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铝表面化学气相沉积SiO_x膜层的显微结构和性能  CNKI文献

采用低温常压化学气相沉积(CVD)方法在铝基底上制备了硅氧化物陶瓷膜层。使用SEM、XPS、AFM、XRD、HRTEM和UV VIS等技术分析了膜层的形貌、成分和组织结构特征,测试了膜层的孔隙率、光学和显微力学性能。结果表明:硅氧...

张际亮 郦剑... 《中国有色金属学报》 2004年06期 期刊

关键词: 化学气相沉积(CVD) / 铝基 / SiOx膜层 / 性能

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铝表面SiO_X薄膜结合性能与机理研究  CNKI文献

应用化学气相沉积(CVD)方法在铝表面形成SiOX陶瓷涂层,通过弯曲实验研究了涂层与基体的结合性能。利用扫描电子显微镜(SEM)观察了弯曲部位的表面形貌,弯曲过程表述为表面凹坑与内部孔洞联合长大,形成长条裂纹状沟槽或...

张际亮 郦剑... 《材料热处理学报》 2006年01期 期刊

关键词: 铝基 / SiOX薄膜 / 弯曲实验 / 结合力

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铝基SiOx膜层滑动磨损及其机理研究  CNKI文献

本文采用低温常压CVD方法制备铝基SiOx陶瓷膜层。以黄铜为对磨材料 ,使用销 -盘式磨损试验机对比研究纯铝表面与SiOx膜层的滑动磨损性能 ,通过SEM分析磨损的表面形貌并分析其磨损机理。结果表明纯铝表面发生粘着磨损 ...

张际亮 沃银花... 《材料科学与工程学报》 2005年03期 期刊

关键词: 铝基SiOx膜 / APVCD / 滑动磨损

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