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    CNKI为你找到相关结果

    等离子体刻蚀工艺的物理基础  CNKI文献

    介绍了等离子体刻蚀工艺背景以及有关等离子体刻蚀机理的研究进展,综述了等离子体刻蚀机理的研究方法,着重阐述了电容耦合放电和电感耦合放电等离子体物理特性,特别是双频电容耦合放电等离子体和等离子体鞘层研究中的...

    戴忠玲 毛明... 《物理》 2006年08期 期刊

    关键词: 等离子体 / 刻蚀 / 电容耦合放电 / 电感耦合放电

    下载(2451)| 被引(72)

    双频容性耦合等离子体密度径向均匀性研究  CNKI文献

    利用自主研制的全悬浮双探针,对影响双频容性耦合等离子体径向均匀性的因素进行了研究.发现低频功率、放电气压和放电间距对径向均匀性有明显影响.合适的低频功率、放电气压及较大的极板间距可以得到更均匀的等离子体...

    蒋相站 刘永新... 《物理学报》 2012年01期 期刊

    关键词: 双频容性耦合等离子体 / 径向均匀性 / 全悬浮双探针 / 二维流体模型

    下载(223)| 被引(7)

    多针电晕增强大气压辉光放电稳定性研究  CNKI文献

    利用多针电晕增强放电装置,在无气流和存在高速气流的情况下都得到了稳定的大气压辉光.通过纪录发光图片、电流-电压波形和伏安特性曲线的方法对影响放电稳定性的因素做了细致地研究,发现了在从电晕放电到辉光放电的过...

    齐冰 任春生... 《物理学报》 2006年01期 期刊

    关键词: 大气压辉光放电 / 多针电晕 / 等离子体

    下载(408)| 被引(26)

    双频容性耦合等离子体相分辨发射光谱诊断  CNKI文献

    采用相分辨发射光谱法,对双频容性耦合纯Ar和不同含O2量的Ar-O2混合气体放电等离子体的鞘层激发模式进行了探究.放电腔室耦合电源电极的鞘层区域处观察到两种电子激发模式:鞘层扩张引起的电子碰撞激发模式和二次电子引...

    杜永权 刘文耀... 《物理学报》 2013年20期 期刊

    关键词: 双频容性耦合等离子体 / 等离子体鞘层 / 发射光谱

    下载(110)| 被引(2)

    射频等离子体鞘层动力学模型  CNKI文献

    在流体力学方程的基础上建立了一种自洽的无碰撞射频等离子体鞘层动力学模型 .这种自洽性包含两个方面 :一方面 ,由于考虑了瞬时鞘层电场对离子运动的影响 ,因此该模型适用于描述任意频率段的射频鞘层演化过程 ;另一方...

    戴忠玲 王友年... 《物理学报》 2001年12期 期刊

    关键词: 射频 / 离子 / 鞘层 / 流体力学

    下载(501)| 被引(28)

    射频感应耦合Ar-N_2等离子体物理特性的Langmuir探针测量及...  CNKI文献

    分别通过Langmuir探针测量和动力学模型模拟方法研究了射频感应耦合Ar-N2等离子体中电子能量分布、电子温度、电子密度等物理量随N2含量的变化规律.实验研究结果表明:电子能量分布呈现出非Maxwell型分布,并由双温分布...

    高飞 毛明... 《物理学报》 2008年08期 期刊

    关键词: 感应耦合等离子体 / Ar-N_2混合气体放电 / 电子能量分布 / Langmuir探针

    下载(282)| 被引(12)

    射频感应等离子体的Langmiur探针和光谱诊断  CNKI文献

    用Langmuir探针对射频(13.56 MHz)感应等离子体进行了诊断,给出了Ar等离子体轴向和径向参数随气压的变化。采用发射光谱测量了等离子体中氩原子的750.3nm谱线强度随气压在轴向的变化,其变化趋势与Langmuir探针测量结果...

    张健 任春生... 《核聚变与等离子体物理》 2007年02期 期刊

    关键词: Langmuir探针 / 发射光谱 / 感应耦合等离子体 / 等离子体参数

    下载(379)| 被引(11)

    基于GPU求解椭圆型偏微分方程的并行算法  CNKI文献

    针对求解椭圆型偏微分方程的雅克比迭代算法和DRM算法进行基于GPU的CUDA加速算法研究.通过两个算例在GTX570显卡上对GPU加速算法进行验证.结果表明,在保证运算精度的前提下,雅克比迭代的GPU加速效率最高,在DOUBLE类型...

    曹建伟 徐翔... 《计算物理》 2015年04期 期刊

    关键词: 雅克比迭代 / DRM算法 / GPU / CUDA

    下载(93)| 被引(5)

    高功率微波输出窗内侧击穿动力学的PIC/MCC模拟研究  CNKI文献

    高功率微波在受控热核聚变加热、微波高梯度加速器、高功率雷达、定向能武器、超级干扰机及冲击雷达等方面有着重要的应用.本文针对高功率微波输出窗内侧氩气放电击穿过程,建立了二次电子倍增和气体电离的一维空间分布...

    左春彦 高飞... 《物理学报》 2018年22期 期刊

    关键词: 高功率微波 / 粒子模拟 / 蒙特卡罗碰撞 / 次级电子倍增

    下载(72)| 被引(0)

    尘埃颗粒在射频等离子体鞘层中的非线性共振现象的理论研究  CNKI文献

    一种自洽的理论模型用于研究尘埃颗粒在射频鞘层中垂直方向的非线性共振现象 .利用射频鞘层动力学模型 ,研究了鞘层电场和尘埃颗粒的充电过程 .考虑作用在尘埃颗粒上的各种作用力 (如重力、电场力、离子拖拽力、中性气...

