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ZnO:Al透明导电膜的制备及其性能的研究  CNKI文献

利用脉冲激光法制备了 Zn O:Al透明导电膜。通过对膜进行霍尔系数测量及SEM、XRD测试分析 ,详细研究了靶材中的化学配比 (掺杂比 )对膜的透光率和电阻率的影响。结果表明 :掺杂比、氧分压强影响着膜的电学、光学性能和...

葛水兵 程珊华... 《材料科学与工程》 2000年03期 期刊

关键词: 脉冲激光沉积 / ZnO膜 / 掺杂比 / 氧分压强

下载(268)| 被引(43)

硅基多晶钛酸锶钡铁电多层膜的结构与介电增强效应  CNKI文献

钛酸锶钡铁电薄膜因具有良好的铁电、介电、压电和热释电等性能而受到重视,这些性质使它们可应用于与硅电路集成的动态随机存储器。本论文的工作主要研究了利用脉冲激光法,在硅基片上沉积多晶的钛酸锶钡铁电多层膜,...

葛水兵 导师:宁兆元 苏州大学 2004-04-01 博士论文

关键词: 介电增强效应 / 铁电多层膜 / 钦酸惚钡薄膜 / 脉冲激光沉积

下载(684)| 被引(3)

氧分压强和基片温度对脉冲激光沉积的ZnO∶Al膜性能的影响  CNKI文献

利用脉冲激光法制备了ZnO∶Al透明导电膜。通过对膜进行霍尔系数测量及SEM、XRD测试分析 ,详细研究了沉积时的基片温度、氧分压强对膜的透光率和电阻率的影响。结果表明 :基片温度、氧分压强影响着膜的电学、光学性能...

葛水兵 程珊华... 《功能材料》 2000年S1期 期刊

关键词: 脉冲激光沉积 / ZnO膜 / 基片温度 / 氧分压强

下载(138)| 被引(35)

掺杂比对脉冲激光沉积的ZnO:Al膜性能的影响  CNKI文献

用脉冲激光法制备了ZnO :Al透明导电膜。通过对膜的霍尔系数测量及SEM、XRD分析 ,详细研究了靶材中的化学配比 (掺杂比 )对膜的透光率和电阻率的影响。结果表明 :掺杂比影响着膜的电学、光学性能和膜的结晶状况。掺杂...

葛水兵 程珊华... 《功能材料与器件学报》 2000年01期 期刊

关键词: 脉冲激光沉积 / ZnO膜 / 掺杂比

下载(78)| 被引(8)

掺杂比和氧分压对脉冲激光沉积ZnO:Al膜性能影响的研究  CNKI文献

利用脉冲激光法制备了ZnO :Al透明导电膜 .通过对膜进行霍尔系数测量及SEM、XRD测试分析 ,详细研究了靶材中的化学配比 (掺杂比 )对膜的透射比和电阻率的影响 .结果表明 :掺杂比、氧分压强影响着膜的电学、光学性能和...

葛水兵 程珊华... 《材料科学与工艺》 2000年02期 期刊

关键词: 脉冲激光沉积 / ZnO膜 / 掺杂比 / 氧分压

下载(72)| 被引(8)

对电子束蒸发沉积的ZnO:Al膜电学性能的研究  CNKI文献

使用电子束蒸发法沉积了铝掺杂的氧化锌透明导电膜。通过对膜进行霍尔系数测量及XRD、SEM测试分析,详细研究了沉积时的基片温度对膜的电学性能的影响。结果表明:基片温度影响膜的载流子浓度、迁移率以及膜的结晶程度,...

葛水兵 程珊华... 《苏州大学学报(自然科学)》 1998年01期 期刊

关键词: 电子束蒸发沉积 / ZnO∶A1膜 / 基片温度 / 电学性能

下载(103)| 被引(3)

化学计量对Ba_(1-x)Sr_xTiO_3薄膜介电性能的影响  CNKI文献

采用脉冲激光沉积法,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Ba1-xSrxTiO3薄膜,通过改变Sr化学计量,研究了其介电性质.实验结果发现:随着Sr化学计量的增加,薄膜的介电系数明显增大,而损耗仍然保持在较低的水平.研究表明:薄膜介电...

