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太阳能电池生产线中新型等离子体刻蚀机刻蚀工艺探讨  CNKI文献

介绍了一种新型等离子体刻蚀机的使用条件,通过对各种参数变化的组合实验,得到了最佳工艺数据。利用该刻蚀机生产的电池片刻蚀效果好,刻蚀后经检测,电池片漏电流小,并联电阻大,提高了电池片的综合性能指标。

陈特超 马度·巴布... 《电子工业专用设备》 2011年06期 期刊

关键词: 等离子体 / 刻蚀 / 工艺 / 实验

下载(194)| 被引(1)

国有企业科技档案检索方法提升与大数据管理探究  CNKI文献

企业科技档案是国有企业的生命力,是反映国有企业在各项科研生产活动中的真实记录。它既是国有企业建设和发展的重要依据和必要条件,也是进行科研生产和工作的重要信息资源。本文提出了国有企业科技档案传统检索方法提...

谈清辉 《档案学研究》 2014年05期 期刊

关键词: 国有企业 / 科技档案 / 检索 / 大数据

下载(580)| 被引(12)

我国IGBT的产业现状和发展  CNKI文献

概述了IGBT产业及国内市场现状,根据国内IGBT产业存在的主要问题,提出来几点产业发展的看法。

武祥 《电子工业专用设备》 2012年12期 期刊

关键词: 功率器件 / 电力电子 / IGBT模块 / 产业现状

下载(511)| 被引(19)

宽禁带半导体关键设备技术及发展  CNKI文献

宽禁带半导体设备技术是宽禁带半导体器件的支撑和重要基础。简要介绍了宽禁带半导体器件发展面临的设备问题,重点介绍了碳化硅晶体生长炉、碳化硅外延生长炉、碳化硅离子注入机和氮化镓MOCVD四种制约我国宽禁带半导体...

颜秀文 武祥 《电子工业专用设备》 2013年05期 期刊

关键词: 宽禁带半导体 / 碳化硅 / 氮化镓 / 离子注入机

下载(691)| 被引(10)

PECVD制备氮化硅薄膜的研究  CNKI文献

采用PECVD法制备了氮化硅薄膜,探讨了沉积参数对氮化硅薄膜折射率的影响和衬底温度对氮化硅薄膜形貌和成分的影响规律。结果表明,不同的NH3流量可改变反应腔体内的氮硅比,对氮化硅的折射率,即减反射性能影响较大;衬底...

赵崇友 蔡先武 《半导体光电》 2011年02期 期刊

关键词: PECVD / 氮化硅薄膜 / 减反射性能

下载(1027)| 被引(14)

气液两相流气泡测量技术研究  CNKI文献

气液两相流监测是载人航天发展需解决的关键技术之一。液相中气泡大小及累计体积是气液两相流测量领域的主要计量参数。基于光学检测技术实现对气液两相流水中气泡大小及体积的测量,通过与高速摄像机与快关阀法测量对...

张建国 谢贵久... 《电子工业专用设备》 2015年08期 期刊

关键词: 气液两相流 / 气泡 / 光学检测 / 泡状流

下载(253)| 被引(7)

聚焦离子束工作原理及刻蚀性能研究  CNKI文献

综述了聚焦离子束系统的结构和基本原理,介绍了国产化聚焦离子束系统的结构与特点。基于国产化聚焦离子束系统进行了硅材料刻蚀实验,研究了硅材料刻蚀速率与离子束流大小的关系,建立了刻蚀速率与束流大小的关系方程,进...

颜秀文 贾京英 《电子工业专用设备》 2010年09期 期刊

关键词: 聚焦离子束 / 刻蚀速率 / 离子柱 / 微悬梁

下载(740)| 被引(14)

单晶硅PERC高效太阳电池量产工艺研究  CNKI文献

以Al_2O_3/Si_xN_y为钝化层,制备了PERC单晶硅太阳电池,研究Al_2O_3钝化层厚度对钝化效果的影响,分析硅片少子寿命变化、烧结曲线对PERC电池电性能参数的影响。

蔡先武 周子游... 《太阳能》 2017年09期 期刊

关键词: PERC / 太阳电池 / 少子寿命转换效率

下载(304)| 被引(3)

SOI压力传感器的灵敏度优化设计  CNKI文献

目前压阻式压力传感器灵敏度优化计算仅基于压阻条整体性几何分布,在相关参数的优化上存在局限性,且在模型及计算等方面有一定误差。本文提出一种专门用于SOI压力传感器,通过精确分析敏感栅的栅数、栅长以及其坐标分布...

吴迪 谢贵久... 《传感技术学报》 2012年08期 期刊

关键词: SOI压力传感器 / 灵敏度 / 优化设计 / 有限元

下载(192)| 被引(6)

基于红外技术的气液两相流空隙率测量技术研究  CNKI文献

气液两相流流型识别是气液两相流参数检测中需解决的关键技术之一。采用自主设计的气液两相流信号源发生装置,产生泡状流、弹状流及环状流等流型,满足气液两相流的标定需要。基于红外检测技术实现对气液两相流各种流型...

