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    CNKI为你找到相关结果

    硅微机械谐振压力传感器技术发展  CNKI文献

    硅微机械谐振压力传感器是目前精度最高、长期稳定性最好的压力传感器之一,是航空航天、工业过程控制和其他精密测量领域压力测试的最佳选择。系统阐述30年来国内外硅微机械谐振压力传感器技术的研究成果,简单介绍硅微...

    苑伟政 任森... 《机械工程学报》 2013年20期 期刊

    关键词: 微机械 / 谐振 / 压力传感器 / 谐振器

    下载(1602)| 被引(27)

    微流控的系统级设计  CNKI文献

    微流控设计技术对于提高微流控设计效率,降低研发成本具有重要意义。微流控设计技术中的系统级建模与仿真是实现微流控快速设计、优化、验证的重要方法。本文首先对微流控设计的原理和方法做了简要介绍。在此基础之上...

    苑伟政 焦文龙... 《光学精密工程》 2013年12期 期刊

    关键词: 微流控技术 / 系统级设计 / 建模 / 仿真

    下载(710)| 被引(3)

    一种新型静电驱动二维微型扫描镜的设计及模态  CNKI文献

    设计并加工制作了一种基于绝缘体上硅(SOI)制备工艺的新型静电驱动二维微型扫描镜,并对其工作原理进行了分析。为了有效预测该微型扫描镜的谐振频率及相应的振态,采用有限元分析软件ANSYS对其进行建模和前五阶模态的仿...

    刘耀波 苑伟政... 《光学学报》 2013年06期 期刊

    关键词: 光学器件 / 绝缘体上硅 / 微型扫描镜 / 模态仿真

    下载(221)| 被引(9)

    表面等离子体平面金属透镜及其应用  CNKI文献

    由于衍射极限的存在,传统光学透镜成像分辨率理论上只能达到入射光波长的一半。通过恢复和增强携带物体细部特征信息的高频倏逝波,基于表面等离子体的平面金属透镜有望突破这种光学衍射极限,实现超分辨成像。本文对平...

    朱业传 苑伟政... 《中国光学》 2017年02期 期刊

    关键词: 表面等离子体 / 平面金属透镜 / 超分辨成像与聚焦

    下载(312)| 被引(2)

    一种基于PIN结的硅基微型核电池研究  CNKI文献

    针对PN结式微型核电池由于衬底掺杂浓度较大而造成的少子寿命短,收集效率低等缺点,提出使用硅基PIN结作为微型核电池的换能结构,构建了PIN换能结构的电学模型,并对其性能影响因素进行了分析和仿真,优化了换能结构参数...

    乔大勇 陈雪娇... 《物理学报》 2011年02期 期刊

    关键词: 微型核电池 / 辐射伏特 / 微机电系统 / PIN结

    下载(621)| 被引(17)

    一种新型微机电系统扫描镜的谐振频率研究  CNKI文献

    在微光机电系统(MOEMS)技术的基础上,采用绝缘体上硅(SOI)的体硅加工工艺,设计并加工制作了一种新型的静电驱动的谐振式微机电系统(MEMS)扫描镜。介绍了其基本工作原理及结构设计特点;理论计算了圆形和方形两种结构的...

    燕斌 苑伟政... 《光学学报》 2012年06期 期刊

    关键词: 光学器件 / 微光学器件 / 扫描镜 / 绝缘体上硅

    下载(267)| 被引(10)

    基于自适应UKF算法的MEMS陀螺空中在线标定技术  CNKI文献

    为保证微型卫星定位应用中系统精度与稳定性,需要对姿态传感器进行实时在线标定。在无外界姿态参考时,提出一种用三轴磁强计测量值来实时估计MEMS陀螺的零漂误差的方法,采用UKF滤波算法,将陀螺漂移作为滤波状态向量,通...

