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一种新型的激光——等离子体辅助化学气相沉积装置的研究  CNKI文献

为探索用激光和等离子体共同辅助化学气相沉积(CVD)过程以实现室温沉积的可能性,设计并制造了一种新型的CVD装置,实际进行了由SiH4-NH3-N2体系制取Si3N4膜的试验。结果表明,激光和等离子体...

陆宗仪 李文梅... 《材料科学与工艺》 1997年01期 期刊

关键词: 化学气相沉积 / 装置 / 激光 / 等离子体

下载(146)| 被引(9)

激光-等离子体辅助化学气相沉积工艺参数对氮化硅膜显微硬度...  CNKI文献

采用一种新的方法──激光-等离子体辅助气相沉积法(LPCVD),在自行研制的LPCVD装置上进行了SiH4-NH3-N2体系沉积Si3N4膜的工艺试验;采用正交试验法选择工艺多数,根据显微硬度评价膜层性能,并找出最佳工艺参数:...

陆宗仪 李文梅... 《机械工程材料》 1997年03期 期刊

关键词: 化学气相沉积 / 氮化硅陶瓷 / 表面工程

下载(67)| 被引(2)

当前快速成型技术研究和应用的热点问题  CNKI文献

RP技术是近年来发展相当迅速的一项综合应用技术。就RP制造工艺、RP材料、RP系统软件、RP集成技术以及RP技术的应用等一些热点问题进行了综述。

王隆太 陆宗仪 《机械设计与制造工程》 1999年03期 期刊

关键词: 快速成型 / 工艺 / 材料制备 / 快速制模

下载(184)| 被引(33)

高新技术产业化及风险投资运作模式研究  CNKI文献

以科技产业为基础的知识经济将成为21世纪世界经济的主导模式。科学技术与产业结合的程度对经济增长方式的转变具有决定性的作用。在开放的市场环境中,这种结合直接表现为高新技术成果向商品的转化。这一过程涉及开发...

刘剑虹 钱晓勤... 面向21世纪的科技进步与社会经济发展(上册) 1999-10-18 中国会议

关键词: 高新技术产业化 / 投资主体 / 资本 / 高技术产业化

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集装箱角件材料及其热处理  CNKI文献

为了寻求适应我国国情的制造标准集装箱角件的材料及合适的热处理工艺,进行了材料成分、熔炼工艺、热处理工艺等多方面的探索。并对添加各种不同微合金化元素的15Mn钢进行了金相组织、力学性能试验,并且对熔炼脱...

王昌龙 刘满平... 《金属热处理》 1998年01期 期刊

关键词: 集装箱 / 角配件 / 铸钢 / 低碳低合金钢

下载(92)| 被引(2)

直拉法晶体生长采样调节自动控径系统  CNKI文献

直拉法晶体生长的自动控径方法,国内外已有不少报导。熔体称量法是常用的一种。有关文献指出,晶体直径对单晶炉加热功率的响应,存在着不可忽略的死区纯滞后和较长的热时间常数,这在电阻加热单晶炉及大型单晶炉中尤为严...

周德卿 朱学林... 《激光与红外》 1983年01期 期刊

关键词: 副调节器 / 单晶炉 / 副回路 / 电炉

下载(20)| 被引(0)

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