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磁场对电弧离子镀深管内壁沉积TiN薄膜的影响  CNKI文献

用电弧离子镀设备在一端封口的Φ50 mm×200 mm×5 mm不锈钢深管内壁上沉积TiN薄膜,镀膜前在管子上方布置一个0.4 T的永磁体,以考察附加磁场对深管内壁沉积TiN薄膜的影响。对薄膜的厚度、表面形貌、相结构、显...

刘琪 王文涛... 《真空科学与技术学报》 2011年01期 期刊

关键词: 电弧离子镀 / 磁场 / 管内壁 / TiN薄膜

下载(248)| 被引(11)

纳米SiC颗粒对激光熔覆NiFeBSi合金涂层组织性能的影响  CNKI文献

采用激光熔覆技术,在45#钢基体表面分别制备了NiFeBSi合金涂层和NiFeBSi+质量分数10%纳米SiC复合涂层。利用X射线衍射(XRD)仪、扫描电镜(SEM)、显微硬度、摩擦磨损试验机分别对两种涂层的组成相、微观形貌、显微硬度和...

李耀忠 王存山... 《中国激光》 2010年05期 期刊

关键词: 激光技术 / 激光熔覆 / NiFeBSi合金涂层 / 纳米SiC颗粒

下载(241)| 被引(10)

管腔内支架用金属材料的生物相容性及其表面改性  CNKI文献

管腔内金属支架是用于植入人体各管道狭窄处起支撑作用的医疗器械,因其与人体组织直接接触,故对支架的生物相容性的研究十分重要。本文对用于管腔内支架的316L不锈钢和NiTi合金的耐腐蚀性和生物相容性进行了综合评述;...

刘敬肖 杨大智... 《功能材料》 2000年06期 期刊

关键词: 管腔内支架 / 生物相容性 / 表面改性

下载(451)| 被引(31)

不锈钢双极板电弧离子镀Cr_(1-x)N_x薄膜改性研究  CNKI文献

用电弧离子镀方法在质子交换膜燃料电池(PEMFC)不锈钢双极板表面沉积一系列Cr_(1-x)N_x(x=0.28—0.50)改性薄膜,对薄膜的成分、相组成以及改性双极板的导电、耐蚀等性能进行了分析测试.结果表明,双极板的导电与耐蚀性...

吴博 李红凯... 《金属学报》 2009年09期 期刊

关键词: 质子交换膜燃料电池 / Cr-N膜 / 不锈钢双极板 / 电弧离子镀

下载(211)| 被引(12)

AlN薄膜对太阳能吸收率的研究  CNKI文献

采用磁控溅射方法,在高纯氩气和氮气混合气氛下成功制备出Al(W)-AlN系太阳能选择性吸收薄膜。借助吸收光谱分析,比较了Al、W两种反射层材料上制备单层AlN和多层AlN薄膜的光谱吸收特性。结果表明:多层AlN薄膜比单层AlN...

丁迪 张贵锋... 《太阳能学报》 2012年01期 期刊

关键词: 磁控溅射 / 物理气相沉积 / AlN薄膜 / 选择性吸收膜

下载(174)| 被引(7)

玻璃衬底沉积氮化硅薄膜性能研究  CNKI文献

为了改善玻璃衬底上制备的薄膜太阳电池的转换效率,采用高纯氮气作为等离子体气源,以质量分数为5%的SiH4(Ar稀释)作为前驱气源,利用电子回旋共振-等离子体增强化学气相沉积技术在玻璃衬底上低温制备了氮化硅薄膜;利用...

张广英 吴爱民... 《哈尔滨工程大学学报》 2009年11期 期刊

关键词: 氮化硅 / ECR-PECVD / 减反射膜 / 低温

下载(233)| 被引(9)

中频脉冲磁控溅射沉积氮化铝薄膜及性能研究  CNKI文献

氮化铝薄膜在力学、光学、声学等领域有着广泛的应用前景.研究沉积条件对氮化铝薄膜的结构、性能的影响具有重要意义.采用纯铝溅射靶、在不同的N2流量比率条件下,采用中频脉冲磁控溅射在Si(001)衬底上制备出氮化铝薄膜...

