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基于ZnO压电薄膜的弯曲振动硅微压电超声换能器的研究  CNKI文献

对所研制的硅微压电超声换能器(PMUT)的振动特性进行了研究分析。对硅微压电超声换能的振动膜薄板的厚度相对于薄板的尺度(边长)而言较薄的情况,理论分析与实验结果均表明残余应力对换能器的谐振频率影响较大:不考虑残...

郝震宏 汪承灏... 《声学学报(中文版)》 2010年01期 期刊

关键词: 换能器 / 边长 / 传感器 / 测深仪

下载(454)| 被引(10)

硅微压电超声换能器的设计与制作  CNKI文献

介绍了一种用ZnO薄膜作为压电层的硅微压电式超声换能器(PMUT).该硅微压电换能器的振动基膜采用LPCVD制作的氮化硅薄膜和PECVD制作的二氧化硅形成的复合振动膜结构.文中运用有限元方法对该硅微压电换能器的结构进行了...

郝震宏 汤亮... 《传感技术学报》 2006年05期 期刊

关键词: 声成像 / 硅微压电超声换能器 / ZnO压电薄膜 / 复合振动膜

下载(436)| 被引(12)

薄膜体声波谐振器的梯形射频滤波器设计  CNKI文献

从Mason等效电路模型出发,研究了基于薄膜体声波谐振器的梯形结构射频滤波器的设计。以往的研究中都没有考虑到介质的声损耗,这样得到的滤波器频响中就未计入插入损耗的影响。采用射频网络方法对薄膜体声波谐振器建模...

汤亮 郝震宏... 《声学技术》 2008年02期 期刊

关键词: 滤波器 / 双工器 / 振荡器 / 射频微机电系统

下载(368)| 被引(22)

薄膜体声波谐振器(FBAR)谐振特性的模拟分析  CNKI文献

主要利用Mason等效电路模型对加入介质声损耗的薄膜体声波谐振器输入阻抗公式进行了推导,并利用该结果对薄膜体声波谐振器的谐振特性进行了模拟分析,分别就不同压电层材料和厚度以及不同电极材料和厚度对薄膜体声波谐...

汤亮 郝震宏... 《传感技术学报》 2006年05期 期刊

关键词: 薄膜体声波谐振器(FBAR) / Mason等效电路模型 / 微波振荡器 / 双工器

下载(455)| 被引(19)

2.4GHz射频薄膜体声波谐振器的研制  CNKI文献

提出了基于ZnO压电薄膜多层结构的2.4GHz射频薄膜体声波谐振器,并进行了研究。采用修正后的Mason等效电路模型对器件的谐振特性进行了分析和模拟。给出了采用MEMS工艺制备器件的工艺流程,并利用射频网络分析仪对实验器...

汤亮 郝震宏... 《功能材料与器件学报》 2009年01期 期刊

关键词: 薄膜体声波谐振器 / 振荡器 / 滤波器 / 双工器

下载(301)| 被引(11)

ZnO薄膜体声波谐振器性能分析和研制  CNKI文献

采用射频网络法分析了ZnO薄膜体声波谐振器的谐振特性,并考虑了介质声损耗对品质因数Q值的影响。采用硅体刻蚀工艺在硅基片上制备了以ZnO薄膜为压电膜的薄膜体声波谐振器,并对器件的性能进行了测试。将实验与理论分析...

汤亮 郝震宏... 《压电与声光》 2008年04期 期刊

关键词: 滤波器 / 双工器 / 振荡器 / 射频微机电系统

下载(187)| 被引(8)

氧化锌薄膜体声波谐振器的研制  CNKI文献

介绍了一种薄膜体声波谐振器和它的制备流程。该谐振器采用氧化锌压电薄膜作为压电材料,通过从硅片背部体刻蚀硅衬底的方法得到谐振器的支持层。为了避免残余应力引起的支持层起皱现象,采用氮化硅/二氧化硅/氮化硅复合...