    侯璐景 王友年 《物理学报》 2003年02期 期刊

    关键词: 射频鞘层 / 尘埃颗粒 / 尘埃充电 / 非线性共振

    下载(170)| 被引(21)

    空气中交流针-板大气压辉光放电  CNKI文献

    空气中的大气压辉光放电通常因放电易过渡到火花状态而难以产生。在静态大气压空气针-板等离子体发生器中,采用阻容耦合负反馈方法控制等离子体放电发展过程,成功地抑制了辉光放电向火花放电的过渡,产生了稳定的交流辉...

    张禹涛 马腾才... 《核聚变与等离子体物理》 2006年04期 期刊

    关键词: 空气等离子体 / 大气压 / 辉光放电

    下载(295)| 被引(14)

    Ar~(12+)离子辐照对金属玻璃和金属钨表面微观结构和性能的...  CNKI文献

    为研究金属玻璃作为航空航天领域材料的可能性。采用能量为3 Me V,不同剂量的Ar~(12+)离子辐照金属玻璃Co61.2B26.2Si7.8Ta4.8,研究金属玻璃的耐高电荷态离子的辐照行为,并与金属钨做比较。经SRIM模拟计算得出,3 Me V...

    张琪 梅显秀... 《中国表面工程》 2017年05期 期刊

    关键词: 金属玻璃 / 高电荷态离子 / 辐照 / 金属钨

    下载(70)| 被引(0)

    Fluid simulation of inductively coupled Ar/O_2 plasmas...  CNKI文献

    In this work, a two-dimensional fluid model has been employed to study the characteristics of Ar/O2 radio frequency(RF) inductively coupled plasma discharges. The emphasis of this work has been put o...

    王艳会 刘巍... 《Chinese Physics B》 2015年09期 期刊

    关键词: fluid / simulation / experimental / measurement

    下载(18)| 被引(2)

    介质靶表面的充电效应对等离子体浸没离子注入过程中鞘层特...  CNKI文献

    针对等离子体浸没离子注入技术在绝缘体表面制备硅薄膜工艺 ,采用一维脉冲鞘层模型描述介质靶表面的充电效应对鞘层厚度、注入剂量及靶表面电位等物理量的影响 .数值模拟结果表明 :随着等离子体密度的增高 ,表面的充电...

    李雪春 王友年 《物理学报》 2004年08期 期刊

    关键词: 等离子体浸没离子注入 / 脉冲鞘层 / 绝缘介质 / 充电效应

    下载(170)| 被引(16)

    射频电感性耦合等离子体调谐基片自偏压特性  CNKI文献

    采用调节射频电感性耦合等离子体中基片电极与地之间的外部电路阻抗的方法,控制基片电极的射频自偏压。研究了调谐基片自偏压随外部调谐电容值的变化特征,得到了调谐基片射频自偏压随射频放电功率、气压的变化曲线。在...

    丁振峰 霍伟刚... 《核聚变与等离子体物理》 2004年03期 期刊

    关键词: 感应耦合等离子体 / 电容性耦合 / 射频自偏压 / 鞘层

    下载(249)| 被引(10)

    相位角对容性耦合电非对称放电特性的影响  CNKI文献

    电非对称效应作为一种新兴技术,被广泛用于对离子能量和离子通量的独立调控.此外,在改善等离子体的径向均匀性方面,电非对称效应也发挥了重要作用.本文采用二维流体力学模型,并耦合麦克斯韦方程组,系统地研究了容性耦...

    胡艳婷 张钰如... 《物理学报》 2018年22期 期刊

    关键词: 容性耦合等离子体 / 流体模拟 / 电非对称效应 / 径向均匀性

    下载(36)| 被引(0)

    Fluid simulation of the pulsed bias effect on inductiv...  CNKI文献

    Planar radio frequency inductively coupled plasmas(ICP) are employed for low-voltage ion implantation processes,with capacitive pulse biasing of the substrate for modulation of the ion energy. In thi...

    孙晓艳 张钰如... 《Chinese Physics B》 2017年01期 期刊

    关键词: fluid / simulation / low-voltage / plasma

    下载(28)| 被引(2)

    Study on atomic layer etching of Si in inductively cou...  CNKI文献

    Plasma atomic layer etching is proposed to attain layer-by-layer etching, as it has atomic-scale resolution, and can etch monolayer materials. In the etching process, ion energy and angular distribut...

    麻晓琴 张赛谦... 《Plasma Science and Technology》 2017年08期 期刊

    关键词: atomic / layer / etching / multi-scale

    下载(30)| 被引(1)

    等离子体源离子注入离子鞘层及鞘层扩展动力学计算方法  CNKI文献

    综述了近年来国内外对等离子体源离子注入离子鞘层理论研究的进展情况,介绍了研究离子鞘层扩展动力学所常用的几种计算方法并通过比较指出了其各自的优缺点及适用条件,通过对一些计算结果的分析指出了在PSⅡ实验中常见...

    王久丽 张谷令... 《科学通报》 2004年05期 期刊

    关键词: 等离子体鞘层模拟 / 等离子体源离子注入 / 流体模型 / 粒子模拟

    下载(297)| 被引(5)

    Electronic dynamic behavior in inductively coupled pla...  CNKI文献

    The inflexion point of electron density and effective electron temperature curves versus radio-frequency(RF) bias voltage is observed in the H mode of inductively coupled plasmas(ICPs). The electron ...

    高飞 张钰如... 《Chinese Physics B》 2014年11期 期刊

    关键词: inductively / coupled / plasmas / radio-frequency

    下载(25)| 被引(0)

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