葛水兵 《苏州大学学报(自然科学版)》 2005年04期 期刊

关键词: Ba1-xSrxTiO3薄膜 / 介电性质 / 脉冲激光沉积

下载(44)| 被引(2)

掺杂量对ZnO:Al膜电学性能的影响  CNKI文献

使用电子束蒸发法沉积了铝掺杂的氧化锌透明导电膜.通过霍尔系数测量及XRD、SEM测试分析,研究了掺铝量对膜的电学性能的影响,结果表明;掺杂量影响膜的载流子浓度、迁移率及结晶状况,当Al_2O_3与 Zn...

葛水兵 王华 《苏州大学学报(自然科学)》 1999年01期 期刊

关键词: 电子束蒸发沉积 / ZnO / Al膜 / 掺杂量

下载(123)| 被引(1)

BaTiO_3/SrTiO_3多层膜的制备及其介电性质  CNKI文献

采用脉冲激光沉积法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了BaTiO3/SrTiO3(BTO/STO)多层膜。XRD结果表明:多层膜呈现出明显的(110)择优取向,与Ba0.5Sr0.5TiO3单层膜相比,多层膜的相对介电常数得到了明显的增强,而介电损耗仍然保...

葛水兵 宁兆元 《功能材料》 2004年06期 期刊

关键词: 多层膜 / 介电性质 / 脉冲激光沉积

下载(107)| 被引(0)

锡掺杂的氧化铟透明导电膜的霍尔系数测量  CNKI文献

采用直流辉光等离子体辅助反应蒸发法在玻璃基片上沉积了锡掺杂的氧化铟锡(ITO)透明导电膜,在沉积过程中保持了辉光放电电流、氧分压、氧流量、蒸发速率等工艺参数不变,而基片温度由室温变化到达300℃。用四探针法测量...

葛水兵 蒋紫松... 《苏州大学学报(自然科学)》 1997年03期 期刊

关键词: 等离子体辅助蒸发沉积 / 基片温度 / 载流子浓度 / 霍尔迁移率

下载(150)| 被引(0)

蒸发舟温度与加热电流关系的研究  CNKI文献

本文通过实验研究了蒸发舟温度与加热电流的关系,并对结果作了分析。

葛水兵 程珊华... 《苏州大学学报(自然科学)》 1996年03期 期刊

关键词: 蒸发舟温度 / 加热电流

下载(120)| 被引(0)

镧系掺杂NaYF_4纳米颗粒的合成及其上转换发光性能  CNKI文献

采用简易的水热法,成功制备了Yb3+/Er3+/Gd3+共掺的NaYF4纳米颗粒.通过调节Gd3+的掺杂浓度,在较低反应温度和较短反应时间下,实现了纳米颗粒从立方相向六方相的转变,研究了Gd3+浓度对纳米颗粒的结构和发光性能的影响.

刘芳敏 葛水兵 《苏州大学学报(自然科学版)》 2012年03期 期刊

关键词: 稀土离子 / 上转换发光 / 六方相 / NaYF4

下载(153)| 被引(2)

Pb_(1-x)La_xTiO_3薄膜的制备及介电性质的研究  CNKI文献

在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上用溶胶-凝胶法制备了Pb1-xLaxTiO3薄膜,对膜进行XRD、SEM、介电、铁电性能测试,研究了退火温度、掺La量对薄膜性能的影响,结果发现在600℃下退火1h的PLT薄膜呈现钙钛矿结构,具有(100)面择优...

朱卫东 葛水兵... 《功能材料与器件学报》 2001年04期 期刊

关键词: 溶胶-凝胶 / PLT薄膜

下载(49)| 被引(7)

高K栅介质材料的研究现状与前景  CNKI文献

论述了45~32nm技术节点下高K材料取代SiO2的必要性和基本要求,综述了高K栅介质中极具代表性的Hf基材料。研究表明,向HfO2中分别掺杂Al、Si、Ta、N等形成的复合Hf基高K栅介质材料具备较HfO2更加优异的物理结构、晶化温...

