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引用

张文栋

教授,...

中北大学 计算机应用技术

发表文献 164|文献被引 729| 指导论文 15

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基于压力分布测试的电容式压力传感器  CNKI文献

针对0~0.3 N压力的大小与分布测试,设计了一款电容式压力传感器。通过ANSYS仿真与Matlab数据分析,确定传感器单个敏感单元半径为80μm,腔高0.5μm,膜厚2.5μm。阵元内敏感单元呈行列排布。设计工艺加工流程与版图,并进...

何昱蓉 贾利成... 《微纳电子技术》 2018年08期 期刊

煤矿机械工作状态监测系统研究  CNKI文献

煤炭是当今社会的一种重要化石能源,煤机械设备是煤矿企业实现机械化的核心装备,对其工作状态进行监测具有重要的经济价值和安全需求。笔者综述了煤矿机械设备的主要故障类型、产生的原因以及故障的表现形式,根据信号...

张文栋 薛晨阳 《振动.测试与诊断》 2018年05期 期刊

关键词: 煤炭 / 能源 / 自动化 / 煤矿机械

下载(95)| 被引(0)

标矢量一体化水听器的设计  CNKI文献

MEMS仿生矢量水听器具有体积小、刚性安装和单支定位等优点,但是在单支水听器定位时,常存在双边指向性造成左右舷模糊的问题。为了解决单支矢量水听器定位的问题,设计了一种通过集成一个标量通道实现单边指向性的标矢...

徐庆达 张国军... 《微纳电子技术》 2018年12期 期刊

关键词: 矢量水听器 / 标量水听器 / 指向性 / 封装

下载(144)| 被引(1)

电容式微超声波换能器的设计与电容值测试  CNKI文献

该文通过对电容式微超声波换能器电容值测试分析了传感器的电容性能。该文设计的电容式微超声波换能器是由电容阵列组成的,主要是利用电容的改变来实现能量的转换。它是基于硅硅键合技术的微机电系统的电容式超声传感...

贾利成 何常德... 《应用声学》 2018年04期 期刊

关键词: 微机电系统 / ANSYS / 电容式微超声波换能器 / E4990A阻抗分析仪

下载(97)| 被引(0)

应用于微电容超声换能器的信号处理电路设计  CNKI文献

针对微电容超声换能器的输出信号特征及检测要求,文中设计了换能器的微弱信号处理电路,包括基于跨阻的微弱电流信号检测和多重反馈带通滤波电路。通过搭建水下测试平台,对电路性能及功能进行实际测试,并进行水下测距实...

梁伟健 张文栋... 《应用声学》 2018年02期 期刊

关键词: 电容式微机械超声换能器 / 微弱信号检测 / 信号调理电路 / 超声测距

下载(96)| 被引(0)

基于摩擦和压电复合机制的接触-分离式纳米发电机  CNKI文献

介绍了一种基于摩擦和压电复合机制的接触-分离式纳米发电机的制备方法,利用倒模工艺形成带有铜网微结构的硅胶膜,与铝电极形成顶端摩擦层结构;利用聚偏氟乙烯(PVDF)膜和铝电极形成底端压电层结构,其中中间铝电极为共...

朱杰 侯晓娟... 《微纳电子技术》 2017年11期 期刊

关键词: 摩擦纳米发电机 / 压电纳米发电机 / 接触-分离 / 复合机制

下载(303)| 被引(1)

高灵敏度宽频带一维MEMS矢量水听器  CNKI文献

针对目前纤毛式MEMS矢量水听器灵敏度和带宽的相互制约,无法实现在高灵敏度的情况下还能有较大的可测带宽。基于此,设计了一种单梁结构的一维MEMS矢量水听器,经理论分析和ANSYS仿真分析,确定了微结构的尺寸,仿真结果显...

丁俊文 张国军... 《微纳电子技术》 2017年10期 期刊

关键词: 微电子机械系统(MEMS) / 压阻传感器 / 一维探测 / ANSYS

下载(180)| 被引(1)

Si基双环级联光学谐振腔应变检测研究  CNKI文献

绝缘衬底上的硅材料制备的光学微环谐振腔结构具有高灵敏度、结构尺寸小和极低模式体积等特性,被广泛应用到光信息传递、惯性导航领域,但极少被应用到力学信号的测试,为此,研究了一种基于硅基光学微环谐振腔结构的悬臂...

唐军 雷龙海... 《光谱学与光谱分析》 2016年03期 期刊

关键词: 应变检测 / 光学谐振腔 / 谐振谱线 / 绝缘衬底上的硅

下载(115)| 被引(5)

基于近场光学理论光镊的研究进展  CNKI文献

近场光镊是基于近场光学理论建立起来的可以对微粒实现稳定捕获和操作的新技术,相较基于单光束梯度力的传统远场光镊,近场光镊克服了光学分辨率衍射极限和热效应等众多因素的限制,可以实现对纳米量级微小粒子的捕获和...

闫树斌 赵宇... 《红外与激光工程》 2015年03期 期刊

关键词: 近场捕获 / 倏逝场 / 近场光镊 / 梯度力

下载(478)| 被引(4)

MEMS矢量水听器减振结构的设计与研究  CNKI文献

在MEMS矢量水听器现有结构的基础上,设计出一种新型减振结构,期望利用该封装结构衰减水听器工作时安装平台的振动噪声,削弱安装平台振动对水听器测量精度的影响,提高水听器的抗噪能力。结合理论分析确定减振材料并采用...

