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SiO_2/HfO_2高反射膜的研制  CNKI文献

主要讨论了电子束蒸发SiO2/HfO2薄膜的面形控制和损伤性能。研究了电子束蒸发工艺参数对薄膜应力以及面形的影响;分析了制备工艺对薄膜吸收、节瘤缺陷密度的影响,测量了制备薄膜的损伤阈值。研究结果表明:调整SiO2蒸发...

程鑫彬 沈正祥... 《强激光与粒子束》 2012年06期 期刊

关键词: 应力 / 面形 / 吸收 / 节瘤缺陷

下载(330)| 被引(5)

基于模拟退火算法的宽角度X射线超反射镜设计研究  CNKI文献

应用于硬X射线波段的宽带多层膜光学元件———宽角度X射线超反射镜的设计可以归结为一个连续变量的多维多极值的全局优化问题。缺少一种有效的全局优化方法是阻碍解决这一难题的一个关键。模拟退火算法是一种简单而且...

程鑫彬 王占山... 《光学学报》 2006年05期 期刊

关键词: 薄膜光学 / X射线超反射镜 / 模拟退火算法

下载(134)| 被引(7)

改进的傅里叶变换在Rugate滤光片设计中的应用  CNKI文献

傅里叶变换是设计Rugate滤光片最有效的解析方法之一。然而这种解析方法内在的近似性导致了设计结果与目标结果总是存在着一定的偏差。现提出一种改进的傅里叶变换方法,提高设计结果与目标结果的逼真度。将光谱函数的...

程鑫彬 范滨... 《光学仪器》 2008年05期 期刊

关键词: Rugate滤光片 / 傅里叶变换 / 迭代 / 位相

下载(137)| 被引(2)

离子束辅助沉积薄膜工艺  CNKI文献

阐述了离子源在离子束清洗和离子束辅助薄膜沉积(IAD)中的应用;根据热力学原理及离子碰撞过程分析,研究了离子束辅助沉积过程中的能量传递过程,建立了薄膜折射率与离子辅助沉积过程中各物理量之间的关系模型;探讨了各...

王利 程鑫彬... 《红外与激光工程》 2007年06期 期刊

关键词: 离子束清洗 / 离子束辅助沉积 / 离子能量传递

下载(855)| 被引(34)

光学表面功率谱密度的表征  CNKI文献

以硅基板镀制单层Hf O_2薄膜前后的表面微观形貌的变化为例,开展了光学表面功率谱密度的计算及表征研究。首先给出了一维功率谱密度(PSD_(1D))、二维功率谱密度(PSD_(2D))以及各向同性功率谱密度(PSD_(ISO))的计算方法...

张磊 程鑫彬... 《红外与激光工程》 2015年12期 期刊

关键词: 表面微观形貌 / 功率谱密度 / 原子力显微镜

下载(233)| 被引(5)

数据拟合点的截取对光腔衰荡法测量反射率的影响  CNKI文献

利用光腔衰荡法测量反射率,探测器性能对衰荡信号的测量有很大影响,具有不同时间响应和灵敏度特性的探测器会得到不同的信号衰荡曲线起始点和信号淹没点。对于性能相同的探测器,在测量反射率不同的反射镜时,也会得到不...

王利 程鑫彬... 《红外与激光工程》 2008年05期 期刊

关键词: 反射率 / 光腔衰荡 / χ2拟合

下载(79)| 被引(13)

动力学晶格蒙特卡洛方法模拟Cu薄膜生长  CNKI文献

利用动力学晶格蒙特卡洛方法模拟了Cu薄膜在Cu(100)面上的三维生长过程。模型中考虑了四个动力学过程:原子沉积、增原子迁移、双原子迁移和台阶边缘原子迁移,各动力学过程发生的概率由多体势函数确定。讨论了基底温度...