牟宗信 刘升光... 《材料研究与应用》 2009年01期 期刊

关键词: 氮化铝 / 形貌 / 折射率 / 磁控溅射

下载(387)| 被引(5)

调制比对GDC/YSZ多层氧离子导体薄膜结构与电学性能的影响  CNKI文献

采用反应射频磁控溅射技术在(0001)蓝宝石基片上制备了不同调制结构的(GDC/YSZ)12多层氧离子导体电解质薄膜。利用电子探针微区分析技术测得薄膜的摩尔质量比为m(Zr):m(Y)=5.73:1、m(Ce):m(Gd)=4.12:1;X射线衍射(XRD)...

孟昕 孟宪芹... 《功能材料》 2010年07期 期刊

关键词: GDC/YSZ多层薄膜 / 结构 / 表面形貌 / 电学性质

下载(132)| 被引(6)

反应溅射的PID神经网络控制仿真  CNKI文献

在反应溅射工艺中,反应气体流量和沉积速率、反应气体气压、靶电压之间存在迟滞关系。为了保证反应溅射稳定以及保持溅射率高和反应气体利用率高,需要对反应溅射系统进行精确控制。PID神经网络(PIDNN)控制器具有PID控...

王振伟 牟宗信... 《真空科学与技术学报》 2009年04期 期刊

关键词: 反应溅射 / 迟滞效应 / PID神经网络控制 / S.Berg模型

下载(118)| 被引(3)

医用镁合金激光熔覆羟基磷灰石涂层初探  CNKI文献

为改善医用镁合金表面耐蚀性和生物相容性,采用激光熔覆技术在AZ91D镁合金表面制备具有生物活性的羟基磷灰石涂层。结果表明,所制备的涂层和镁合金基体达到了良好的冶金结合,涂层显微结构为致密的胞状晶,主要由Mg、HA...

高亚丽 熊党生... 《特种铸造及有色合金》 2009年04期 期刊

关键词: 医用镁合金 / 激光熔覆 / 羟基磷灰石 / 生物相容性

下载(577)| 被引(50)

铝合金表面改性技术的发展现状  CNKI文献

对近年来国内外铝合金表面改性技术的研究与应用情况进行综述,讨论了电子束表面改性技术的特点和基于强流脉冲电子束的复合表面处理技术的发展前景。

初鑫 任鑫... 《热加工工艺》 2010年20期 期刊

关键词: 铝合金 / 表面改性 / 强流脉冲电子束 / 复合表面处理

下载(1095)| 被引(22)

(Ti,Zr)N复合薄膜的微观结构及性能  CNKI文献

利用电弧离子镀方法 ,对独立的Ti靶和Zr靶的电流进行控制 ,成功地在高速钢基体上制备了不同成分配比的 (Ti,Zr)N薄膜 .透射电子显微镜结果表明 :(Ti,Zr)N薄膜为单一的fcc结构 .采用X射线衍射分析显示 :(Ti,Zr)N薄膜出...

高玉周 史雅琴... 《大连海事大学学报》 2002年02期 期刊

关键词: 电弧离子镀 / (Ti / Zr)N薄膜 / 薄膜结构

下载(182)| 被引(21)

B-C-N薄膜的制备及其红外光谱表征  CNKI文献

采用射频磁控溅射方法,以石墨和六方氮化硼(h-BN)为复合靶,在氩气和氮气的氛围中,在室温和673 K的条件下,分别改变N2流量,沉积BCN薄膜.经傅立叶变换红外光谱(FTIR)分析表明,在1000~1800 cm-1和2200 cm-1处分别出现了C...

贾福超 白亦真... 《材料研究与应用》 2009年01期 期刊

关键词: BCN薄膜 / 傅立叶变换红外光谱 / 射频磁控溅射

下载(259)| 被引(3)

强流脉冲电子束处理AZ91镁合金的显微结构及磨损性能变化  CNKI文献

挤压态AZ91镁合金经强流脉冲电子束(HCPEB)辐照后,辐照表面出现熔坑.通过X射线衍射仪分析样品表层显微结构的变化,发现初始几次电子束脉冲轰击导致表面改性层中析出Mg17Al12相,此时样品耐磨损性能最好,磨痕深度由处理...

