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钽掺杂对二氧化钒多晶薄膜相变特性的影响  CNKI文献

将Ta2O5与V2O5均匀混合,压制成溅射靶,用离子束增强沉积方法在二氧化硅衬底上沉积掺Ta氧化钒薄膜。在氮气中适当退火,形成掺杂二氧化钒多晶薄膜。X射线衍射结果显示,薄膜具有单一的(002)取向。XPS测试表明,膜中V为+4价...

付学成 李金华... 《红外技术》 2010年03期 期刊

关键词: 二氧化钒薄膜 / Ta掺杂 / 离子束增强沉积

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三层金属磁控溅射复合膜的XRD应力分析  CNKI文献

用磁控溅射方法沉积制备的Ag/Ti-W/Ni-Cr三层复合电极薄膜上的Ag膜在工艺中容易脱落,而SiO2衬底上的Ag膜则具有良好的粘附性能。X射线衍射方法常用来检测薄膜中的应力,用X射线衍射技术(XRD)衍射峰位置的移动可判断膜中...

崔严匀 黎磊... 《半导体技术》 2010年07期 期刊

关键词: 多层金属复合电极薄膜 / 磁控溅射沉积 / X射线衍射 / 应力分析

下载(354)| 被引(1)

离子束增强沉积法和溶胶-凝胶法制备的钨掺杂VO_2薄膜的性能...  CNKI文献

氧化钒薄膜是一种重要的红外敏感膜,在红外探测与室温红外成像等领域有十分广泛的应用。利用掺杂的方法可以改变VO_2多晶薄膜的相变温度和电阻-温度系数(TCR),从而提高红外探测器的性能。用离子束增强沉积(IBED)和溶胶...

付学成 李金华... 第十二届全国红外加热暨红外医学发展研讨会论文及论文摘要集 2009-10-14 中国会议

关键词: 氧化钒薄膜 / 掺杂改性 / 离子束增强沉积 / 溶胶-凝胶法

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InSb_(1+x)N_x晶体的带隙调整及其红外应用  CNKI文献

锑化铟(InSb)是常用的红外光电子材料,单晶具有高达10~5cm~2/Vs的电子迁移率,其俄歇寿命是HgCdTe的3倍,是能带间隙最小的Ⅲ-V族化合物材料,在77K时,它的禁带宽度是0.23eV,利用其内光电效应可以制备性能优良的中红外波...

李金华 张道华... 第十二届全国红外加热暨红外医学发展研讨会论文及论文摘要集 2009-10-14 中国会议

关键词: 红外材料和红外探测 / InSb晶体 / 能带间隙调制 / 离子注入

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