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    N极性GaN/AlGaN异质结二维电子气模拟  CNKI文献

    通过自洽求解薛定谔方程和泊松方程,较系统地研究了GaN沟道层、AlGaN背势垒层、Si掺杂和AlN插入层对N极性GaN/AlGaN异质结中二维电子气(2DEG)的影响,分析表明,GaN沟道层厚度、AlGaN背势垒层厚度及Al组分变大都能一定程...

    王现彬 赵正平... 《物理学报》 2014年08期 期刊

    关键词: N极性 / GaN/AlGaN异质结 / 二维电子气 / 限阈性

    下载(277)| 被引(7)

    新型Al组分渐变结构的N极性GaN基HEMT中二维电子气研究  CNKI文献

    提出了一种含有Al N插入层的新型Al组分渐变的N极性Ga N基高电子迁移率晶体管(HEMT)结构,并通过自洽求解一维薛定谔方程和泊松方程,仿真研究了该新型N极性HEMT结构的二维电子气特性。结果表明采用该新型N极性HEMT结构...

    王现彬 王元刚... 《真空科学与技术学报》 2014年12期 期刊

    关键词: N极性 / GaN/AlGaN / 异质结 / AlN插入层

    下载(149)| 被引(1)

    提高GaN功率器件开关频率的技术途径  CNKI文献

    GaN基增强型高速开关器件是提升X波段微系统集成放大器工作效率的核心器件。介绍了凹槽栅结构、F-注入等制作GaN基增强型器件的关键技术,同时分析了场板、介质栅等对器件击穿特性的影响。针对影响GaN基功率器件开关特...

    孙素静 赵正平... 《半导体技术》 2017年01期 期刊

    关键词: GaN / 开关频率 / 增强型 / 栅绝缘层

    下载(236)| 被引(1)

    N极性GaN基HEMT研究进展  CNKI文献

    N极性GaN材料借助与传统Ga极性GaN极性相反这一特征,以低接触电阻、高2DEG限阈性,在高频、大功率微波晶体管、增强型器件及传感器等应用方面显示出了极大的优势。首先分析了N极性GaN材料与HEMT器件的特性,指出了其和G...

    王现彬 赵正平... 《半导体技术》 2013年12期 期刊

    关键词: GaN / N极性 / Ga极性 / 高电子迁移率晶体管(HEMT)

    下载(366)| 被引(2)

    电容式RF MEMS谐振器  CNKI文献

    介绍了应用于通信领域的电容式RF MEMS谐振器及其在通信系统小型化中的优势。对电容式微机械谐振器进行了综合分析,包括基本工作过程分析、基本参数的理论分析及等效电路的分析。介绍了目前几种常用结构的谐振器,包括...

    贾英茜 赵正平... 《微纳电子技术》 2010年02期 期刊

    关键词: 谐振器 / 射频 / 谐振频率 / 品质因数

    下载(532)| 被引(4)

    N-polar GaN上的欧姆接触:材料制备、金属化方案与机理  CNKI文献

    氮极性(N-polar)GaN与镓极性(Ga-polar)GaN极性相反,且具有较高的表面化学活性,使其在光电子、微电子及传感器等领域逐渐受到关注。文章结合一些相关研究报道,综述了N-polar GaN上欧姆接触的研究进展。首先对N-polar ...

    王现彬 赵正平 《材料导报》 2016年05期 期刊

    关键词: 氮极性 / 氮化镓 / 欧姆接触 / 氮化铝

    下载(156)| 被引(0)

    毫米波GaN基HEMT器件材料结构发展的研究  CNKI文献

    由于GaN材料的高的饱和电子速度和击穿场强,GaN基HEMT已经成为实现毫米波器件的重要选择。回顾了GaN基HEMT器件材料结构的发展历程,就目前GaN基毫米波HEMT器件设计应用存在的短沟道效应和源漏间较大的导通电阻两个主要...

    张效玮 贾科进... 《半导体技术》 2012年08期 期刊

    Ti/Al/Ni/Au在N-polarGaN上的欧姆接触  CNKI文献

    N-polar GaN以其特有的材料特性和化学活性日益受到研究者关注,而N-polar GaN上欧姆接触也成为研究的热点。以Ti/Al/Ni/Au作为欧姆接触金属,分析了N-polar GaN上欧姆接触的最优退火条件,并借助剖面透射电子显微镜(TEM...

    王现彬 王颖莉... 《材料导报》 2017年04期 期刊

    关键词: Ti/Al/Ni/Au / 欧姆接触 / 氮极性 / 氧化铝

    下载(83)| 被引(1)

    薄膜体声波谐振器及其应用  CNKI文献

    综合阐述薄膜体声波谐振器技术,简要介绍了薄膜体声波谐振器技术及其发展历程,对其物理模型和等效电路模型进行了回顾,对该器件的三种结构和及其制作方法进行了分析,并讨论了其使用的压电材料和电极材料,最后给出了该...

    池志鹏 赵正平... 《半导体技术》 2006年05期 期刊

    关键词: 体声波 / 谐振器 / 滤波器

    下载(241)| 被引(6)

    Ti/Al/Ni/Au金属体系在N-polar GaN上的欧姆接触特性  CNKI文献

    利用金属有机化合物化学气相淀积(MOCVD)在SiC衬底上外延生长了N-polar GaN材料,采用传输线模型(TLM)分析了Ti/Al/Ni/Au金属体系在N-polar GaN上的欧姆接触特性。结果表明,Ti/Al/Ni/Au(20/60/10/50nm)在N-polar GaN上...

