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大曲率球形基底表面膜厚均匀性的实现  CNKI文献

针对大曲率球形表面膜厚均匀性的难题,提出了一种新的解决方法。通过建立计算模型,对该方法进行了理论分析,给出了解决球形外表面膜厚均匀性的途径。设计制造了相关设备,针对Υ250 mm的大曲率球形表面,确定了靶材有效...

金扬利 邱阳... 《真空科学与技术学报》 2014年04期 期刊

关键词: 薄膜 / 磁控溅射 / 大曲率 / 膜厚均匀性

下载(107)| 被引(5)

基于计算机辅助的光学薄膜优化设计方法  CNKI文献

概述了光学薄膜优化设计的发展和光学薄膜优化设计的原理。详细介绍了当前光学薄膜优化设计中几种常用方法并分析了它们的优缺点,最后预测了光学优化设计方法以后的发展趋势。

金扬利 马勉军... 《真空》 2007年02期 期刊

关键词: 光学薄膜 / 优化设计 / 计算机辅助

下载(444)| 被引(9)

As_(40)Se_(60)硫系玻璃基底减反膜的研制  CNKI文献

针对As_(40)Se_(60)硫系玻璃特殊的性能特点,对所用的高性能红外减反射膜的设计和制备工艺进行了研究。介绍了减反膜的膜料选择、膜系设计以及膜层制备工艺优化的过程,给出了用该方法制备的8~12μm波段宽带减反射膜的...

金扬利 伏开虎... 《硅酸盐通报》 2017年S1期 期刊

关键词: 光学薄膜 / 硫系玻璃 / 减反膜 / 离子辅助蒸发

下载(67)| 被引(0)

小靶材实现大平面基片均匀性膜层沉积的方法  CNKI文献

常规的实验用磁控溅射设备,其固定的靶基工况,导致膜层均匀性区域有限,只能用于较小基片上膜层的沉积。提出一种新的方法,将靶材固定,基片自转或公自转工位变更为靶材可移动,基片自转的方式,并控制靶材的移动及基片自...

金扬利 邱阳... 《真空》 2014年03期 期刊

关键词: 薄膜 / 磁控溅射 / 小靶材 / 大平面基片

下载(78)| 被引(3)

低方阻、高透光度复合透明导电膜的研制  CNKI文献

针对低方阻、高透光度透明导电膜的要求,利用薄膜光学干涉原理,设计了ITO+SiO2复合型的透明导电膜;研究了基底温度、沉积速率、充氧量等工艺参数对ITO膜的影响;利用优化的工艺参数成功制备了复合透明导电膜。测试结果...

金扬利 邱阳... 《真空》 2012年05期 期刊

关键词: 透明导电膜 / 透光度 / 方阻 / 复合

下载(161)| 被引(1)

导纳轨迹图解方法在诱导透射滤光片设计中的应用  CNKI文献

诱导透射滤光片设计中,金属层厚度的选择是很重要的环节。应用导纳轨迹图解方法,可以确定能诱导出滤光片最大透射率的金属层厚度。与用势透射率概念设计方法相比,采用该方法确定的金属层厚度,可使所设计制作的诱导透射...

金扬利 马勉军 《光学仪器》 2007年01期 期刊

关键词: 诱导透射滤光片(ITF) / 导纳 / 匹配层 / 导纳轨迹

下载(140)| 被引(4)

用于LCD光学窗口的多功能膜层  CNKI文献

采用离子束辅助沉积方法进行膜层的制备;选用合适的色散模型,利用包络法和椭偏仪对制备薄膜的光学常数进行拟合;利用单纯形调优数值优化法对膜系进行优化.对制备的多功能膜层进行相关测试,结果表明:反射率平均低于0.8...