郭楠 张国军... 《传感技术学报》 2015年03期 期刊

关键词: MEMS矢量水听器 / 减振 / 阻尼材料 / 损耗因数

下载(181)| 被引(5)

MEMS仿生矢量水听器微结构的有限元分析(英文)  CNKI文献

结合压电原理和仿生学理论,利用MEMS工艺制作的仿生矢量水听器,具有高灵敏度、宽频带、矢量性及高信噪比等特点。为了进一步提高水听器预测水下环境中声学特性的准确性并提高其固有频率,利用有限元方法对MEMS水听器仿...

郭静 张国军... 《强激光与粒子束》 2015年02期 期刊

关键词: MEMS / ANSYS / 矢量水听器 / 灵敏度

下载(141)| 被引(9)

基于氧化铝陶瓷的电容式高温压力传感器  CNKI文献

氧化铝陶瓷因其稳定的机械性能和高温鲁棒性得到了广泛的应用。文章以LC谐振电路为技术背景,提出了一种基于氧化铝陶瓷的电容式高温压力传感器,并通过厚膜集成工艺技术将一个定值电感与一个可变电容集成在氧化铝陶瓷基...

李晨 谭秋林... 《传感技术学报》 2014年08期 期刊

关键词: 高温传感器 / 压力 / 氧化铝陶瓷 / 厚膜集成技术

下载(434)| 被引(7)

一种基于MATLAB的CMUT阵列设计与成像仿真方法  CNKI文献

为了分析阵列设计参数与成像效果的关系,提高微电容超声传感器(CMUT)阵列设计的可靠性,提出了一种仿真CMUT阵列水下成像方法。设计了一种CMUT结构,振膜厚3μm,振动单元边长1.16 mm,ANSYS仿真得出中心频率为464 kHz。讨...

张慧 何常德... 《传感技术学报》 2014年04期 期刊

关键词: 电容式微加工超声传感器(CMUT) / 阵列设计 / 空间脉冲响应理论 / MATLAB

下载(241)| 被引(7)

双T型MEMS仿生矢量水听器的设计与测试  CNKI文献

根据当前声纳系统的需求,以MEMS技术为依托,结合仿生原理、压阻原理,提出了一种双T型矢量水听器。在分析T型梁结构力学特性的基础上,详细介绍了两种不同尺寸微结构的设计、加工和测试。采用ANSYS软件仿真,得出两种微结...

刘林仙 张国军... 《振动与冲击》 2013年02期 期刊

关键词: MEMS / 仿生 / 矢量水听器 / 双T型

下载(275)| 被引(9)

基于硅晶圆键合工艺的MEMS电容式超声传感器设计  CNKI文献

针对目前电容超声传感器多采用表面工艺制备,存在振膜应力大、厚度均匀性控制差且表面需要沉积分立电极而造成传感器灵敏度低、归一化位移小、频率易偏差的缺点,提出基于硅晶圆键合工艺的MEMS电容超声传感器。采用应力...

苗静 何常德... 《传感技术学报》 2012年12期 期刊

关键词: 超声传感器 / 一体化全振薄膜 / ANSYS / 电容

下载(327)| 被引(20)

一种智能小车自主寻/循迹系统设计  CNKI文献

为了实现智能小车自主寻/循迹的要求,提出了一种基于磁传感器阵列的智能小车自主寻/循迹系统设计方案;该方案从分析小车寻/循线过程中可能遇到的路径状况出发,利用磁传感器相对导引线位置不同采集的信号具有较大差异的...

李波 杨卫... 《计算机测量与控制》 2012年10期 期刊

关键词: 智能小车 / 磁传感器阵列 / 寻迹 / 循迹

下载(1044)| 被引(16)

纤毛式矢量水听器新型封装结构的研究  CNKI文献

针对仿鱼类侧线的敏感单元提出了一种新型的封装,即采用与透声帽相同材料的聚氨酯代替蓖麻油进行灌封,且聚氨酯仅淹没到纤毛的一半,该封装结构能够提高矢量水听器的灵敏度。建立了水听器封装结构的声学理论模型,并由此...

许姣 张国军... 《传感技术学报》 2011年04期 期刊

关键词: 矢量水听器 / 纤毛 / 封装 / ANSYS

下载(232)| 被引(26)

基于AFM的纳米梁杨氏模量和残余应力测量  CNKI文献

针对同一工艺流程下相同杨氏模量和残余应力的双端固支梁阵列,建立了简化的杨氏模量和残余拉应力的弯曲测试模型,并将应力刚化理论应用到几何非线性有限元分析中用于上述模型的理论误差评价。提出将拉曼频移测试与原子...

徐临燕 栗大超... 《仪器仪表学报》 2010年01期 期刊

关键词: 纳米梁 / 杨氏模量 / 残余应力 / 原子力显微镜

下载(484)| 被引(9)

基于干涉显微原理的表面形貌测量系统  CNKI文献

根据光学干涉显微法原理,设计开发了一套微纳结构表面形貌测量系统。该系统采用林尼克干涉显微镜,通过参考镜扫描的方法将扫描器与相移器集为一体,分别采用五步相移算法和基于采样定理的包络均方函数(SEST)算法实现相...

王海珊 史铁林... 《光电工程》 2008年07期 期刊

关键词: 相移干涉法 / 垂直扫描干涉法 / 林尼克干涉结构 / 五步相移算法

下载(655)| 被引(36)

介观压阻效应及器件  CNKI文献

介绍GaAs/AlAs/InGaAs双势垒超晶格薄膜结构的介观压阻效应以及几种基于此效应的新型传感器件。阐述介观压阻效应的四个过程,结合空气桥结构和欧姆接触技术,在[001]晶向半绝缘GaAs衬底上加工出来了GaAs/AlAs/InGaAs共...

张文栋 熊继军... 《机械工程学报》 2008年11期 期刊

关键词: 介观压阻效应 / 共振隧穿结构 / 纳机电

下载(309)| 被引(13)

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