    秦伟 苑伟政... 《中国惯性技术学报》 2011年02期 期刊

    关键词: MEMS陀螺 / 在线标定 / UKF / 磁强计

    下载(671)| 被引(24)

    基于TPWL方法的MEMS热微执行器的热电耦合宏建模  CNKI文献

    本文给出了一种基于轨迹分段线性化TPWL(Trajectory Piecewise-Linear)方法的非线性热电耦合宏建模技术。首先建立了MEMS热微执行器的三维非线性热电耦合模型,并采用有限元方法对其进行空间离散,然后利用新的基于全局...

    刘莹 苑伟政... 《传感技术学报》 2015年04期 期刊

    关键词: 微执行器 / 宏建模 / 轨迹分段线性化 / 热电耦合

    下载(121)| 被引(4)

    一种电容式传感器数字化通用检测接口设计  CNKI文献

    针对电容式传感器的微变电容检测困难的问题,提出了一种数字化的通用检测接口方案。分析了基于"激励-检测"的直接式微变电容测量原理,利用DDS发生载波,并采用离散傅里叶变换分离测量结果的幅值与相位以求得...

    朱霄波 苑伟政... 《国外电子测量技术》 2013年01期 期刊

    关键词: 电容式传感器 / 离散傅里叶变换 / 数字接口

    下载(163)| 被引(14)

    基于SOI的硅微谐振式压力传感器芯片制作  CNKI文献

    采用SOI硅片,基于MEMS技术,设计并加工了一种新型三明治结构的硅微谐振式压力传感器,根据传感器敏感单元的结构设计,制定了相应的制备工艺步骤,并且针对湿法深刻蚀过程中谐振子的刻蚀保护等问题,提出了一种基于氮化硅...

    马志波 姜澄宇... 《传感技术学报》 2012年02期 期刊

    关键词: 谐振式压力传感器 / 三层薄膜保护工艺 / 敏感膜片 / MEMS

    下载(556)| 被引(14)

    用于微小型飞行器姿态估计的四元数扩展卡尔曼滤波算法(英文...  CNKI文献

    针对MEMS陀螺、加速度计、磁强计组合的姿态确定系统,笔者设计了用于微小型飞行器姿态估计的四元数扩展卡尔曼滤波算法.取姿态误差四元数和陀螺随机漂移构建滤波状态向量,通过误差四元数微分方程和陀螺随机误差模型建...

    薛亮 苑伟政... 《纳米技术与精密工程》 2009年02期 期刊

    关键词: 姿态估计 / 四元数 / 扩展卡尔曼滤波器 / 微机电陀螺

    下载(1320)| 被引(35)

    压阻式微型压力传感器敏感结构设计  CNKI文献

    在设计某一压阻式压力传感器特定敏感结构的过程中,对出现的技术难题进行了研究。文中的第2部分设计了弹性膜片的典型结构;第3部分设计了压敏电阻的尺寸以及阻值;第4部分使用ANSYS软件分析了弹性膜片在不同压力作用下...

    易选强 苑伟政... 《西北工业大学学报》 2008年06期 期刊

    关键词: 传感器 / 微机电系统 / 微型压阻式压力传感器 / 膜片

    下载(971)| 被引(35)

    CFCC-SiC基底NiCr/NiSi薄膜热电偶制备及性能研究  CNKI文献

    在碳纤维增韧补强碳化硅陶瓷复合材料(CFCC-SiC)表面制备了NiCr/NiSi薄膜热电偶。传感器结构自下而上依次为CFCC-SiC陶瓷基底、SiO2过渡层,Al2O3绝缘层及NiCr/NiSi热电偶层。对所制备传感器进行了静态标定,其在300℃~...

    马旭轮 苑伟政... 《传感技术学报》 2014年03期 期刊

    关键词: 薄膜热电偶 / 陶瓷复合材料 / 静态标定 / 塞贝克系数

    下载(221)| 被引(7)

    用于壁面切应力测量的微传感器设计  CNKI文献

    壁面切应力的测量是流体动力学领域中一项非常重要的测试任务,采用MEMS技术设计、加工的微型切应力传感器能够为壁面切应力的测量提供新的手段。微传感器设计过程中推导其浮动单元线性位移与弹性梁宽度的关系,通过限位...