余涛 吴雪梅... 《材料导报》 2010年21期 期刊

关键词: 高K栅介质 / HfO_2 / Hf基高K栅介质材料 / MOSFET器件

下载(737)| 被引(11)

绒面掺铝氧化锌透明导电薄膜研究进展  CNKI文献

绒面掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜由于电阻率低、在可见光区域透过率高、绒面结构能有效散射入射光,提高太阳电池光电转换效率,被广泛应用于太阳电池前电极。概述了绒面AZO薄膜的制备方法,重点介绍了磁控溅射技术沉积...

何晶晶 吴雪梅... 《微纳电子技术》 2010年05期 期刊

关键词: 绒面掺铝氧化锌 / 透明导电薄膜 / 磁控溅射 / 湿法刻蚀

下载(379)| 被引(7)

基片温度对电子束蒸发沉积的ZnO:Al膜性能的影响  CNKI文献

使用电子束蒸发法沉积了铝掺杂的氧化锌透明导电膜。通过对膜进行霍尔系数测量及XRD测试分析,详细研究了沉积时的基片温度对膜的透光率和电阻率的影响。结果表明,基片温度影响膜的载流子浓度、迁移率以及膜的结晶程度...

葛水兵 程珊华... 第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集 1998-10-13 中国会议

关键词: 电子束蒸发沉积 / ZnO / Al膜 / 基片温度

下载(32)| 被引(1)

溶胶-凝胶法制备BaTiO_3/SrTiO_3多层膜的介电增强效应  CNKI文献

采用溶胶 凝胶法 ,在Pt Ti SiO2 Si衬底上逐层制备了BaTiO3 SrTiO3 多层膜 .从多层膜的XRD图可看出明显的双峰 ,分别对应为BaTiO3 和SrTiO3 的特征峰 ,表明样品已形成了多层膜结构 .与同厚度的Ba0 5Sr0 5TiO3 单...

徐润 沈明荣... 《物理学报》 2002年05期 期刊

关键词: 溶胶-凝胶法 / 多层膜 / 介电增强

下载(174)| 被引(5)

低频功率对60MHz/20MHz双频C2F6/Ar/O2等离子体化学特性及S...  CNKI文献

本文主要研究了双频容性耦合C_2F_6/Ar/O_2等离子体中低频功率对等离了体化学以及其对SiCOH低k薄膜的刻蚀特性的影响。研究发现,对于C_2F_6等离予体,低频功率的增长会促进C_2F_6的分解,这是由于低频功率的上升增加了离...

袁颖 叶超... 第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集 2011-08-08 中国会议

关键词: 低频功率 / 等离子体 / SiCOH / C2F6/Ar/O2

下载(23)| 被引(0)

低温氧等离子体对有机薄膜改性的研究  CNKI文献

在氧等离子体中对聚乙烯醇、海藻酸钠、聚乙烯和聚对苯二甲酸乙二醇脂等有机薄膜进行表面处理。研究了处理时间、放电电流和气压对膜的亲水性的影响。结果表明,经氧等离子体处理后,薄膜表面的含氧极性基团增加了,亲...

程珊华 宁兆元... 《高分子材料科学与工程》 1998年06期 期刊

关键词: 有机高分子膜 / 等离子体表面改性

下载(157)| 被引(5)

低温氧等离子体改性海藻酸钠膜分离乙醇-水溶液  CNKI文献

研究了氧等离子体对海藻酸钠膜的表面改性,并将该膜用于渗透汽化分离乙醇水溶液。通过红外光谱、表面电阻、接触角等手段测试,表明在海藻酸钠膜表面增加了羟基、羧基及羰基,因而更加亲水。当分别用未处理的原始膜...

张可达 张雪梅... 《功能高分子学报》 1997年02期 期刊

关键词: 低温氧等离子体 / 海藻酸钠 / 渗透汽化

下载(118)| 被引(6)

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