吴子若 程鑫彬... 《光子学报》 2010年01期 期刊

关键词: 薄膜生长 / 原子迁移 / KLMC模拟 / 沉积速率

下载(507)| 被引(13)

节瘤缺陷激光损伤的研究进展  CNKI文献

在近红外反射类激光薄膜中,节瘤缺陷是引起薄膜激光损伤的主要因素。为了提高激光薄膜的损伤阈值,对节瘤缺陷及其损伤特性进行研究具有重要意义。从"真实"节瘤缺陷和"人工"节瘤缺陷两个方面介绍节...

谢凌云 程鑫彬... 《强激光与粒子束》 2016年09期 期刊

关键词: 真实节瘤 / 人工节瘤 / 激光损伤 / 损伤机制

下载(170)| 被引(2)

不同工艺制备的人工节瘤的损伤生长特性  CNKI文献

在高能激光系统中,反射膜的损伤生长特性和初始损伤一样重要。对薄膜损伤生长特性的研究将有助于探究反射膜损伤机制,从而进一步有效地提高其抗激光损伤能力。使用电子束蒸发(EB)和离子束辅助(IAD)两种工艺制备了1064...

马宏平 程鑫彬... 《红外与激光工程》 2017年05期 期刊

关键词: 人工节瘤 / 激光损伤 / 损伤生长 / 镀制工艺

下载(53)| 被引(2)

HfO_2薄膜折射率非均质性生长特性研究  CNKI文献

在加热的BK7基板上,采用电子束蒸发(EB)工艺制备了一系列不同厚度的Hf O2单层膜,对Hf O2薄膜生长过程中的折射率非均质性进行了研究。光谱分析表明薄膜非均质性与其厚度息息相关。X射线衍射(XRD)测试表明不同非均质性...

鲍刚华 程鑫彬... 《红外与激光工程》 2015年09期 期刊

关键词: 光学薄膜 / 电子束蒸发 / Hf / O2薄膜

下载(119)| 被引(1)

单层膜体吸收与界面吸收研究  CNKI文献

采用热透镜测量方法进行了SiO2和HfO2单层膜的体吸收与界面吸收分离研究.首先推导了光从薄膜侧及基底侧入射时单层膜内的驻波场分布,给出了单一厚度薄膜分离体吸收和界面吸收的计算方程式以及求解薄膜消光系数的方法....

鲁江涛 程鑫彬... 《物理学报》 2011年04期 期刊

关键词: 驻波场理论 / 光热技术 / 薄膜吸收 / 消光系数

下载(210)| 被引(1)

基于光子晶体带隙特性的反射式多通道滤光片设计  CNKI文献

反射式多通道滤光片在光学通讯、光学成像、遥感高光谱等方面有着重要的应用。利用含缺陷一维光子晶体独特的带隙特性,依据其相应的能带理论,设计了一种由金属和介质组成的反射式多通道滤光片。这种滤光片通道的工作范...

贺芝宇 焦宏飞... 《光学学报》 2014年02期 期刊

关键词: 薄膜 / 反射式滤光片 / 光子带隙 / 窄带多通道

下载(345)| 被引(18)

金属氧化物薄膜在中波红外光谱区内光学常数色散特性  CNKI文献

基于金属氧化物薄膜材料在中波红外波段应用的需求,研究了含水状态的TiO2、HfO2、Ta2O5和Y2O34种金属氧化物薄膜在中波红外波段内(2.5~5μm)光学常数的色散特性。利用电子束蒸发沉积技术,在超光滑的硅表面制备了4种氧...

刘华松 季一勤... 《光学学报》 2014年08期 期刊

关键词: 材料 / 金属氧化物薄膜 / 水分子 / 羟基

下载(356)| 被引(10)

几种紫外薄膜材料的光学及损伤特性分析  CNKI文献

为进一步改善大型固体激光器3倍频用薄膜的光学及损伤特性,利用不同的测试方法系统对比研究了电子束蒸发方式制备的几种紫外薄膜的光学常数、晶体结构、表面粗糙度以及弱吸收和其激光损伤特性间的相互关系。研究表明:...

