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氮原子在 CVD 低压金刚石制备过程中的作用  CNKI文献

根据理论计算得到了碳氢氮体系低压金刚石生长非平衡定态相图,结果与实验数据相当符合,并通过相图和热力学计算讨论了氮原子含量对金刚石生长条件的影响以及在CVD金刚石制备过程中提高金刚石薄膜生长速率的原因。

刘志杰 张卫... 《高技术通讯》 1998年09期 期刊

关键词: / 化学气相淀积 / 金刚石

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氯参与的化学气相淀积金刚石的热力学分析  CNKI文献

用非平衡热力学耦合模型研究了金刚石在CHCl体系中的生长,计算所得CHCl体系的金刚石生长的相图与大量实验结果符合良好.通过热力学分析讨论了氯的添加对提高金刚石薄膜生长速率及其质量的影响以及降...

刘志杰 张卫... 《高等学校化学学报》 1999年01期 期刊

关键词: / 金刚石 / 化学气相淀积 / 热力学

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C-H-N体系气相淀积金刚石薄膜的非平衡定态相图  CNKI文献

根据非平衡热力学耦合模型理论首次计算得到了碳氢氮体系的金刚石生长的非平衡定态相图,与近几年在国际上发表的该体系实验结果相符合,可以为今后的实验研究提供定量化的理论依据。还讨论了激活温度、系统压力和体系中...

刘志杰 张卫... 第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集 1998-10-13 中国会议

关键词: CVD / / 金刚石 / 非平衡定态

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