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衍射微透镜阵列用于面阵半导体激光光束匀化  CNKI文献

提出了一种用衍射微透镜阵列对面阵半导体激光光束进行匀化的方法,解决了折射型微透镜阵列难于实现高填充因子、高精度面型的难题。基于标量衍射理论,设计了具有多阶相位结构的衍射微透镜阵列,推导了半导体激光从输入...

刘志辉 杨欢... 《中国激光》 2014年01期 期刊

关键词: 衍射 / 半导体激光器 / 微透镜阵列 / 光束匀化

下载(633)| 被引(28)

表面等离子体超衍射光学光刻  CNKI文献

由于光波衍射特性,传统光学光刻面临分辨力衍射极限限制,成为传统光学光刻技术发展的原理性障碍.表面等离子体(surface plasmon,SP)是束缚在金属介质界面上的自由电子密度波,具有突破衍射极限传输、汇聚和成像的独特性...

王长涛 赵泽宇... 《科学通报》 2016年06期 期刊

关键词: 表面等离子体 / 光学光刻 / 超分辨 / 衍射极限

下载(768)| 被引(9)

超表面相位调控原理及应用  CNKI文献

超构表面是一种基于亚波长结构的功能膜层器件,也称超表面或二维超构材料。超构表面可在平面化的亚波长结构内产生异常的相位突变,从而为包括大口径平面成像、电磁虚拟赋形、大视场全息显示等应用提供有效手段。与传统...

李雄 马晓亮... 《光电工程》 2017年03期 期刊

关键词: 超构表面 / 超构材料 / 相位 / 斯涅耳定律

下载(1138)| 被引(21)

衍射极限尺度下的亚波长电磁学  CNKI文献

作为波的本性之一,衍射是现代物理学的重要研究内容.衍射导致自由空间中波的能量不能被无限小地聚集,从而为成像、光刻、光存储、光波导等技术设定了一个原理性的障碍——衍射极限.对于电磁波和光波而言,尽管通过提高...

蒲明博 王长涛... 《物理学报》 2017年14期 期刊

关键词: 衍射极限 / 表面等离子体 / 超构材料 / 超构表面

下载(335)| 被引(19)

衍射型激光扩束器的保真度研究  CNKI文献

针对传统的二次非球面折射型激光扩束器存在不易加工、装调困难、体积大、重量大,特别是难以获得高填充比阵列透镜等不足,提出了一种利用衍射型台阶化面型近似二次非球面的激光扩束器方案,结果表明:对于典型的束腰半径...

龚海龙 刘志辉... 《中国激光》 2014年09期 期刊

关键词: 衍射 / 扩束器 / 二次非球面 / 扩束比

下载(150)| 被引(9)

电磁超构材料色散调控研究进展  CNKI文献

超构材料通常由亚波长的周期性谐振单元组成,具有自然材料所不具备的超常电磁特性,为操控电磁波提供了全新的技术途径。色散是材料的固有属性,调节亚波长结构的电磁共振可以实现奇异的色散特性,从而突破传统定律限制,...

郭迎辉 蒲明博... 《光电工程》 2017年01期 期刊

关键词: 超构材料 / 色散调控 / 局域相位调控 / 平面光学器件

下载(384)| 被引(18)

光纤传感技术在管道泄漏检测中的应用与进展  CNKI文献

快速发现并定位管道泄漏对管道运输的安全至关重要,开发永久的、分布式、实时在线的管道检测传感系统是管道安全检测的重要目标。光纤传感技术具有体积小、灵敏度高、耐酸碱腐蚀、抗电磁干扰能力强、不产生电火花等优...

庄须叶 王浚璞... 《光学技术》 2011年05期 期刊

关键词: 光纤 / 光纤传感技术 / 管道 / 泄漏检测

下载(1765)| 被引(73)

基于叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法  CNKI文献

随着光刻机分辨力节点的提高,纳米级的高精度检焦技术变得愈发重要。针对投影光刻的特点,介绍了一种基于叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法。此方法基于三角法测量原理,通过光弹调制器和横向剪切板的光学调制、平行平板...

冯金花 胡松... 《光学学报》 2015年02期 期刊

关键词: 测量 / 纳米检焦 / 相位解析 / 光弹调制

下载(103)| 被引(6)

广义折反射定律  CNKI文献

折射和反射是波动传播时的基本现象,光波、电磁波和声波等均可被材料界面折射和反射。近来研究发现,通过在界面上制备人为设计的亚波长结构阵列,可改变传统折射和反射行为,为成像、电磁/几何外形解耦、全息显示等技术...

赵泽宇 蒲明博... 《光电工程》 2017年02期 期刊

关键词: 表面等离子体 / 超构材料 / 超构表面 / 广义折反射定律

下载(407)| 被引(11)

基于复合光栅的大范围高精度对准方法  CNKI文献

提出一种基于复合光栅的对准方法,满足接近式光刻高精度、大范围对准需要。该复合光栅由周期具有微小差异的小周期光栅以及与之相正交的大周期小范围光栅组成。对准过程中,通过对叠栅条纹进行高精度相位解析,实现精对...

司新春 唐燕... 《光学学报》 2016年01期 期刊

关键词: 光栅 / 傅里叶光学 / 光刻对准 / 复合光栅

下载(142)| 被引(4)

亚波长多台阶结构大角度激光分束器设计  CNKI文献

分束角度是衍射型激光分束器件重要性能指标之一。目前对大角度衍射分束元件的研究局限于Dammann光栅,Dammann光栅依靠周期内相位突变点对入射光波进行调制,其分束均匀性对突变点精度非常敏感,现有加工技术无法满足设...