金扬利 邱阳... 《兰州理工大学学报》 2016年01期 期刊

关键词: ITO膜 / 离子辅助沉积 / 减反设计 / 拟合

下载(51)| 被引(0)

吸收膜层的光电极值法监控研究  CNKI文献

膜层厚度的精确控制是提高光学薄膜性能的关键技术。利用膜系的特征矩阵分析了吸收膜层消光系数对监控的影响,并给出了实例分析。给出了确定吸收膜层监控波长和监控次数的方法。最后通过镀制实验,表明考虑膜层消光系数...

金扬利 马勉军... 《真空与低温》 2007年03期 期刊

关键词: 光学薄膜 / 消光系数 / 光电极值法 / 监控

下载(123)| 被引(2)

CAB玻璃基底不同方法制备的SiO_2膜层性能研究  CNKI文献

采用IAD、IBS、MS等三种方法在CAB玻璃上制备了SiO2膜层,通过纳米压痕和划痕仪测量了膜层的纳米硬度和摩擦系数;利用傅里叶转换红外光谱仪对薄膜光谱性能进行了测量;利用SEM,观测膜层表面和断面形貌。结果表明:不同方...

金扬利 赵华... 《真空》 2011年01期 期刊

关键词: SiO2膜 / 纳米硬度 / 摩擦系数 / SEM

下载(74)| 被引(1)

退火和老化气氛对铝酸钙玻璃上SiO_2薄膜性能影响  CNKI文献

将用IAD法在CAB玻璃基体上沉积的SiO2薄膜在600℃条件下部分进行退火,然后在不同湿度气氛中进行老化处理。利用分光光度计、纳米硬度计和扫描电镜研究了退火处理及不同老化气氛对SiO2薄膜的光谱性能、硬度及摩擦性能的...

赵华 金扬利... 《硅酸盐通报》 2010年01期 期刊

关键词: 退火 / SiO薄膜 / 光学性能 / 力学性能

下载(128)| 被引(6)

温度自适应红外热成像系统用硫系玻璃表面镀膜的研究进展  CNKI文献

硫系玻璃具有透过谱段范围宽、折射率温度系数低等优点,是新一代温度自适应红外热成像光学系统的核心元件材料,应用前景十分广阔。为了满足不同服役环境的使用需求,须通过表面镀膜方式提升硫系玻璃的透过率和力学性能...

赵华 金扬利... 《材料导报》 2017年S2期 期刊

关键词: 硫系玻璃 / 镀膜技术 / 红外热成像 / 温度自适应

下载(75)| 被引(0)

沉积速率对离子辅助蒸发ITO光学性能的影响  CNKI文献

选用高纯度ITO颗粒(w(In2O3)∶w(SnO2)=9∶1)作为蒸发膜料、CAB(钙铝钡)红外玻璃为基片,利用离子辅助电子束蒸发技术在不同的沉积速率下制备了光学性能优良的ITO薄膜,并详细讨论了沉积速率对ITO薄膜可见光透过率、禁带...

邱阳 金扬利... 《武汉理工大学学报》 2012年03期 期刊

关键词: ITO薄膜 / 光学性能 / 紫外光谱 / 禁带宽度

下载(130)| 被引(5)

应用于ZnS、ZnSe和硫系玻璃表面的类金刚石膜研究进展  CNKI文献

类金刚石膜(Diamond-like Carbon film,DLC)硬度高,摩擦系数小,抗摩擦磨损和化学腐蚀能力强,同时在中远红外波段有良好的透过性能,用于红外窗口表面,可以起到良好的增透和物理防护效果。本文总结了近十年来应用于ZnS、...

伏开虎 金扬利... 《硅酸盐通报》 2017年S1期 期刊

关键词: DLC / 红外 / ZnS / ZnSe

下载(105)| 被引(1)

锐意进取、创新发展,特种玻璃助力强国梦  CNKI文献

日用器皿玻璃和平板玻璃是以Na_(2)O-CaO-SiO_(2)系统为基础的传统玻璃。近数十年,社会发展和科学技术进步对玻璃提出了更多特殊的要求,如具有更好的光学、热学、化学、力学和电学等方面的性能,以满足特别用途的需...

