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    衬底取向对Al掺杂3C-SiC薄膜微结构的影响(英文)  CNKI文献

    采用低压化学气相沉积(LPCVD)法分别在Si(100)和Si(111)衬底上制备了Al掺杂的3C-Si C薄膜。采用X射线衍射、扫描电子显微镜、Raman光谱对所制备薄膜的微结构、形貌以及内部应力的演变进行分析。结果表明:在Si(100)衬底...

    苏剑峰 肖宏宇... 《硅酸盐学报》 2015年07期 期刊

    关键词: 低压化学气相沉积 / 铝掺杂 / 碳化硅薄膜 / 衬底取向

    下载(634)| 被引(2)

    氧化锌薄膜光电功能材料研究的关键问题  CNKI文献

    氧化锌薄膜光电功能材料是近年来新发展起来的研究课题,由于它在短波长光电信息功能材料方面具有潜在的应用前景而备受关注。为了开发ZnO结型光电器件,目前首先需要解决高质量ZnO单晶薄膜的外延及p型掺杂等关键问题。...

    傅竹西 林碧霞 《发光学报》 2004年02期 期刊

    关键词: ZnO薄膜 / 异质外延 / p型掺杂

    下载(978)| 被引(52)

    非掺杂ZnO薄膜中紫外与绿色发光中心  CNKI文献

    用直流反应溅射方法在硅衬底上淀积了ZnO薄膜 ,测量它们的光致发光 (PL)光谱 ,观察到两个发光峰 ,峰值能量分别为 3 .18(紫外峰 ,UV)和 2 .3 8eV(绿峰 ) .样品用不同温度分别在氧气、氮气和空气中热处理后 ,测量了PL光...

    林碧霞 傅竹西... 《物理学报》 2001年11期 期刊

    关键词: ZnO薄膜 / 热处理 / 光致发光光谱 / 缺陷能级

    下载(432)| 被引(149)

    ZnO/Si异质结的光电转换特性研究  CNKI文献

    利用直流反应溅射方法在p型Si衬底上生长掺Al的n型ZnO薄膜,测量了由n型ZnO薄膜和p型Si衬底组成的异质结在黑暗和光照条件下的I-V特性,结果表明该异质结具有优良的整流特性,而且在光照条件下的反向电流迅速增大并很快趋...

    张伟英 邬小鹏... 《物理学报》 2008年07期 期刊

    关键词: ZnO薄膜 / 异质结 / 光电转换 / 光谱响应

    下载(532)| 被引(15)

    MOCVD方法生长的氧化锌薄膜及其发光特性  CNKI文献

    近年来 ,随着近紫外光发射氧化锌薄膜研究的进展 ,许多先进的薄膜生长手段被广泛采用。本文探索了用MOCVD方法在硅衬底上生长氧化锌薄膜的方法 ,试验了用几种不同的有机金属源生长ZnO薄膜 ;研究了源材料及生长压力和温...

    傅竹西 林碧霞... 《发光学报》 2001年02期 期刊

    关键词: 氧化锌 / 薄膜制备 / 结构特性 / 光致发光

    下载(400)| 被引(51)

    Ag掺杂p型ZnO薄膜及其同质结的光电性质  CNKI文献

    采用磁控溅射技术在Si基片上生长了Ag掺杂的ZnO薄膜,XRD测试表明所得薄膜结晶性质良好,未出现Ag的分相。未掺杂和Ag掺杂氧化锌薄膜的低温(10K)光致发光(PL)谱显示:Ag的掺入使得中性施主束缚激子发射(D0X)显著减弱,并且...

    孙利杰 钟声... 《发光学报》 2008年02期 期刊

    关键词: Ag掺杂氧化锌 / 低温PL谱 / 施主-受主对 / 同质结

    下载(435)| 被引(15)

    ZnO薄膜的掺杂及其结型材料的研究进展  CNKI文献

    ZnO薄膜作为一种多用途的半导体材料,一直受到国内外学术界的广泛关注.尤其是自1997年发现ZnO薄膜的室温紫外光发射以来,ZnO薄膜的制备及其光电子特性的研究成为新的研究热点.几年来,研究进展非常迅速,已报道了结型...

