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步进扫描光刻机同步控制及硅片变形误差补偿技术研究  CNKI文献

在建立光刻机工作台、掩膜台的运动控制模型基础上 ,提出工作台二级进给控制策略及工作台、掩膜台同步控制策略 ,并且通过自适应同步控制和逐场对准方式下分段误差校正技术对硅片变形进行补偿。实验证实 ,当硅片非线性...

胡旭晓 台宪青... 《中国机械工程》 2004年03期 期刊

关键词: 同步控制 / 误差补偿 / 硅片变形 / 光刻机

下载(296)| 被引(27)

机床进给系统摩擦特性分析及改善措施研究  CNKI文献

在建立机床进给系统动力学模型的基础上,分析了不同的摩擦特性下引起系统振荡的主要原因,为了解决超精密进给中的振荡问题,提出二级进给策略提高系统的综合刚度和采用导轨软带改善摩擦因素与速度的关系。最后通过试验...

胡旭晓 《机械工程学报》 2005年08期 期刊

关键词: 机床 / 摩擦特性 / 振荡 / 改善措施

下载(263)| 被引(15)

惩罚函数的构造及多模态平稳过渡策略  CNKI文献

为了使智能控制中多模态之间能够实现平稳过渡,结合一种多模态的划分方法,构造一类新的惩罚函数,并提出一种基于惩罚函数的多模态平稳过渡策略。通常,不同的控制策略针对不同的模态,而基于惩罚函数的多模态平稳过渡策...

胡旭晓 潘晓弘... 《机械工程学报》 2008年04期 期刊

关键词: 惩罚函数 / 构造 / 智能控制 / 平稳过渡

下载(315)| 被引(7)

一类多阶指数函数的逐级递推式拟合算法  CNKI文献

针对一类时间常数相差较大的多阶指数函数,提出一种逐级递推式拟合算法.根据不同时间常数的指数函数具有不同平衡时间的特点,首先选取最后一段,采用一阶指数函数的拟合算法进行拟合,从而确定最后一项指数函数的幅值和...

胡旭晓 潘晓弘... 《浙江大学学报(工学版)》 2010年12期 期刊

关键词: 逐级递推 / 拟合算法 / 多阶指数函数

下载(251)| 被引(2)

火箭发动机推力矢量测试系统的研制  CNKI文献

火箭推进技术广泛应用于空间科学实验与国防建设中,发动机推力的精确控制对控制飞行器运行姿态、提高目标命中精度等具有重要意义。火箭发动机推力矢量是一个空间力矢量,其大小和方向是不断变化的。发动机实际推力偏斜...

胡旭晓 导师:孙宝元 大连理工大学 2005-12-01 硕士论文

关键词: 火箭发动机推力 / 推力偏心 / 静态标定 / 测试系统

下载(467)| 被引(1)

多模态控制策略的平稳过渡及其应用研究  CNKI文献

以具有大进给力的纳米级驱动部件为被控对象,在分析不同模态过渡过程的基础上,指出极点差异是导致多模态难以实现平稳切换的关键因素之一。采用状态反馈矩阵和增益补偿环节来改造被控对象,采用零极点相消方法建立广义...

胡旭晓 《中国机械工程》 2005年16期 期刊

关键词: 增益补偿 / 多模态切换 / 纳米控制精度 / 平稳过渡

下载(148)| 被引(8)

逐级递推式超精密温度控制策略研究  CNKI文献

在充分考虑周围环境影响被控对象的基础上,建立具有纯时滞的温度控制数学模型,并提出逐级递推式超精密温度控制策略。当环境温度变化6℃时,采用提出的控制策略进行试验及仿真研究,被控对象试验及仿真的控制精度分别达...

胡旭晓 杨克己... 《机械工程学报》 2004年02期 期刊

关键词: 精密温度 / 逐级递推 / 控制策略

下载(154)| 被引(8)

发动机推力矢量测试系统的设计  CNKI文献

介绍了关于发动机推力矢量的测试系统,阐述了利用传感器进行发动机推力矢量的测试。利用设计的压电式测力平台和其相应的测试软件以及测试系统,用反求法求得空间力矢量大小、推力矢量的推力偏移量、推力偏斜角。通过试...

胡旭晓 孙宝元... 《传感器技术》 2005年11期 期刊

关键词: 发动机 / 推力矢量 / 测力平台 / 测试系统

下载(228)| 被引(5)

数控机床智能控制系统鲁棒性策略研究  CNKI文献

在分析不可预测扰动和可预测扰动对智能控制系统鲁棒性影响的基础上,提出了提高智能控制系统鲁棒性的相应策略,并用遗传算法对控制参数进行优化。在数控机床液压油温智能控制系统和数控机床加工误差补偿系统中获得了...

胡旭晓 杨克已... 《机械工程学报》 2002年01期 期刊

关键词: 智能控制 / 鲁棒性 / 参数优化 / 神经网络

下载(266)| 被引(5)

热驱动部件温度数学模型建立方法研究  CNKI文献

通过对热驱动部件的理论分析,确定参数待定的热驱动部件温度数学模型。依据试验采集的大量数据,采用分段逐级拟合的方法,用此数学模型的输出曲线逼近试验数据得到的曲线,从而将模型中待定参数确定下来,获得热驱动部件...

