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阻变存储器研究进展  CNKI文献

阻变存储器(Resistive Random Access Memory,RRAM)是最具应用前景的下一代非易失性存储器之一,与传统浮栅闪存相比在器件结构、速度、可微缩性、三维集成潜力等方面都具有明显的优势,本文对RRAM技术进行了综述.首先简...

龙世兵 刘琦... 《中国科学:物理学 力学 天文学》 2016年10期 期刊

关键词: 阻变存储器 / 阻变材料 / 阻变机制 / 导电细丝

下载(2289)| 被引(26)

A1_2O_3钝化及其在晶硅太阳电池中的应用  CNKI文献

介绍了Al_2O_3的材料性质及其原子层沉积制备方法,详细阐述了该材料的钝化机制(化学钝化和场效应钝化),并从薄膜厚度、热稳定性及叠层钝化等角度阐释其优化方案.概述了Al_2O_3钝化在晶体硅太阳电池中的应用,主要包括钝...

张祥 刘邦武... 《物理学报》 2012年18期 期刊

关键词: 氧化铝(A1_2O_3) / 原子层沉积 / 晶硅太阳电池 / 钝化

下载(400)| 被引(11)

阻变存储器发展现状  CNKI文献

在纳米电子器件时代,来自量子隧穿和电容耦合等问题的挑战,使得Flash半导体存储器的发展遇到瓶颈。阻变存储器是忆阻器在二值情况下的特殊应用,因其结构简单、高密度、高速、低功耗、与CMOS工艺兼容以及具备三维集成能...

刘森 刘琦 《国防科技》 2016年06期 期刊

关键词: 忆阻器 / 阻变存储器 / 非易失存储器技术 / 阻变机理

下载(748)| 被引(6)

黑硅制备及应用进展  CNKI文献

黑硅作为一种新型低反射率的硅材料,有良好的广谱吸收特性,在光电领域将有很好的应用前景。概括地介绍了黑硅的各种制备方法(飞秒激光扫描、化学腐蚀法和等离子体处理),以及黑硅在太阳能电池、光电二极管、场发射、太...

沈泽南 刘邦武... 《固体电子学研究与进展》 2011年04期 期刊

关键词: 黑硅 / 飞秒激光 / 化学腐蚀 / 等离子体处理

下载(1162)| 被引(10)

多晶黑硅材料及其太阳电池应用研究  CNKI文献

利用等离子体浸没离子注入技术(PIII)成功制备了多晶黑硅材料。通过原子力显微镜(AFM)观测分析多晶黑硅材料的表面形貌和粗糙度,黑硅材料表面呈小山峰结构,表面粗糙度约为50nm。利用紫外-可见-红外分光光度计测量黑硅...

沈泽南 刘邦武... 《太阳能学报》 2013年05期 期刊

关键词: 等离子体浸没离子注入 / 黑硅 / 太阳电池

下载(290)| 被引(4)

多晶黑硅的制备及其组织性能  CNKI文献

利用等离子体浸没离子注入技术在多晶硅基底上制备了黑硅材料,利用扫描电镜、分光光度计和微波光电导衰减测试仪对黑硅的组织结构、光吸收率和少数载流子寿命进行了测试分析,发现黑硅呈现多孔组织,在可见光波段的平均...

刘邦武 夏洋... 《北京科技大学学报》 2011年05期 期刊

关键词: 黑硅 / 等离子体浸没离子注入 / 组织 / 光吸收率

下载(612)| 被引(6)

3D硅基探测器研究现状  CNKI文献

柱电极垂直穿通硅片衬底的3D探测器和传统平面硅基探测器相比,具有耐辐射性、快速响应、低耗尽电压等优势,然而其器件结构、制备工艺以及系统集成上与传统结构不同,面临众多的技术挑战。近年许多机构对3D探测器开展了...

杨君 殷华湘... 《电子元件与材料》 2015年09期 期刊

关键词: 探测器 / 3D硅基探测器 / 综述 / 辐射

下载(107)| 被引(3)

基于频率补偿的窄脉冲量子级联激光器快速驱动技术  CNKI文献

脉冲量子级联激光器(QCL)因自热效应会导致谱线展宽,故需极短的电流脉冲驱动。理论极限线宽所需的脉宽为5~15 ns,但由于环路寄生参数的影响,窄脉冲会引起信号过冲或振荡,因此目前商用的QCL驱动器无法满足这个要求。为...

余兆安 姚志宏... 《红外与激光工程》 2016年02期 期刊

关键词: 量子级联激光器 / 线宽 / 脉冲驱动电路 / LED驱动

下载(73)| 被引(1)

用于空间辐射主动防护的等离子体发生器设计  CNKI文献

等离子引发磁膨胀技术被美国航空航天局推荐为最有工程应用价值的空间辐射主动防护技术。在该技术中,高密度等离子体发生器的设计是其中的关键技术之一。本文设计了一种高密度螺旋波等离子体发生器,采用13.56 MHz射频...

贾向红 许峰... 《真空科学与技术学报》 2011年04期 期刊

关键词: 螺旋波 / 空间辐射 / 主动防护 / 等离子体发生器

下载(197)| 被引(4)

InP/Si键合技术研究进展  CNKI文献

InP材料及其器件的研制是近年来研究热点之一,而键合技术又是光电子集成研究领域内一项新的制作工艺。利用键合技术结合离子注入技术可以InP薄膜及器件集成到Si衬底上,改善机械强度,降低成本,具有非常诱人的应用前景。...