汤亮 郝震宏... 《微细加工技术》 2008年02期 期刊

关键词: 薄膜体声波谐振器 / 振荡器 / 滤波器 / 双工器

下载(198)| 被引(4)

圆形振动膜硅微电容传声器  CNKI文献

硅微传声器是一种用MEMS技术制造的、将声信号转换为电信号的声学传感器.该传声器只需五次光刻工艺即可制作完成,其灵敏度在偏置电压为9V时可达15mV/Pa左右,在100Hz~18kHz的范围内的频率响应也较平坦.

田静 汪承灏... 《传感技术学报》 2006年05期 期刊

关键词: 声学微电子机械系统 / 硅微电容传声器 / 圆型振动膜

下载(291)| 被引(20)

支持层结构对薄膜体声波谐振器谐振特性的影响  CNKI文献

首先推导出了加入材料介质声损耗的一维Mason模型,并利用该模型分析了支持层结构对FBAR器件谐振特性的影响,包括不同支持层材料及厚度对FBAR器件性能的影响。相对于二氧化硅薄膜而言,氮化硅薄膜更适合于作为FBAR器件的...

汤亮 郝震宏... 2009’中国西部地区声学学术交流会论文集 2009-07-01 中国会议

关键词: 射频微机电系统 / 薄膜体声波谐振器 / 支持层 / 高Q值

下载(58)| 被引(2)

射频磁控溅射法制备ZnO压电薄膜及其性能分析  CNKI文献

采用射频磁控溅射法制备了ZnO压电薄膜,并在双面抛光的熔融石英基片上制备了高次谐波体声波谐振器进行性能验证。X射线衍射结果显示ZnO压电薄膜C轴择优取向明显,衍射峰半高宽为0.18°,显示出较好的结晶质量。高次...

汤亮 郝震宏... 2010’中国西部声学学术交流会论文集 2010-08-01 中国会议

关键词: ZnO压电薄膜 / 射频磁控溅射 / X射线衍射 / 体声波谐振器

下载(133)| 被引(0)

MEMS压电水听器的研究  CNKI文献

MEMS 水听器由于其体积小、重量轻、可集成化的特点,可应用于水下分布式传感网和声纳基阵。本文将报道用 MENS 技术制备的硅微压电水听器,它是由压电薄膜和非压电弹性膜所构成交合层状形成弯曲振动换能器,压电薄膜采用...

马军 郝震宏... 2007’促进西部发展声学学术交流会论文集 2007-09-01 中国会议

关键词: 水听器 / MEMS / 压电薄膜

下载(221)| 被引(1)

基于圆形振动膜的硅微压电超声换能器的设计  CNKI文献

本文介绍了一种基于圆形振动膜结构的硅微压电超声换能器的设计与制造.该传感器的振动膜直径为 500μm,氮化硅薄膜厚度约为1μm,ZnO 压电薄膜厚度为0.7μm,传感器的中心频率设计为100 KHz.本文运用有限元方法分别模拟...

郝震宏 汤亮... 2006’和谐开发中国西部声学学术交流会论文集 2006-08-01 中国会议

关键词: 圆形振动膜 / 硅微超声换能器 / ZnO / 压电薄膜

下载(76)| 被引(0)

40kHz硅微压电超声接收换能器的研制  CNKI文献

本文介绍了一种MEMS压电式超声换能器(PMUT)的制作方法,该换能器可以用于空气中的超声测距、超声定位等领域。MEMS压电超声换能器的振动膜支撑层为氮化硅薄膜,ZnO薄膜为压电层。运用有限元方法计算了MEMS压电超声换能...

王孟娇 郝震宏... 第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会论文集 2008-12-05 中国会议

关键词: 硅微压电超声换能器 / ZnO压电薄膜 / 匹配电路

下载(81)| 被引(0)

薄膜体声波谐振器建模与仿真  CNKI文献

本文对薄膜体声波谐振器进行了建模,尤其是在模型中考虑了材料的声损耗和压电膜介电损耗,从制备的高次谐波体声波谐振器电学测试结果中提取出尺寸为5×10~(-8)m~2×2μm的氧化辞压电薄膜介电损耗电阻在87OMHz...