    吕海峰 姜澄宇... 《机械工程学报》 2010年24期 期刊

    关键词: 壁面切应力 / 微传感器 / 设计 / 仿真

    下载(428)| 被引(13)

    基于状态约束的MIMU/磁强计组合姿态估计滤波算法  CNKI文献

    构建了基于MEMS技术的陀螺、加速度计、磁强计及空速计组合的微小型飞行器姿态测量系统。研究了基于四元数的扩展卡尔曼滤波算法。取姿态误差四元数和陀螺随机漂移构建状态向量,通过误差四元数微分方程和陀螺随机误差...

    薛亮 姜澄宇... 《中国惯性技术学报》 2009年03期 期刊

    关键词: 微小型飞行器 / 姿态估计 / 扩展卡尔曼滤波器 / 随机漂移

    下载(520)| 被引(21)

    一种新型谐振式微机电系统扫描镜及其利萨如图形显示  CNKI文献

    研制了一种基于微光机电系统(MOEMS)技术的新型谐振式扫描镜,该扫描镜采用绝缘体上硅(SOI)加工工艺,静电梳齿驱动,利用工艺中残余应力的释放产生垂直梳齿偏差,作为启动电极。针对该器件的机电性能,设计并搭建了一套光...

    燕斌 苑伟政... 《光学学报》 2012年05期 期刊

    关键词: 集成光学 / 微光机电系统 / 扫描镜 / 绝缘体上硅

    下载(214)| 被引(6)

    静电梳齿驱动结构的稳定性分析  CNKI文献

    静电梳齿驱动结构的最大驱动位移主要受限于其侧向不稳定性,即当驱动电压接近吸合电压时,静电梳齿驱动结构的活动梳齿与固定梳齿发生吸合,导致静电梳齿驱动器失效。建立典型静电梳齿驱动结构的稳定性分析模型,研究梳齿...

    张峰 苑伟政... 《传感技术学报》 2011年08期 期刊

    关键词: 静电梳齿驱动结构 / 稳定性 / 侧向吸合 / 刚度

    下载(325)| 被引(14)

    MEMS陀螺随机误差补偿在提高姿态参照系统精度中的应用  CNKI文献

    为提高航姿系统姿态角测量精度,论文对MEMS陀螺随机误差的测试和补偿进行了研究。运用Allan方差方法分析了MEMS陀螺各项随机误差的特性,建立了针对MEMS陀螺的随机误差补偿模型。采用Allan方差辨识算法完成对各项随机误...

    袁广民 李晓莹... 《西北工业大学学报》 2008年06期 期刊

    关键词: MEMS / 陀螺 / 测试 / 误差补偿

    下载(614)| 被引(26)

    微能源发展概述  CNKI文献

    产品小型化、微型化、集成化是当今技术发展的大趋势,能源供应已成为制约产品微型化技术发展的瓶颈,其微型化问题受到广泛的重视。结合目前国内外微能源的发展现状,分别介绍了微太阳能电池、同位素微能源和基于卡门涡...

    秦冲 苑伟政... 《光电子技术》 2005年04期 期刊

    关键词: 微能源 / 微太阳能电池 / 同位素微能源 / 基于卡门涡街的压电微能源

    下载(942)| 被引(37)

    一种新型CCD驱动电路设计方法  CNKI文献

    在结合直接数字电路驱动法与单片机口驱动法的基础上,设计了一种新型的CCD驱动电路,保留了原有两种方法各自的优点。仿真与实验结果表明该方法能提供多路驱动时序,驱动频率高,硬件电路简单,编程方便,具有较好的性价比...

    虞益挺 饶伏波... 《传感技术学报》 2005年02期 期刊

    关键词: CCD / ICX038BLA / 驱动电路 / 电荷耦合器件

    下载(782)| 被引(59)

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