李旻才 郝胜智... 《材料研究与应用》 2009年01期 期刊

关键词: 强流脉冲电子束 / 镁合金 / 磨损

下载(174)| 被引(4)

医用镁合金激光制备羟基磷灰石涂层研究  CNKI文献

为了提高医用镁合金的表面耐蚀性和生物相容性,采用激光技术在镁合金表面制备羟基磷灰石(HA)涂层。研究主要采用如下两种方法制备HA涂层:激光熔覆法;等离子喷涂+激光重熔法。研究结果表明,由于镁合金和HA的物化差异较...

高亚丽 熊党生... 《应用激光》 2009年06期 期刊

关键词: 医用镁合金 / 羟基磷灰石涂层 / 激光技术 / 等离子喷涂

下载(49)| 被引(8)

变截面管道模型的等离子体输运特性数值研究  CNKI文献

为了研究强流脉冲离子束(HIPIB)辐照靶材产生烧蚀等离子体向真空中喷发的机制,建立了与HIPIB烧蚀靶材形状相关的沿变截面管道流动的等离子体喷发动力学模型,并以烧蚀结果为初始条件采用数值方法计算了喷发等离子体压力...

吴迪 部德才... 《辽宁工程技术大学学报(自然科学版)》 2011年01期 期刊

关键词: 脉冲离子束 / 流体动力学方程 / 数值方法

下载(42)| 被引(0)

中频孪生脉冲磁控溅射反应沉积薄膜的反应气体影响  CNKI文献

采用中频孪生磁控溅射沉积金属薄膜、氧化物薄膜和氮化物薄膜,固定放电的气压,研究在沉积过程中控制反应气体的比例对放电电压和电流参数的影响。研究发现放电电压和放电电流明显受到反应气体比例的影响,随反应气体比...

牟宗信 牟晓东... TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集 2009-08-15 中国会议

关键词: 反应气体 / 放电电压 / 电流特性 / 沉积速率

下载(41)| 被引(0)

GDC/YSZ多层氧离子导体电解质薄膜稳定性研究  CNKI文献

工作温度在500-800℃范围内的中温固态氧化物燃料电池(Solid Oxide Fuel Cell,SOFC)是目前燃料电池领域的重要发展方向,而降低氧离子导体电解质材料的欧姆阻抗是提高中温SOFC工作效率的有效途径。已有研究结果表明,通...

孟昕 姜雪宁... TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集 2009-08-15 中国会议

关键词: GDC/YSZ多层膜 / 结构 / 表面形貌 / 电学性能

下载(34)| 被引(0)

脉冲偏压电弧离子镀DLC-MeN复合薄膜  CNKI文献

类金刚石(Diamond-Like Carbon,DLC)薄膜是指一系列含有sp~3键的非晶碳膜,因为它具有硬度高、弹性模量大、摩擦系数低、热导率高、热膨胀系数小等优点而被广泛关注。但是,由于DLC薄膜在生长过程中会产生较大的内应力,...

李红凯 林国强... TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集 2009-08-15 中国会议

关键词: DLC / 复合薄膜 / 脉冲偏压 / 电弧离子镀

下载(28)| 被引(1)

HWCVD法在柔性衬底上制备无定形硅薄膜  CNKI文献

用热丝化学气相沉积的法(Hot Wire Chemical VaporDeposition,HWCVD)在聚亚酰胺沉底上沉积了无定形硅薄膜。持续通入硅烷和氢气混合气体,衬底温度控制在150℃以下。系统研究了不同气体压力、硅烷浓度和衬底温度等参数...

丁迪 张贵锋... TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集 2009-08-15 中国会议

关键词: 柔性衬底 / 非晶硅薄膜 / 热丝化学气相沉积

下载(24)| 被引(0)

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