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区熔再结晶制备多晶硅薄膜太阳电池  CNKI文献

研究了区熔再结晶 (ZMR)设备及其工艺特点 .在覆盖SiO2 的重掺P型单晶硅衬底上用快速热化学气相沉积 (RTCVD)在其上沉积一层很薄的多晶硅薄膜 ,用区熔再结晶法对薄膜进行处理 ,得到了晶粒致密 ,且取向一致的多晶硅薄膜...

李维刚 许颖... 《北京师范大学学报(自然科学版)》 2001年06期 期刊

关键词: 区熔再结晶 / 多晶硅薄膜 / 太阳电池

下载(260)| 被引(14)

多晶硅薄膜太阳电池效率影响因素的研究  CNKI文献

研究了影响单晶硅衬底的多晶硅薄膜太阳电池转换效率的因素,得到该种电池的快速热化学汽相沉积(RTCVD)的最佳条件.同时改进了制备薄膜太阳电池的若干工艺问题,得到了转换效率为14.08%的太阳电池,其填...

李维刚 许颖... 《北京师范大学学报(自然科学版)》 2001年04期 期刊

关键词: 太阳电池 / 薄膜 / 化学汽相沉积 / 效率

下载(319)| 被引(3)

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