王佳佳 金扬利 中国建材报 2014-07-23 报纸

关键词: 特种玻璃 / 强国梦 / 创新团队 / 团队建设

下载(37)| 被引(0)

ITO薄膜的研究进展  CNKI文献

ITO是锡掺杂氧化铟薄膜的简称,属于透明导电氧化物材料。常规沉积方法制备的ITO薄膜通常为非晶态或体心立方晶系晶体,为n型半导体材料,其载流子为自由电子,主要来源于沉积过程中薄膜化学计量比偏离或阳离子掺杂形成的...

邱阳 陈玉峰... 《现代技术陶瓷》 2016年05期 期刊

关键词: ITO薄膜 / 物理性能

下载(1211)| 被引(11)

红外热成像系统用硫系玻璃的熔制技术  CNKI文献

硫系玻璃是一种理想的红外光学透过材料,在红外热成像技术领域具有显著的应用价值。红外热成像技术要求所用硫系玻璃材料具有高透过、高均匀、大尺寸等性能优势和批量化、低成本制备特点,玻璃的熔制技术是有效解决上述...

刘永华 祖成奎... 《红外与激光工程》 2015年05期 期刊

关键词: 硫系玻璃 / 熔制技术 / 热成像

下载(123)| 被引(6)

杂质消除方法对Ge_(28)Se_(60)Sb_(12)玻璃红外透过性能的影...  CNKI文献

研究了3种杂质消除的预处理方法对硫系玻璃Ge_(28)Se_(60)Sb_(12)红外透过性能的影响。结果发现,石英安瓿瓶经过高温脱羟处理,硫系玻璃中由外源羟基引起的6.3,7.9和12.8μm 3处的红外特征吸收降低;玻璃原料中引入除氧...

赵华 祖成奎... 《功能材料》 2015年24期 期刊

关键词: 石英安瓿瓶 / 高温脱羟 / 铝掺杂 / 整体加热

下载(88)| 被引(6)

钙铝酸盐红外玻璃的微晶化  CNKI文献

采用真空熔制方法制备出钙铝酸盐红外玻璃,通过热处理方法对玻璃进行微晶化获得钙铝酸盐微晶玻璃。研究了晶核剂ZrO_2对钙铝酸盐玻璃析晶机制的影响,以及不同微晶化条件下钙铝酸盐玻璃的析晶情况和红外透过性能。结果...

赵慧峰 祖成奎... 《硅酸盐学报》 2016年05期 期刊

关键词: 钙铝酸盐红外玻璃 / 红外透过 / 微晶玻璃 / 析晶

下载(161)| 被引(1)

电子束蒸发制备二氧化钛薄膜应力测量  CNKI文献

在圆形硅基底上采用电子束加热蒸发制备了二氧化钛薄膜。薄膜应力测试结果表明,二氧化钛薄膜的内应力分布是不均匀的;二氧化钛薄膜的内应力集中主要出现在薄膜的边缘区域,有正应力的集中也有负应力的集中。原子力显微...

陈焘 罗崇泰... 《真空科学与技术学报》 2007年02期 期刊

关键词: 二氧化钛薄膜 / 电子束蒸发 / 内应力 / 热应力

下载(596)| 被引(14)

增材制造硫系玻璃光学元件的前景分析与探讨  CNKI文献

硫系玻璃作为红外光学系统的基础材料,在夜视枪瞄、车载夜视、星际生命探测等高端红外光学领域应用前景十分广阔。硫系玻璃的优点是折射率温度系数低,可避免光学系统的热失焦,实现系统色差自校正,并保证成像质量;缺点...

赵华 祖成奎... 《材料导报》 2017年S1期 期刊

关键词: 硫系玻璃 / 增材制造 / 光学元件 / 复杂面形

下载(130)| 被引(2)

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