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磁控溅射的特点及应用——化合物溅射膜中观察到的有趣现象  CNKI文献

本文首先叙述了磁控溅射中的两种放电模式,第一种模式出现在低于1000高斯的弱磁场下.在这种模式中放电时占优势的空间电荷是正的(PSC模式),用PSC模式溅射对制作半导体器件的互联和电极有用,第二种模式出现在高于1000高...

和佐清孝·早川茂 陈肖 《压电与声光》 1980年01期 期刊

关键词: 溅射 / 放电模式 / 辉光放电 / 高斯

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薄膜声表面波器件  CNKI文献

本文叙述声表面波器件用的薄膜材料、薄膜多层结构中的声表面波传输特性计算以及薄膜声表面波视中频滤波器。由于溅射电极结构的改良,确立了具有均匀的膜厚、结晶性和相当于单晶的85-88%的机电耦合系统的ZnO压电膜的大...

三露常男 山崎攻... 《压电与声光》 1978年01期 期刊

关键词: 声表面波器件 / 膜厚 / 玻璃基片 / 声学器件

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声表面波(SAW)辐射温度传感器  CNKI文献

以前作为检测红外线的元件,一般是用热电效应方法,热电动势法和电阻变化等方法。另外也有利用量子效应的光电动势的测量或通过电阻变化测量红外线强度的方法。前者的热型元件,有效波长范围可在整个红外区域使用,但是灵...

稻叶律夫 笠原征夫... 《压电与声光》 1982年04期 期刊

关键词: SAW / 温度传感器 / 声表面波

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4.4千兆赫ZnO单晶膜/兰宝石SAW滤波器  CNKI文献

在兰宝石(Al_2O_3)基片上采用ZnO单晶膜已研制成4.4千兆赫SAW滤波器.ZnO膜是用R.F.磁控溅射技术生长的.发现ZnO/Al_2O_3结构的SAW特性与理论值很一致.滤波器系由0.5微米宽的双电极叉指换能器构成.尽管电极宽度较宽,但...

T Mitsuyu... 《压电与声光》 1983年03期 期刊

关键词: 千兆赫 / SAW / 滤波器 / 电子设备

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