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一种新型可重复利用荫罩掩膜技术  CNKI文献

利用化学气相沉积、光刻和反应离子刻蚀等微细加工技术,可以制作柔性、低成本、结实耐用、生物科技和半导体技术兼容、可重复使用的聚对二甲苯-C荫罩掩膜。利用这种透明的惰性材料掩膜,可以制作出传统平面微加工技术难...

李兴辉 Selvapraba Selvarasah... 真空电子与专用金属材料、陶瓷——金属封接专辑 2011-09-01 中国会议

关键词: 荫罩掩膜 / 聚对二甲苯 / 微细加工

下载(26)| 被引(0)

柔性高灵敏单壁碳纳米管气体传感器研究  CNKI文献

在柔性聚对二甲苯C基底上制作了基于单壁碳纳米管的小型化、高灵敏、反应快速的气体传感器。使用介质电泳集成碳管束,并利用单链脱氧核糖核酸修饰增强器件灵敏度。当传感器暴露在甲醇蒸气中时,会出现明显可重复的反应...

李兴辉 Selvarasah Selvapraba... 《传感器与微系统》 2011年07期 期刊

关键词: 碳纳米管 / 纳米传感器 / 气体传感器 / 柔性的

下载(347)| 被引(7)

一种新型可重复利用荫罩掩膜技术  CNKI文献

利用化学气相沉积、光刻和反应离子刻蚀等微细加工技术,可以制作柔性、低成本、结实耐用、生物科技和半导体技术兼容、可重复使用的聚对二甲苯-C荫罩掩膜。利用这种透明的惰性材料掩膜,可以制作出传统平面微加工技术难...

李兴辉 Selvapraba Selvarasah... 《真空电子技术》 2011年04期 期刊

关键词: 荫罩掩膜 / 聚对二甲苯 / 微细加工

下载(83)| 被引(1)

柔性聚合物基材上三维纳米间隙的制作及互连  CNKI文献

利用普通的紫外光刻、等离子体刻蚀、剥离和薄膜技术,在生物和半导体技术兼容的柔性聚对二甲苯-C基材上制作出了三维纳米间隙结构。室温下,使用介质电泳的方法对制作的纳米间隙进行材料集成实验。在间距80 nm的间隙电...

李兴辉 Selvapraba Selvarasah... 《微纳电子技术》 2011年10期 期刊

关键词: 柔性基材 / 纳米间隙 / 介质电泳 / 单壁碳纳米管

下载(91)| 被引(0)

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