陈琪 李国俊... 《中国激光》 2016年02期 期刊

关键词: 光栅 / 亚波长 / 多台阶结构 / 大角度激光分束

下载(163)| 被引(5)

基于二维Ronchi光栅的纳米光刻对准技术研究  CNKI文献

提出了一种基于二维光栅叠栅效应的纳米光刻对准方法,用于接近式光刻实现二维同步对准。该方法采用两组周期接近的二维光栅重叠产生一组周期分布的叠栅条纹,条纹的周期相对于两光栅周期被大幅度放大,将光栅间的位移反...

司新春 佟军民... 《中国激光》 2015年09期 期刊

关键词: 傅里叶光学 / 二维光栅 / 光刻对准 / 叠栅条纹

下载(132)| 被引(2)

液晶空间光调制器用于波前校正的性能  CNKI文献

液晶空间光调制器(Liquid crystal spatial light modulator,LC-SLM)作为新型波前校正器具有驱动单元数目多、驱动电压低、控制灵活、价格低廉等优点。通过对LC-SLM时间-空间特性的研究,讨论其在天文观测自适应光学系...

蔡冬梅 姚军... 《光学学报》 2009年02期 期刊

关键词: 自适应光学 / 液晶空间光调制器 / 波前校正

下载(515)| 被引(36)

基于石墨烯结合亚波长金属结构的太赫兹宽带动态吸收器  CNKI文献

具有动态可调特性的太赫兹吸收器在太赫兹开关、传感器以及太赫兹探测等方面具有巨大的应用前景。然而,基于传统超材料的太赫兹吸收器通常不具备理想的动态可调特性。本文中,我们提出利用单层石墨烯结合十字形亚波长金...

顾钰 王民... 《光电工程》 2016年01期 期刊

关键词: 石墨烯 / 太赫兹 / 动态吸收

下载(457)| 被引(9)

大气湍流随机相位屏的数值模拟和验证  CNKI文献

本文使用傅立叶变换法对符合Kolmogorov谱的大气随机相位屏进行了数值模拟,采用三层随机相位屏叠加模拟大气湍流。通过比较模拟相位屏的相位结构函数和理论值的符合度对相位屏的统计特性进行了验证,利用长曝光传递函数...

王立瑾 李强... 《光电工程》 2007年03期 期刊

关键词: 大气湍流 / 随机相位屏 / 傅立叶变换法 / 大气相干长度

下载(1333)| 被引(69)

金属纳米结构的形状对其消光特性的影响研究  CNKI文献

推导了任意形状金属纳米结构的局域表面等离子体共振波长的解析解,分析了金属纳米结构的形状对其消光特性的影响。计算与分析结果表明,在空气中(折射率n=1.0),某种金属的纳米结构的消光光谱谐振波长仅与形状有关,形状...

马文英 杨欢... 《光学学报》 2010年09期 期刊

关键词: 材料 / 谐振波长 / 米氏理论 / 形状参数

下载(459)| 被引(15)

基于DMD的动态红外场景投影光学系统设计  CNKI文献

为了能够在实验室内实物模拟红外成像,降低光电系统的研发成本和提供可重复的实验环境,需要红外场景仿真器。动态红外投影技术是红外成像测试与评估的关键技术,与传统仿真器相比,采用数字微镜器件(DMD)的红外仿真器可...

贾辛 廖志杰... 《红外与激光工程》 2008年04期 期刊

关键词: DMD / 红外光学 / 场景模拟 / 光学设计

下载(566)| 被引(33)

超构天线:原理、器件与应用  CNKI文献

自从电磁波被发现和应用以来,利用各种材料或者结构调节电磁波的辐射行为、构造高性能的电磁辐射器件一直是研究人员的追求目标.经过百余年的发展,电磁辐射器件的方向性提高、带宽拓展等技术逐渐达到瓶颈.受自然材料电...

马晓亮 李雄... 《物理学报》 2017年14期 期刊

关键词: 亚波长结构 / 超构材料 / 超构天线 / 衍射调控

下载(260)| 被引(3)

基于白光干涉频域分析的高精度表面形貌测量  CNKI文献

提出了一种基于空间频域分析的白光干涉测量算法,该算法通过消除相位信息中的2π模糊来实现高精度的表面形貌测量。在频域分析中可以同时提取样品的相干形貌和相位形貌。相干形貌虽然不受2π模糊的影响,但是包含测量误...

邓钦元 唐燕... 《中国激光》 2018年06期 期刊

关键词: 测量 / 空间频域 / 白光干涉 / 2π模糊

下载(231)| 被引(7)

光纤消逝场传感器传感结构的分析与应用  CNKI文献

对光纤消逝场理论进行了详细分析,阐述了影响光纤消逝场传感器灵敏度的一些关键因素,并对几种常见的光纤消逝场传感光纤的优缺点进行了比较,主要包括圆柱形、D形、U形、锥形以及光子晶体光纤等结构的传感光纤。通过分...

罗吉 庄须叶... 《微纳电子技术》 2011年06期 期刊

关键词: 光纤 / 光纤传感器 / 消逝场 / 传感结构

下载(451)| 被引(14)

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