汤亮 汪承灏... 2007’促进西部发展声学学术交流会论文集 2007-09-01 中国会议

基于薄膜体声波谐振器的低相噪射频振荡器设计  CNKI文献

在硅基上制备了谐振频率约为2.4GHz 的薄膜体声波谐振器,谊谐振器在串联谐振频率处的 Q 值为 500.3,在并联谐振频率处的 Q 值为425.5。基于该 FBAR 器件,设计了一种低相噪射频振荡器,该振荡器的振荡频率为2.374GHz,输...

汤亮 郝震宏... 2008’促进中西部发展声学学术交流会论文集 2008-07-01 中国会议

关键词: 薄膜体声波谐振器 / 振荡器 / 低相噪 / 射频

下载(70)| 被引(0)

高次谐波体声波谐振器(HBAR)的模拟与制作  CNKI文献

许多电子系统需要低相位噪声的振荡器和滤波电路,而传统的晶体谐振器、声表面波谐振嚣以及微波谐振器往往要么达不到足够高的频率,要么在高频时 Q 值较低,从而达不到所需的要求.高次谐波体声波谐振器(High overtone b...

汤亮 郝震宏... 2006’和谐开发中国西部声学学术交流会论文集 2006-08-01 中国会议

关键词: 高次谐波体声波谐振器(HBAR) / 微波振荡器 / RF / 滤波器

下载(37)| 被引(1)

用于微机器人定位的硅微超声换能器阵列的研制  CNKI文献

本文介绍一种四阵元硅微超声挟能器阵列的制作方法,并提出基于该阵列的三维声学定位算法,可以应用于微机器人的定位以及对周围环境的识别与探测.该硅微超声换能器阵列采用氮化硅薄膜作为振动膜,采用 ZnO 薄膜作为压电...

郝震宏 汤亮... 2007’促进西部发展声学学术交流会论文集 2007-09-01 中国会议

关键词: 超声换能器阵列 / 微机器人 / 阵元 / 氮化硅薄膜

下载(38)| 被引(0)

硅微压电超声换能器宽带匹配网络的设计  CNKI文献

本文对中心频率为71KHz 的硅微压电超声换能器进行了2-5阶宽带匹配。该匹配网络采用电感电容元件,具有 Butterworth 滤波器响应,使换能器的输出带宽相比其固有电学带宽扩展了3-5倍,功率增益达到 0.7-0.8。

王孟姣 乔东海... 2008’促进中西部发展声学学术交流会论文集 2008-07-01 中国会议

关键词: 硅微压电超声换能器 / 宽带匹配 / 电感电容网络 / Butterworth

下载(30)| 被引(0)

基于相位载波调制/解调的硅微光纤传声器动态范围研究  CNKI文献

本文概述了直接调制光源产生相位载波的 Fizeau 干涉型硅微光纤传声器系统的方案。重点对谊传声器系统的信号动态范围进行了理论和实验分析。理论计算分析了 PGC 调制、解调中低通滤波器的特性和载波频率ω_0。对信号...

邓越 郝震宏... 2008’促进中西部发展声学学术交流会论文集 2008-07-01 中国会议

关键词: 低通滤波器 / 载波频率 / 光相位噪声 / 前置放大电路

下载(32)| 被引(0)

硅微压电超声换能器阵列设计  CNKI文献

1.引言超声成像是目前超声学中最活跃分支。现在常用的超声B扫描成像(俗称B超)已成为医学上一个很重要的诊断方法。B超是用一维阵列实现二维成像。而目前超声成像与其它成像方法一样,正在向三维立体成像方向发展,超声...

郝震宏 邓方青... 中国声学学会2006年全国声学学术会议论文集 2006-10-01 中国会议

关键词: 超声换能器阵列 / 一维 / 压电层 / 阵列设计

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