刘邦武 李超波... 《电子工艺技术》 2010年01期 期刊

关键词: Si / InP / 键合 / 层转移

下载(247)| 被引(4)

焦平面阵列BP神经网络非均匀性校正及其算法改进  CNKI文献

在紫外成像系统中,紫外焦平面阵列的非均匀性是影响成像质量的重要因素。介绍了标准的神经网络算法对焦平面阵列非均匀性的校正,并针对标准的神经网络算法的收敛速度慢的缺点,提出了改进算法。通过matlab对算法进行仿...

朱杰 麻芃... 《红外技术》 2010年07期 期刊

关键词: 紫外焦平面阵列 / 非均匀性校正 / 神经网络

下载(123)| 被引(6)

等离子喷涂氧化钇涂层的组织结构  CNKI文献

利用大气等离子喷涂技术在铝基体上制备了氧化钇涂层,采用扫描电镜、X射线衍射仪和金相显微镜对涂层的组织结构进行分析。结果表明:利用等离子喷涂制备的氧化钇涂层没有裂纹,比较致密,其孔隙率为5.58%;涂层由立方相和...

刘邦武 王文东... 《金属热处理》 2010年10期 期刊

关键词: 等离子喷涂 / 氧化钇 / 涂层 / 组织

下载(268)| 被引(5)

Ni全硅化金属栅功函数调节技术研究  CNKI文献

通过制备栅内不同掺杂条件的Ni全硅化金属栅电容并分析其C-V和Vfb-EOT特性发现,Ga和Yb较常规的杂质而言具有更好的栅功函数调节能力,能够分别将Ni全硅化金属栅电极功函数调节到价带顶和导带底附近,满足高性能体硅平面...

周华杰 徐秋霞 《物理学报》 2011年10期 期刊

关键词: 金属栅电极 / 功函数 / 硅化物

下载(121)| 被引(0)

磁随机存储器总剂量效应及退火特性研究  CNKI文献

本文对一款16Mb并口型磁随机存储器(MRAM)进行了Co60总剂量辐照和室温退火实验,深入研究了磁随机存储器的总剂量效应和退火特性。基于Verigy 93000芯片自动测试设备测试了磁随机存储器的直流/交流参数和功能,从中筛选...

张浩浩 毕津顺... 《功能材料与器件学报》 2017年01期 期刊

关键词: 磁随机存储器 / 总剂量效应 / 室温退火 / 抗辐照

下载(56)| 被引(1)

脉冲量子级联激光器吸收谱扫描方法  CNKI文献

针对近年来脉冲量子级联激光器吸收光谱的研究进展,系统地综述了脉冲量子级联激光器吸收光谱扫描方法,如脉间光谱扫描法、脉内光谱扫描法和中脉冲光谱扫描法等,并对这些方法的扫描原理、实现方案、应用场合及存在的问...

余兆安 姚志宏... 《微纳电子技术》 2015年07期 期刊

关键词: 脉冲量子级联激光器 / 吸收谱 / 频率调谐 / 脉间光谱

下载(65)| 被引(0)

载人航天微型磁等离子体辐射防护地面实验  CNKI文献

星际飞行中的辐射主动防护问题一直是人们研究的焦点,低地轨道飞行中采用的质量厚度屏蔽已经不能满足要求,必须寻找新的空间辐射主动防护技术和方法。在电场、磁场、等离子体膨胀等众多新的主动防护方法中,选取了等离...

贾向红 许峰... 《辐射防护》 2012年05期 期刊

关键词: 空间辐射 / 载人航天 / 微型磁等离子体 / 主动防护

下载(135)| 被引(0)

基于反射测定法的SOI膜厚检测系统  CNKI文献

研制可用于膜厚检测的系统,获取薄膜反射光谱,基于多层膜反射率模型和非线性回归算法得到厚度分布图。对SOI材料的反射光谱进行测试及分析,结果表明,对于厚度为30μm的顶层硅,其静态重复性为±0.01nm,动态重复性为...

严冬 李国光... 《微电子学》 2013年05期 期刊

关键词: SOI / 反射测定法 / 膜厚检测 / 形貌

下载(59)| 被引(0)

应用微波技术抑制光刻胶图形的坍塌与黏连  CNKI文献

针对显影工艺中水的表面张力导致的高高宽比抗蚀剂图形的坍塌及黏连,提出了一种基于微波加热的干燥技术来有效改善纳米抗蚀剂图形的干燥效果。该方法利用微波穿透光刻胶结构直接加热光刻胶图形间隙中残存的去离子水,水...

于明岩 施云波... 《光学精密工程》 2015年01期 期刊

关键词: 电子束光刻 / 光刻胶图形 / 坍塌 / 黏连

下载(207)| 被引(4)

面向高性能GaN基功率电子的器件物理研究  CNKI文献

氮化镓(GaN)功率电子器件具有高击穿电压、高工作频率、高电流输出能力以及耐高温等优点,有望成为下一代高效电源管理系统芯片的最佳候选之一.本文从界面态起源、极化能带工程以及可靠性机理等角度分析了GaN基功率电子...

黄森 杨树... 《中国科学:物理学 力学 天文学》 2016年10期 期刊

关键词: 氮化镓 / 功率电子器件 / 界面态 / 动态导通电阻

下载(519)| 被引(3)

样品校准法在单波长椭偏仪中的应用  CNKI文献

椭偏仪是薄膜测量的重要工具。从模拟和实验两方面,描述一种新颖的单波长椭偏仪的校准方法。该方法的基本思路是:如果被测样品的相关信息(折射率n,吸收系数k,厚度d)已知,则可以通过测量光强变化的傅里叶系数,采用最小...

徐鹏 刘涛... 《光学学报》 2013年04期 期刊

关键词: 薄膜 / 椭偏校准方法 / 最小二乘法 / 校准参数

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