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    有图形硅片显微图像微距线宽测量方法研究  CNKI文献

    针对硅片关键尺寸高精度准确测量的要求,在整像素级标准件法二维图像微距尺寸测量的基础上,本文综合应用基于卡尺的标准件法和空间矩亚像素细分算法,提出了具有像素级高速度、亚像素级高精度线宽测量的两步标定法。通...

    王桂棠 薛向东... 《仪器仪表学报》 2006年09期 期刊

    关键词: 硅片 / 标准件 / 像素当量 / 空间矩

    下载(182)| 被引(15)

    嵌入式IC晶片视觉检测系统技术研究及应用  CNKI文献

    嵌入式IC晶片视觉检测技术的研究以广东省2004年度科技计划项目“基于数字图像处理的IC晶片显微自动检测系统”(2004A10403008)为研究对象,以提高高速系统的高精度定位和图像采集速度为主要目标,综合应用嵌入式技术、...

    薛向东 导师:吴黎明 广东工业大学 2006-05-01 硕士论文

    关键词: IC晶片 / 嵌入式 / 运动误差 / 振动控制

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    IC晶片关键尺寸标定的新方法研究  CNKI文献

    提出了一种基于标准件法的二次标定法,实现了对微距尺寸的高速高精度测量。该方法经过实验测量数据的分析对比,表明比标准件法测量精度有明显提高,满足了IC晶片线宽测量的精度要求。

    薛向东 吴黎明... 《半导体技术》 2005年12期 期刊

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    下载(131)| 被引(10)

    基于AI技术的FMC优化调度控制策略  CNKI文献

    本文结合GMI-FMC系统,研究FMC调度控制策略,建立基于AJ技术的实用的FMC生产作业优化调度控制系统。运行结果表明,该系统可以有效地实现FMC的调度控制优化目标,提高FMC 的运行水平。

    吴黎明 薛向东... 先进制造技术论坛暨第二届制造业自动化与信息化技术交流会论... 2003-09-01 中国会议

    关键词: FMC / 人工智能 / 调度策略

    下载(17)| 被引(0)

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