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MOCVD反应器热流场的数值模拟研究  CNKI文献

本文以低压、旋转、垂直喷淋结构的MOCVD反应器为对象,应用二维数学模型分析与计算,对反应器内部的质量输运过程进行了比较详细的研究与讨论。通过计算发现:在一定范围内,增加进气流量Q、降低操作压力P、设定适宜的生...

钟树泉 任晓敏... 《人工晶体学报》 2008年06期 期刊

关键词: MOCVD / 反应器 / 输运过程 / 热对流

下载(300)| 被引(25)

MOCVD设备工艺优化理论与低温InP/Si晶片键合机理的研究  CNKI文献

本论文围绕任晓敏教授任首席科学家的国家973计划项目(No:2010CB327600,No:2003CB314900),以及课题组所承担的国家863重大基金项目(No:2006AA03Z416,No:2007AA03Z418)、国家自然科学基金资助项目(No:60576018)、...

钟树泉 导师:任晓敏 北京邮电大学 2010-09-17 博士论文

关键词: 低温晶片键合 / 机理 / InP/Si / MOCVD反应器

下载(429)| 被引(4)

MOCVD反应器中流场和热场的数值研究  CNKI文献

利用二维动力学模型,通过变化MOCVD(metal organic chemical vapor deposition)反应器的进气流量、操作压力、衬底温度、基座旋转等几个重要工艺控制参数,计算了反应器内部均匀的流场和热场分布的形态变化,描述了输运...

钟树泉 任晓敏... 《科学通报》 2009年21期 期刊

关键词: 晶体外延生长 / MOCVD反应器 / 输运过程 / 热流场

下载(192)| 被引(4)

对二甲苯氧化装置生产调优  CNKI文献

利用PSO法在对二甲苯(PX)氧化装置上进行生产调优。调优工作建立在充分的机理分析基础上,所建模型能较准确地描述工业装置运行状况,PSO法对该系统生产操作存在问题的分析判断较为准确,调优方案切实可行,经工厂实施,可...

钟树泉 王春久... 《北京化工学院学报(自然科学版)》 1990年04期 期刊

关键词: 二甲苯 / 氧化 / 操作 / 最佳化方法

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Coherent Preservation of Two-Qubit Quantum Entanglemen...  CNKI文献

The entanglement of two qubits is investigated in the range of their ultra-strongly coupling with a quantum oscillator. The two qubits are initially in four Bell states and they are under the control...

田贵花 钟树泉 《Communications in Theoretical Physics》 2014年11期 期刊

关键词: entanglement / strong / and / ultra-strong

下载(10)| 被引(0)

在超强耦合条件下对量子比特纠缠保持的研究  CNKI文献

研究了与处于相干态的量子谐振腔相耦合的,具有相互作用的两个量子比特的动力学问题。量子比特与量子谐振腔之间处于超强耦合并且它们之间的失谐量很大。利用绝热近似的方法,可以通过选择量子谐振腔相干态的平均粒子数...

田贵花 董锟... 《光学学报》 2016年04期 期刊

关键词: 量子光学 / 拉比模型 / 纠缠 / 绝热近似

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InP/Si低温晶片键合机理的研究  CNKI文献

将硼化物溶液用于InP/Si晶片键合的表面处理工艺,实现了两种材料之间简单、无毒性的低温(280℃)晶片键合。基于这种低温键合技术,从物理化学、热力学等理论出发,结合高分辨率透射电镜(HRTEM)、拉曼光谱(Raman)、X射线...

钟树泉 任晓敏... 中国光学学会2010年光学大会论文集 2010-08-23 中国会议

关键词: 集成光学 / 晶片键合 / InP/Si / 机理

下载(30)| 被引(0)

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