方案。该微加速度计采用大面积质量块的电容式检测结构,通过增加检测质量,在保证灵敏度的前提下,有效地降低了微加速...

    宋萌 常洪龙... 《传感器与微系统》 2014年09期 期刊

    关键词: 微电子机械系统 / 加速度计 / 低噪声 / 高灵敏度

    下载(333)| 被引(5)

    Z轴微机械陀螺的集成设计技术  CNKI文献

    微机电系统(Micro Electro-Mechanical Systems,MEMS)以其体积小、重量轻、性能稳定、可批量生产等特点在世界范围内的各个领域得到了广泛的应用,尤其是在需要尽量减小器件重量和体积的航空、航天领域更是发挥着越来越...

    谢建兵 导师:苑伟政 西北工业大学 2006-06-30 硕士论文

    关键词: Z轴微机械陀螺 / 集成设计 / 机械耦合 / 系统级

    下载(315)| 被引(9)

    多环谐振微机械陀螺的研究现状及发展趋势  CNKI文献

    微机械陀螺是一种新型的陀螺,近年来随着微机电技术的发展,其性能不断得到提高。基于多环谐振微机械陀螺的发展现状,详细评述了多环谐振陀螺的来源以及其由单环到多环的结构发生改变的优点。并基于驻波进动原理,介绍了...

    杜宜璋 常洪龙... 《导航与控制》 2019年04期 期刊

    关键词: 微机械环形陀螺 / 微加工技术 / 驻波进动原理 / 键合

    下载(102)| 被引(1)

    电容式微机械陀螺接口电路噪声分析  CNKI文献

    电容式微机械陀螺接口电路的噪声抑制特性直接影响了其关键性能指标,是微机械陀螺研究的重点。基于电荷放大器为前置放大电路的微机械陀螺接口电路为研究对象,建立了包含运放输入电容、输入电阻、噪声电流、噪声电压、...

    蒋庆华 苑伟政... 《电子测量技术》 2012年05期 期刊

    关键词: 微机电系统 / 接口电路 / 噪声分析 / 微机械陀螺

    下载(142)| 被引(8)

    基于杠杆的微机械陀螺结构设计与仿真  CNKI文献

    提出了一种基于机械杠杆放大机构的微机械陀螺设计方案,用于提高微机械陀螺的灵敏度和精度。该杠杆放大机构使用在陀螺的驱动模态中,通过杠杆将驱动梳齿位移放大后传递到质量块上,在陀螺驱动模态谐振频率一定的情况下...

    李小卿 常洪龙... 《微纳电子技术》 2012年05期 期刊

    关键词: 微机械陀螺 / 杠杆 / 放大 / 机械灵敏度

    下载(190)| 被引(8)

    一种从器件三维实体到工艺版图的MEMS CAD技术  CNKI文献

    研究了标准三维实体文件和版图文件的格式,在此基础上提出了一种在MEMS CAD中从三维实体到工艺版图的转换方法,实现了直接基于文件到文件的三维实体到工艺版图的转换,使用C++语言开发了相应的转换接口。通过典型MEMS器...

    徐景辉 苑伟政... 《中国机械工程》 2008年01期 期刊

    关键词: MEMS / CAD / 三维实体 / 版图

    下载(254)| 被引(7)

    大输出微控制力矩陀螺的设计  CNKI文献

    为了提高微控制力矩陀螺的输出力矩,提出了一种微型控制力矩陀螺的设计方案。所设计的微型控制力矩陀螺用角振动代替了传统控制力矩陀螺的转动,由转子角振动系统及框架角振动系统组成,实现了基于科氏效应的控制力矩输...

    常洪龙 白滨... 《传感技术学报》 2011年08期 期刊

    关键词: 微机电系统 / 微控制力矩陀螺 / 陀螺阵列 / 姿态控制

    下载(214)| 被引(2)

    MEMS阵列式推进器及其音频采集系统设计与实现  CNKI文献

    研制了一种基于微机电系统(MEMS)技术的微型阵列式推进器,并开发了记录其点火过程的音频采集系统。该推进器利用金属溅射、体硅干法刻蚀等工艺制作点火电阻和燃烧室,完成了点火电阻、引线以及焊盘的一体化加工,利用硅...

    申强 苑伟政... 《固体火箭技术》 2014年02期 期刊

    关键词: 皮卫星 / 有效载荷 / 音频采集系统 / MEMS阵列式推进器

    下载(110)| 被引(2)

    Notching效应在MEMS风速仪制造工艺中的应用  CNKI文献

    深反应离子刻蚀(DRIE)工艺在目前的硅微机械高深宽比结构加工中应用十分广泛。在SOI硅片DRIE刻蚀过程中,存在着一些被认为对刻蚀速率和结构轮廓不利的效应,如横向刻蚀(Notching)效应。通过在结构旁布置牺牲结构-硅岛,...