胡旭晓 雷进波 《计量学报》 2006年02期 期刊

关键词: 计量学 / 热驱动部件 / 分段逐级拟合 / 最优控制

下载(121)| 被引(4)

具有大进给力的纳米级热驱动部件研究  CNKI文献

为了实现具有进给力的纳米级进给,根据国内外纳米级驱动部件的研究现状及发展趋势,结合国家“863”高科技计划资助项目“具有大进给力的纳米级驱动部件关键技术的研究”,本文首次提出一种在准静态条件下使用的具有...

胡旭晓 导师:潘晓弘 浙江大学 2007-04-01 博士论文

关键词: 超精密加工 / 驱动部件 / 数学模型 / 平稳过渡

下载(169)| 被引(0)

改进型双环控制策略及其应用研究  CNKI文献

为了解决系统鲁棒性和控制精度之间的矛盾,在分析纳米级驱动部件物理特性和双环控制特性的基础上,建立具有大进给力的纳米级驱动部件数学模型,并提出基于主控制环和从控制环控制强度可优化的改进型双环控制策略.最后,...

胡旭晓 《系统工程理论与实践》 2005年02期 期刊

关键词: 精密工程 / 进给 / 数学模型 / 双环控制

下载(161)| 被引(1)

数控成形磨床移动式立柱温度特性分析及数据拟合  CNKI文献

为了研究数控成形磨床中腰导轨移动式立柱温度场特性,采用LabVIEW(laboratory virtual instrument engineeringworkbench)虚拟仪器开发温度实时采集系统,对中腰导轨移动式立柱执行温度场测量,并基于测量数据对立柱进行...

胡旭晓 张冰冰... 《机械强度》 2011年05期 期刊

关键词: 温度场测量 / 温度特性 / 拟合算法 / 指数函数

下载(65)| 被引(1)

基于惩罚函数的多模态平稳过渡策略研究  CNKI文献

为了使智能控制中多模态之间能实现平稳过渡,提出一种基于惩罚函数的多模态控制策略.根据系统特性及其不同的工况条件,在控制的母空间中划分多个子空间,每个子空间对应一个模态,每个模态采取不同的有针对性的控制策略...

胡旭晓 潘晓弘 《浙江大学学报(工学版)》 2006年07期 期刊

关键词: 控制 / 多模态 / 惩罚函数 / 平稳过渡

下载(115)| 被引(2)

基于变形体的热驱动部件多模态控制策略研究  CNKI文献

为了提高基于变形体的具有大进给力热驱动部件的进给速度和控制精度,提出通过控制热驱动部件的温度场实现z方向微进给的方法.由导热微分方程推导热驱动部件的数学模型,在实验的基础上采用分段逐级拟合指数型函数的方法...

胡旭晓 赵亮 《浙江大学学报(工学版)》 2005年05期 期刊

关键词: 热驱动部件 / 温度 / 多模态控制 / 最优控制

下载(61)| 被引(3)

PLC在输送控制系统中的应用  CNKI文献

针对三醋酸甘油酯输送控制系统 ,介绍其整体的硬件结构 ,原理及关键技术 ,阐述PLC在该系统中的作用 ,并给出实现主要功能的梯形图。

胡旭晓 杨克己 《机电工程》 2000年04期 期刊

关键词: PLC / 触摸屏 / 输送控制系统

下载(84)| 被引(4)

神经网络自动校正电网波动引起的加工误差  CNKI文献

在分析影响数控机床加工误差的因素后 ,建立了神经网络模型 ,然后求出电网输入电压与定时时间之间的最优曲线 ,从而实现对电网波动引起的加工误差进行自动校正。

胡旭晓 《组合机床与自动化加工技术》 2000年08期 期刊

关键词: 神经网络 / 数控机床 / 电网波动 / 加工误差

下载(33)| 被引(6)

模糊控制器在数控机床液压油温监控系统中的应用  CNKI文献

介绍了模糊控制的原理以及实现方法 ,设计了以单片机为核心的数控机床液压油箱温度控制系统 ,并对关键技术进行详细说明。

胡旭晓 《液压与气动》 2000年03期 期刊

关键词: 模糊控制 / 油温监控 / 单片机

下载(88)| 被引(2)

基于惩罚函数的母子空间不同分辨率遗传算法研究  CNKI文献

提出一种基于惩罚函数的母子空间不同分辨率搜索的遗传算法:在母空间中,该算法采用粗分辨率搜索,待搜索速度变慢后,用特征空间识别法优化各聚类中心,并在各聚类中心点创建子空间;在子空间中,因引入惩罚函数,较好处理了...

胡旭晓 狄瑞坤... 《仪器仪表学报》 2002年05期 期刊

关键词: 遗传算法 / 母子空间 / 分辨率 / 惩罚函数

下载(53)| 被引(1)

遗传算法在机床主轴热位移检测系统中的应用  CNKI文献

简要介绍了机床主轴热位移检测系统 ,重点分析了遗传算法的基本原理及其在电涡流传感器在线定标中的应用。

胡旭晓 《制造技术与机床》 2000年07期 期刊

关键词: 机床主轴 / 热位移 / 检测系统 / 遗传算法

下载(66)| 被引(1)

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