    王现彬 赵正平 《半导体光电》 2016年03期 期刊

    关键词: 欧姆接触 / Ti/Al/Ni/Au / 氮极性 / 氮化镓

    下载(138)| 被引(0)

    Ka波段InAlN/GaN/AlGaN双异质结场效应晶体管  CNKI文献

    InAlN/GaN/AlGaN双异质结材料可以兼顾较高的二维电子气浓度和较好的载流子限域性,适宜制备Ka波段及以上微波功率器件。使用金属有机物气相外延方法,在SiC衬底上生长高性能InAlN/GaN/AlGaN双异质结构材料并制备了栅长...

    张效玮 贾科进... 《半导体技术》 2013年08期 期刊

    基于微机械圆盘谐振器的振荡器  CNKI文献

    基于微机械谐振器的硅振荡器是微波通信系统中的关键器件。制作了工作于径向体声学振动模态的微机械谐振器,通过分析微机械谐振器的电参数,并以此谐振器为基础进行振荡器的设计。针对圆盘形微机械谐振器工作过程中阻抗...

    贾英茜 赵正平... 《微纳电子技术》 2011年06期 期刊

    关键词: 微电子机械系统(MEMS) / 微机械谐振器 / 等效阻抗 / 振荡器

    下载(160)| 被引(3)

    一种基于MEMS的射频低相位噪声压控振荡器的研制  CNKI文献

    利用微机械可变电容作为频率调节元件,制备了一种中心频率为2GHz的LCVCO.微机械可变电容的控制极板与电容极板分离,并采用表面微机械工艺制造,在2GHz时的Q值最高约为38·462.MEMSVCO的测试结果表明,偏离2·00...

    李丽 赵正平... 《半导体学报》 2006年05期 期刊

    关键词: MEMS / 可变电容 / Q值 / 压控振荡器

    下载(209)| 被引(5)

    混合极性GaN基HEMT中2DEG性能分析  CNKI文献

    综合镓极性(Ga-polar)和氮极性(N-polar)GaN基高电子迁移率晶体管(HEMT)上的欧姆接触特性,提出了一种混合极性的GaN基HEMT结构。通过自洽求解薛定谔方程和泊松方程,分析了该混合极性GaN基HEMT结构中的二维电子气(2DEG...

    王现彬 张晶... 《真空科学与技术学报》 2017年04期 期刊

    关键词: 混合极性 / 氮化镓 / 二维电子气 / 高电子迁移率晶体管

    下载(53)| 被引(0)

    N-polar GaN基HEMT准二维电荷传输模型仿真  CNKI文献

    建立了氮极性(N-polar)GaN基HEMT器件的准二维(Quasi-2-D)电荷传输模型,仿真研究了N-polar GaN基HEMT的直流特性。仿真结果表明,不同的极化效应会对输出特性曲线和转移特性曲线产生不同的影响,考虑自发极化效应(Psp)+...

    王现彬 赵正平 《材料导报》 2016年06期 期刊

    关键词: N极性 / 高电子迁移率晶体管 / 极化效应 / 直流特性

    下载(57)| 被引(0)

    微机械圆盘谐振器的仿真分析及等效电路  CNKI文献

    通过对径向振动圆盘的机械振动方程进行分析,将机械振动的分散参数集总化,提取出机械集总参量并通过机电类比的方法将集总化的机械参量类比成电参量,建立起径向振动微机械谐振器的电参数模型。利用ANSYS软件对径向振动...

    贾英茜 徐淑壹... 《微纳电子技术》 2011年04期 期刊

    关键词: 微机械系统(MEMS) / 微机械谐振器 / 机电类比 / 机械集总参数

    下载(141)| 被引(2)

    射频微机械可变电容的研究与进展  CNKI文献

    对国内外有关微机械可变电容的研究做了综合阐述,包括改变介质的可变电容、改变重叠面积的可变电容和改变间隔的可变电容。并对其中有代表性的电容结构进行了说明,对其获得的零偏压下的电容量值、Q值以及调节范围进行...

    李丽 张志国... 《半导体技术》 2005年05期 期刊

    关键词: 射频微机械 / 可变电容 / Q值 / 调节范围

    下载(138)| 被引(3)

    SOI-based radial-contour-mode micromechanical disk res...  CNKI文献

    This paper reports a radial-contour-mode micromechanical disk resonator for radio frequency applications. This disk resonator with a gold plated layer as the electrodes,was prepared on a silicon-on-i...

    贾英茜 赵正平... 《半导体学报》 2011年11期 期刊

    关键词: RF-MEMS / micromechanical / disk / resonator

    下载(40)| 被引(3)

    Ti/Al Based Ohmic Contact to As-Grown N-Polar GaN  CNKI文献

    Ti/Al based Ohmic contacts to as-grown N-polar GaN are investigated by cross-section transmission electron microscopy and energy dispersive x-ray spectroscopy.Due to the higher oxygen background dopi...

    冯志红 王现彬... 《Chinese Physics Letters》 2015年08期 期刊

    关键词: 120 / GaN / Ti/Al / Based

    下载(3)| 被引(0)

    一个DC-32GHz两位微机械移相器(英文)  CNKI文献

    采用分布式微机械传输线结构实现了两位移相器 ,并且为了减小传输线负载电容和驱动电压首次提出了用共面波导传输线来驱动微机械桥的结构 (共面波导驱动结构 ) .结果显示驱动电压小于 2 0 V,2 0 GHz时两位移相器的相移...

    娄建忠 赵正平... 《半导体学报》 2004年11期 期刊

    关键词: 微电子机械系统 / 移相器 / 共面波导驱动结构

    下载(96)| 被引(0)

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