    常洪龙 周平伟... 《传感技术学报》 2013年02期 期刊

    关键词: MEMS风速仪 / 悬空硅 / 横向刻蚀效应 / 深反应离子刻蚀

    下载(107)| 被引(1)

    微机械陀螺的误差抑制电路研究  CNKI文献

    分析了微机械陀螺的正交误差和同相误差的来源及特点,提出了利用静电力反馈控制来抑制误差的技术方案。该方案利用反馈静电力在检测模态上产生等效电刚度和电阻尼,从而影响陀螺仪驱动和检测模态之间的刚度和阻尼耦合系...

    周志广 常洪龙... 《传感技术学报》 2010年06期 期刊

    关键词: 闭环检测电路 / 误差抑制 / 反馈控制 / 校正环节

    下载(218)| 被引(3)

    一种可支持任意流程的MEMS设计工具  CNKI文献

    当前MEMSCAD软件中可以支持的设计流程比较固定和单一,已不能完全满足由MEMS器件种类日益增多所带来的设计新需求.论文提出了一种可支持任意流程的MEMS设计方法,并基于此建立了设计工具原型系统.该方法采用通用的系统...

    常洪龙 谢建兵... 《传感技术学报》 2006年05期 期刊

    关键词: MEMS设计工具 / 设计自动化 / 任意流程 / 网表

    下载(148)| 被引(8)

    二氧化硅反应离子刻蚀中的微负载效应研究  CNKI文献

    对二氧化硅反应离子刻蚀中反应室压力,刻蚀气体流量和射频功率等因素对刻蚀速率和刻蚀均匀性的影响进行了研究。结果表明,通过对反应室压力、刻蚀气体流量和射频功率的调节,可以降低微负载效应的影响,得到良好的刻蚀均...

    乔大勇 苑伟政... 《航空精密制造技术》 2006年02期 期刊

    关键词: 反应离子刻蚀 / 二氧化硅 / 微负载效应 / 表面微细加工

    下载(437)| 被引(2)

    一种MEMS CAD系统级到工艺级版图生成技术  CNKI文献

    采用自定义版图转换技术设计了MEMS系统级到工艺级之间的数据传递接口,通过对系统级设计得到网表文件的信息读取,提取了其中组件的版图信息、位置信息以及连接信息等将系统级设计结果,自动转化为二维标准版图文件,为实...

    谢建兵 苑伟政... 《科学技术与工程》 2006年13期 期刊

    关键词: “自顶向下”设计 / 接口技术 / 系统级 / 版图

    下载(113)| 被引(4)

    MEMS CAD软件开发中参数化版图库的研究及实现  CNKI文献

    这里首先论述了参数化版图库在MEMS集成设计中的重要意义。并基于版图参数化的思想,以L-Edit作为开发平台,进行了参数化版图库的设计开发。通过对动态链接库文件的调用生成版图,并构建了版图库集成平台。

    吴鸿宾 苑伟政... 《机械设计与制造》 2005年09期 期刊

    关键词: 微机电系统 / 参数化版图库 / 动态链接库

    下载(150)| 被引(4)

    Notching效应在MEMS单步干法制造工艺中的应用(英文)  CNKI文献

    研究了一种基于深反应离子刻蚀(DRIE)中notching效应的MEMS单步干法制造工艺.首先,基于DRIE刻蚀SOI硅片时notching现象产生的机理,设计了多种不同线宽的槽结构,验证notching效应的发生条件.实验结果表明,对于所采用的...

    谢建兵 苑伟政... 《纳米技术与精密工程》 2010年02期 期刊

    关键词: notching效应 / 干法释放 / 绝缘体上硅 / 微机电系统

    下载(119)| 被引(0)

    基于ACIS的MEMS工艺几何仿真的关键算法  CNKI文献

    针对微机械系统(MEMS)工艺几何仿真提出了一种算法,该算法通过设置实体模型上表面的实体和高度两个属性,解决了MEMS工艺几何仿真中产生的多个实体模型之间相对位置定义的问题。该算法在工艺几何仿真系统中的实现表明,...

    徐景辉 苑伟政... 《压电与声光》 2007年01期 期刊

    关键词: 微机电系统 / 几何仿真 / ACIS / 算法

    下载(116)| 被引(1)

    MEMS版图抽取及系统级模型自动构建技术  CNKI文献

    研究了一种抽取版图信息构建系统级模型的技术,即从标准版图文件中提取结构的几何信息和拓扑信息,将其转换对应于系统级中的参数化元件库,并按原始版图拓扑互连,从而生成基于saber仿真平台的系统级模型文件,实现了MEM...

    谢志雄 苑伟政... 《传感技术学报》 2008年04期 期刊

    关键词: MEMS / CAD / 工艺级 / 系统级

    下载(91)| 被引(0)

    一种新型三维实体到标准工艺版图的转换方法  CNKI文献

    研究了一种准标准格式的三维实体文件的结构,在此基础上提出了三维实体到标准工艺版图的转换方法,并采用VC++编程语言开发了相应的转换接口.最后通过典型MEMS器件——微机械加速度计进行了验证,结果表明这种转换方法是...

    徐景辉 苑伟政... 《传感技术学报》 2006年05期 期刊

    关键词: MEMS / CAD / 三维实体 / 版图

    下载(81)| 被引(0)

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