溶胶-凝胶法制备V_2O_5为基体的薄膜材料及其应用 CNKI文献
综述了以V2 O5为基体的薄膜材料的制备方法、结构及其特性 ,介绍了该材料在湿度传感器、电压开关和锂电池等领域的应用。
本文采用特殊的灼烧工艺,在还原气氛准封闭体系中合成了SrS:Eu,Er非放射性红色荧光粉.用365nm紫外光激发,测试了样品的发光特性,其实验结果表明,SrS:Eu,Er荧光粉的发射光谱主峰位在620nm,色坐标x=0.620,y=0.375,余辉时...
TiO_2/V_2O_5双层薄膜的TMA气敏特性研究 CNKI文献
报道了以TiCl4 和V2 O5为源 ,采用等离子增强化学气相沉积 (PECVD)和溶胶 -凝胶 (sol-gel)技术制备了TiO2 /V2 O5双层薄膜 ,将该薄膜沉积在带有金梳状电极的陶瓷管和硅片上 ,进行了X射线衍射(XRD)分析 ,并且测量其对三...
童茂松 戴国瑞... 《传感器技术》 2000年04期 期刊
关键词: TiO_2/V_2O_5双层薄膜 / 等离子增强化学气相沉积 / 溶胶-凝胶 / 三甲基胺气敏特性
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溶胶-凝胶法制备V_2O_5薄膜的气敏特性研究 CNKI文献
本文研究了用无机溶胶凝胶法制备的 V2 O5 薄膜的 XRD结果及其气敏特性 .凝胶在 40 0℃下烧结 12 h后完全形成了 V2 O5 晶体 .掺 3wt% Pd+1wt% Au的 V2 O5 薄膜在较大范围内对乙醇具有较高的灵敏度 .加热电压为 5 .5 ...
本文总结了气体传感器中微加热器的材料、结构及热特性,列举了常见的几种微加热器,对Pt加热器和多晶Si加热器进行比较,并在此基础上简要介绍了传感器阵列中微加热器的制作及气体传感器阵列的气敏特性。
智能化气敏元件测试仪的研制*管玉国戴国瑞高鼎三(吉林大学电子工程系吉林130023)0引言当前,气敏元件的研制正在向纵深发展,对未知气体的识别也更加引人注目〔1~3〕。本文研制了一种智能化气敏元件测试...
本文综述了当前高分子功能材料在气体传感器制造方面所处的地位,并简要介绍了几种典型高分子功能材料的气敏特性,同时以聚苯胺为例较详细地叙述了其合成、结构及气敏特性,并提出了一种高分子功能材料合成与薄膜生长一...
本文采用PECVD方法制备了SnO_2薄膜,对薄膜进行了红外光谱和表面光电压谱测量发现,薄膜表面化学吸附O_2~(2-)和O~-离子基团,成为反应活性中心、电子转移的桥梁,推测了SnO_2表面与乙醇气体敏感反应历程.SnO_(?)薄膜淀积...
用有机小分子制备的高亮度黄光电致发光器件,在19V 下器件亮度可达40000cd/m 2,外量子效率达3.4% .
简要评述了气敏传感器阵列模式识别的几种典型方法和应用
采用PECVD方法,分别注积了SnO2-Fe2O3、SnO2-TiO2-Fe2O3等双层和三层气敏薄膜材料,制成了旁热式传感器。实验结果表明,这种多层结构的元件对乙醇有很高的灵敏度与选择性。
溶胶-凝胶法制备复合钒钼酸铵干凝胶薄膜及其湿敏特性研究 CNKI文献
通过溶胶-凝胶法制备了复合钒钼酸铵H2-x(NH4)xV10 Mo2O31+δ+·nH20(x=0,1,2)干凝胶薄膜,对其进行TXRD和XPS分析,同时研究了其温敏性能。
报导了采用PECVD技术制备聚苯胺薄膜及沉积条件对薄膜沉积速率的影响,红外吸收光谱和电容-电压法表征了薄膜的组成及介电特性。
本文报道了采用等离子体CVD方法制备Fe~2O~3/TiO~2薄膜材料,并用浸渍法对表面修饰了In,制成了检测鱼鲜度了TMA的薄膜气体传感器,并具有很好的灵敏度、选择性、稳定性和响应、恢复特性。
本文报道了采用PECVD技术淀积TiO_2薄膜,深入地研究了反应条件对薄膜生长的影响,并对薄膜进行了光电子能谱和表面光电压谱测试,结果表明,Ti/O原子比接近2,钛原子氧化态为4,高温氢气退火处理的样品,存在三价态钛Ti~(3+...
本文研究了复合钒钼酸凝胶薄膜的湿敏特性。复合钒钼酸凝胶薄膜的湿敏性能较复合钒酸好 ,而且其电阻随相对湿度的增加而减小 ,添加正硅酸乙酯 (TEOS)对其湿滞有明显的改进作用 ,含 5 wt% TEOS的薄膜的湿滞回差最小。同...
提出了新的测试电路,配合函数记录仪,实现了敏感元件的自动加热,多功能敏感特性的自动测试与记录
Fe_2O_3-SnO_2双层薄膜对氨气敏感特性及其机理研究 CNKI文献
本文报道了以Fe(CO)5和SnCl4为源,采用PECVD技术淀积Fe2O3-SnO2双层薄膜,将该薄膜淀积在陶瓷管上,对氨气的敏感特性进行了测量,并讨论了敏感机理.
戴国瑞 何秀丽... 《半导体学报》 1998年10期 期刊
关键词: 双层薄膜 / 敏感特性 / Fe_2O_3-SnO_2 / 淀积
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综述了H2S半导体气体传感器的制备及敏感机理。添加剂CuO化合物可以明显提高对H2S气体的灵敏度与选择性,最后,介绍了一种似乎合理的敏感机制。