何峰 颜志红... 《载人航天》 2013年01期 期刊

关键词: 气液两相流 / 红外检测 / 流型识别 / 空隙率

下载(223)| 被引(7)

蓝宝石多线切割设备及切割技术  CNKI文献

介绍了蓝宝石多线切割机的发展技术背景,并就中国电子科技集团公司第四十八研究所基于金刚石线多线切割自主研发的X0730-3/UM型线切割机详细的介绍,性能特点,关键技术以及切割工艺实验分析,就金刚石线多线切割机理分析...

吕文利 王理正... 《电子工业专用设备》 2013年07期 期刊

关键词: 多线切割 / 金刚石线 / 恒张力控制 / 摇摆切割

下载(370)| 被引(7)

多晶硅太阳电池PECVD氮化硅钝化工艺的研究  CNKI文献

介绍等离子体化学气相淀积(PECVD)制备减反射钝化膜。将PECVD设备运用于太阳电池生产线上,发现通过PECVD设备可以对多晶硅太阳电池有很好的钝化效果。分析PECVD对多晶硅太阳电池钝化机理。

李军阳 陈特超... 《电子工业专用设备》 2008年10期 期刊

关键词: PECVD / 钝化 / 氮化硅 / 等离子体增强化学气相淀积

下载(786)| 被引(16)

大功率DC-DC变换器可靠性研究与设计  CNKI文献

利用IGBT器件作为DC-DC变换器的功率模块,设计了一套电压电流等级为330 V、30A的DC-DC变换器装置。为了提高其可靠性,采用由两台H桥变换器并联的双机热备份设计方案,并对变换器故障时的负载特性进行详细分析,从而提高...

周洪彪 王小浩... 《电子工业专用设备》 2019年02期 期刊

关键词: 直流-直流 / 变换器 / 稳定性

下载(120)| 被引(0)

纳米Ag-Cu-In-Sn合金粉末的制备及其热分析  CNKI文献

利用直流电弧等离子体法成功制备了分散性较好的纳米链状Ag-Cu-In-Sn合金粉末。用X射线衍射(XRD)、透射电镜(TEM)和差示扫描量热分析(DSC)等手段对粉末的结构、粒度和热性能进行了表征。研究结果表明:通过优化工艺可制...

颜秀文 丘泰... 《稀有金属材料与工程》 2008年02期 期刊

关键词: Ag-Cu-In-Sn / 热分析 / 直流电弧等离子体

下载(347)| 被引(15)

薄膜高温热流测量技术研究  CNKI文献

薄膜热流传感器具有响应时间快,体积小等优势,可用于航空、航天等领域高速飞行器表面短时间的高温热流瞬态测量。热流传感器原理基于不同热障层薄膜下薄膜热电偶温度变化量的大小,通过离子束溅射镀膜工艺成功制备快速...

肖友文 谢贵久... 《微处理机》 2012年05期 期刊

关键词: 薄膜 / 热流检测 / 离子束溅射 / 高温

下载(309)| 被引(10)

380kV/10mA直流高压电源的研制  CNKI文献

介绍了一种用于离子注入机的380kV直流高压电源的电路原理及实现方法。基于高压电源在电压变得越来越高时会由于电场分布不均匀等问题容易导致电源自身的放电打火等问题,提出了一种更为优化的高压倍压方案。

杨建生 何学飞... 《电源技术应用》 2007年08期 期刊

关键词: 高压 / 离子加速 / 对称倍压 / 均压环

下载(441)| 被引(15)

离子注入技术的发展及其应用  CNKI文献

简述了离子注入技术的发展趋势及典型应用,并简要分析了该领域的技术发展方向。

陈江红 陈阳... 《电子工业专用设备》 2004年05期 期刊

关键词: 离子注入 / 发展趋势 / 典型应用

下载(831)| 被引(15)

AlGaN/GaN HEMT材料的高温MOCVD生长研究  CNKI文献

高电子迁移率AlGaN/GaN HEMT结构材料的研制一直是GaN基射频微波器件的重要发展方向。采用自主研制的生产型高温MOCVD设备进行AlGaN/GaN HEMT结构材料的生长,通过高温MOCVD外延生长技术改善了AlGaN势垒层、AlN插入层的...

陈峰武 巩小亮... 《电子工业专用设备》 2018年04期 期刊

锂电池辊道窑的结构与经济效益分析  CNKI文献

分析了辊道窑的内高、内宽、窑长以及堆跺密度对辊道窑的产量及能耗的影响,提出辊道窑产量的提高应以稳定的热工性能为前提,以达到单位产品成本和能耗的最低值。

许鹏 苏文生... 《工业炉》 2016年04期 期刊

关键词: 锂电池辊道窑 / 结构 / 产量 / 能耗

下载(144)| 被引(4)

多晶硅锭定向凝固过程的数值模拟  CNKI文献

研究了多晶硅锭定向凝固过程中晶体和熔体中的温度分布、固液界面的温度场,并对定向凝固过程进行了数值模拟,对热场对多晶硅晶体生长的影响进行了系统的理论分析和试验验证。

陈国红 王滋渊... 《电子工业专用设备》 2009年06期 期刊

关键词: 多晶硅锭 / 定向凝固过程 / 热场 / 数值模拟

下载(528)| 被引(9)

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