    段理 林碧霞... 《物理》 2003年01期 期刊

    关键词: 氧化锌薄膜 / p型掺杂 / p-n结 / 异质结

    下载(634)| 被引(28)

    氧化锌薄膜Zn/O比和发光性能的关系  CNKI文献

    用直流反应溅射在硅基片上生长具有高取向晶粒的氧化锌薄膜,在氧气、氮气、空气气氛和不同温度下进行热处理,对所得到的样品用俄歇谱(AES)仪进行元素深层分布分析,并测量光致发光光谱。研究结果表明: 1.经热处理的薄...

    林碧霞 傅竹西... 《发光学报》 2005年02期 期刊

    关键词: ZnO薄膜 / 俄歇谱 / 光致发光 / 锌氧比

    下载(388)| 被引(30)

    ZnO薄膜光学常数测量  CNKI文献

    利用Kramers-Kronig方法(K-K方法)测量了ZnO薄膜的复分电常数和复折射率(折射率和消光系数)。为了满足K-K方法所要求的条件,光源发出的光束通过一个特殊设计的中间带孔的反射镜垂直投射到ZnO薄膜表面,在ZnO薄膜表面产...

    傅竹西 林碧霞... 《发光学报》 2004年02期 期刊

    关键词: 氧化锌薄膜 / 反射光谱 / K-K关系 / 光学常数

    下载(568)| 被引(27)

    n-ZnO/p-Si异质结UV增强型光电探测器的研究  CNKI文献

    采用平面工艺,在p+-Si背底上电子束蒸发Al制作欧姆电极,在p-Si外延层上溅射掺Al的 ZnO薄膜,再蒸发Al作有源区欧姆电极,研制成n-ZnO/p-Si异质结UV(ultraviolet)增强型光电探测器。测试结果表明:器件明显增强了200~400...

    王丽玉 谢家纯... 《电子元件与材料》 2004年01期 期刊

    关键词: 氧化锌 / UV增强型探测 / 异质结 / 宽禁带

    下载(452)| 被引(46)

    ZnO薄膜的反射、透射光谱及能带结构测量  CNKI文献

    采用正入射的方法研究了生长在硅基片上的氧化锌薄膜的反射光谱,测量出氧化锌薄膜的光学吸收边在370nm,所对应的能量值为3 35eV。测量生长在石英玻璃基片上的氧化锌薄膜的透射光谱,得到相同的吸收边。表明ZnO薄膜的光...

    傅竹西 林碧霞... 《发光学报》 2002年06期 期刊

    关键词: 氧化锌薄膜 / 反射光谱 / 透射光谱 / 能带结构

    下载(906)| 被引(24)

    薄膜生长的多重分形谱的计算  CNKI文献

    规则分形具有理想的标度不变性 ,而随机分形 (如薄膜生长 )概率分布曲线及标度不变性的范围与计算方法有关 :以偏离平均高度的方差值求概率 ,标度不变性不好 ,多重分形谱也不光滑 ;而以薄膜平均底面为基准面求概率得到...

    孙霞 傅竹西... 《计算物理》 2001年03期 期刊

    关键词: 多重分形谱 / 标度不变性 / 权重因子

    下载(308)| 被引(49)

    ZnO薄膜原子力显微镜图像的多重分形谱  CNKI文献

    用原子力显微镜测定了Si衬底 ,未退火和退火ZnO薄膜的表面形貌 ,为了获得AFM图像的多重分形谱 ,比较了 5种计算局域高度分布概率的方法 (相对平均高度的方差、相对平均高度的绝对偏离、以粗糙表面最低点为基准面、以一...

    孙霞 熊刚... 《物理学报》 2000年05期 期刊

    关键词: 多重分形 / 薄膜样品 / 标度不变性 / 衬底

    下载(323)| 被引(31)

    溅射方法生长的氧化锌薄膜的阴极射线和光致发光特性  CNKI文献

    近紫外光发射氧化锌薄膜是一种新兴的发光材料 ,它的发光波长比氮化镓的蓝光波长更短 ,在光存储应用中可以进一步提高光存储的密度 ,因而在光电子领域具有重要应用价值而备受关注。在此介绍我们用直流反应溅射方法在硅...