张乾 焦宏飞... 《红外与激光工程》 2014年04期 期刊

关键词: 薄膜 / 光学性能 / 激光损伤 / 355

下载(235)| 被引(4)

1064nm高反射薄膜激光损伤阈值测量方法  CNKI文献

参照国际上对激光损伤阈值不同测量技术建立起来的相应检测规范和标准,分别采用1-on-1,S-on-1,R-on-1和光栅扫描共4种测量方式,在1 064 nm波长下对HfO2/SiO2周期性高反射薄膜进行了激光损伤阈值的测量研究。根据测量结...

周刚 马彬... 《强激光与粒子束》 2011年04期 期刊

关键词: 高反射薄膜 / 激光损伤阈值 / 激光预处理 / 光斑尺寸

下载(653)| 被引(12)

线性渐变滤光片的制备与测试  CNKI文献

线性渐变滤光片是一种在小型快速分光测试设备中广泛应用的光学薄膜器件。讨论了各种线性渐变滤光片的设计方法;给出了用离子辅助沉积(IAD)工艺制备线性渐变滤光片的膜厚修正方法;并分析了线性渐变滤光片光谱测试时,滤...

范滨 李刚正... 《光学仪器》 2006年04期 期刊

关键词: 线性渐变滤光片 / 线性色散系数 / 测试光斑尺寸

下载(507)| 被引(22)

一种抑制二倍频半波孔现象的短波通设计方法  CNKI文献

短波通滤色片是光学系统,尤其是激光系统中普遍使用的一种薄膜,它的基本结构为(0.5LH0.5L)N。但薄膜的非均质性会产生半波孔现象,从而影响滤色片的光学特性。利用导纳技术分析了折射率非均质性产生半波孔现象的原因:非...

鲍刚华 焦宏飞... 《光学学报》 2014年08期 期刊

关键词: 薄膜 / 短波通滤色片 / 半波孔 / 导纳匹配

下载(103)| 被引(1)

电子束蒸发SiO_2薄膜残余应力在不同湿度环境下的对比  CNKI文献

采用电子束蒸发方法在BK7基底上制备SiO2单层膜,通过台式探针轮廓仪分别测量了大气(45%RH)和干燥环境(5%RH)中不同沉积温度下制备的SiO2单层膜残余应力,同时使用分光光度计和原子力显微镜对样品的折射率和表面形貌进行...

叶晓雯 丁涛... 《红外与激光工程》 2012年03期 期刊

关键词: SiO2单层膜 / 沉积温度 / 残余应力 / 由水诱发的应力

下载(224)| 被引(9)

偏振分光膜中节瘤的激光损伤特性  CNKI文献

研究了1 064 nm Hf O2/Si O2偏振分光膜中节瘤的损伤特性。为了研究偏振分光膜中节瘤缺陷种子源粒径大小与损伤阈值之间的关系,在熔石英基板上植入了尺寸和密度可控的单分散性的Si O2小球,并采用电子束蒸发技术在熔石...

阿卜杜萨拉木·图尼亚孜 程鑫彬... 《红外与激光工程》 2015年08期 期刊

关键词: 激光损伤 / 偏振分光膜 / 节瘤缺陷 / 人工节瘤

下载(102)| 被引(3)

50~110nm波段高反射率多层膜的设计与制备  CNKI文献

阐述了50~110nm强吸收波段亚四分之一波长多层膜的设计方法.这种膜系是由强吸收材料叠加而成,每层膜光学厚度小于四分之一个波长.与常规周期多层膜相比,这种膜系更适用于提高强吸收波段的反射率.利用该方法设计了50nm...

李存霞 王占山... 《光子学报》 2007年10期 期刊

关键词: 亚四分之一波长 / 多层膜 / 极紫外 / 高反射率

下载(246)| 被引(13)

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