    林碧霞 傅竹西... 《发光学报》 2001年02期 期刊

    关键词: 氧化锌薄膜 / 阴极射线发光光谱 / 光致发光光谱 / 发光特性

    下载(355)| 被引(33)

    LP-MOCVD异质外延ZnO薄膜中的应力及对缺陷的影响  CNKI文献

    利用低压金属有机化学气相淀积(LP MOCVD)在Si基片上外延生长ZnO薄膜,制备了两类样品一类是在Si上直接外延ZnO,另一类是在Si上通过SiC过渡层来外延ZnO.根据两类样品的拉曼光谱、x射线衍射、原子力显微图和光致发光的结...

    孙贤开 林碧霞... 《物理学报》 2005年06期 期刊

    关键词: ZnO薄膜 / 应力 / 缺陷 / 拉曼光谱

    下载(286)| 被引(19)

    ZnO/p-Si异质结的光电转换特性  CNKI文献

    通过直流反应溅射制备了整流特性良好的ZnO/pSi异质结,并在该异质结上观察到了明显的光电转换特性.研究表明ZnO薄膜中的电子浓度在一个合适的数值(1.6×1015cm-3)时光电流最强,另外晶粒尺寸越大光电流越强.分析表...

    段理 林碧霞... 《半导体学报》 2005年10期 期刊

    关键词: ZnO / 异质结 / 光伏效应

    下载(405)| 被引(13)

    ZnO薄膜的特殊光谱性质及其机理  CNKI文献

    以同步辐射真空紫外光 (1 95nm)为激发源 ,在低温下观察到Si基衬底上ZnO薄膜的发光有三种紫外发射 ,其峰值波长分别为 380 ,36 9.5 ,2 90nm。它们各自具有不同的衰减时间和不同的温度依赖关系 ,但其激发谱相同。强激发...

    施朝淑 张国斌... 《发光学报》 2004年03期 期刊

    关键词: ZnO薄膜 / 发光 / 真空紫外 / 光谱特性

    下载(291)| 被引(19)

    范德堡方法在ZnO薄膜测试中的应用  CNKI文献

    近年来 ,随着对宽禁带半导体材料 ,氧化锌薄膜研究的快速发展 ,对其电学性质的研究也显得尤为重要。主要介绍范德堡方法在ZnO薄膜电学性质测量中的应用 ,并对初步测量结果作简要的讨论

    朱俊杰 刘磁辉... 《发光学报》 2004年03期 期刊

    关键词: 范德堡方法 / ZnO膜薄 / 欧姆接触 / 霍尔效应

    下载(680)| 被引(16)

    氧化锌宽禁带半导体薄膜的发光及其p-n结特性  CNKI文献

    报道了用直流反应溅射法制备的氧化锌薄膜的近紫外发射以及热处理条件对受激发射谱的影响。同时用化学反应辅助掺杂方法生长了 p型和 n型 Zn O薄膜 ,研究了 Zn O/ Si异质结和氧化锌同质 p-n结的电压 -电流特性 (I-V特...

    林碧霞 傅竹西... 《固体电子学研究与进展》 2002年04期 期刊

    关键词: 氧化锌薄膜 / 近紫外发射 / 异质结 / 同质p-n结

    下载(491)| 被引(16)

    不同衬底材料的ZnO/Si异质结I-V及光电特性  CNKI文献

    采用脉冲激光沉积(PLD)技术和微电子平面工艺,用不同表面掺杂的Si作为衬底制备了ZnO/Si异质结,并且以p-Si(p-)为衬底制备了ZnO(含Mn0.2%)/Si异质结、包含SiC缓冲层的ZnO/SiC/Si和ZnO(含Mn0.2%)/SiC/Si结构,测试了样品...

    刘峥嵘 谢家纯... 《中国科学技术大学学报》 2008年11期 期刊

    关键词: ZnO / SiC / 脉冲激光沉积 / 异质结

    下载(321)| 被引(9)

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