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光频电磁波在薄膜结构中传播的空间干涉现象研究及应用  CNKI文献

信息技术正在经历从电子学、光电子学到光子学的发展。随着社会文明的发展,人们对信息量的需求呈现爆炸性增长的趋势,迫切需要提高荷载信息的容量和加快处理信息的速度。以光子或光波代替电子或电磁波作为信息的载体是...

盛明裕 导师:陈良尧 复旦大学 2007-10-08 博士论文

关键词: 干涉 / 光子薄膜 / 椭圆偏振光谱仪 / 等离子体辅助电子束蒸发

下载(244)| 被引(0)

等离子体辅助电子束蒸发低温制备SiO_2纳光子薄膜  CNKI文献

SiO2纳光子薄膜在光伏领域、纳光子和微电子学领域里有着广泛的应用.采用等离子体辅助电子束蒸发方法在低温条件下制备SiO2/Si纳光子薄膜样品,通过椭圆偏振光谱分析法研究薄膜光学性质随3种工艺条件(生长速率、衬底温...

盛明裕 赵源... 《红外与毫米波学报》 2011年03期 期刊

关键词: 等离子体辅助 / 电子束蒸发 / 纳光子薄膜

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尘埃粒子与射频等离子体鞘层相互作用  CNKI文献

<WP=1> <WP=2> 大连理工大学硕士学位论文 尘埃粒子

盛明裕 导师:王德真 大连理工大学 2003-06-01 硕士论文

关键词: 射频鞘层 / 空间分布 / 等离子体鞘层 / 尘埃粒子

下载(113)| 被引(1)

Accurate analysis of ellipsometric data for thick tran...  CNKI文献

Using e-beam evaporation, the ellipsometric parameters of thick transparent films are studied with the modified analysis method for the SiO 2 film samples deposited onto the Si substrate. The ellipso...

赵源 盛明裕... 《Chinese Optics Letters》 2011年05期 期刊

关键词: Accurate / analysis / of / ellipsometric

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大颗粒在等离子体鞘层中的受力分析与计算  CNKI文献

用Edelberg和Aydil的等离子体鞘层模型,对电弧离子镀中大颗粒在脉冲偏压鞘层中的带电及受力情况进行了分析 和计算,为大颗粒由于带负电而受到电场力排斥从而被净化的实验现象和物理模型提供佐证.

郭慧梅 林国强... 《金属学报》 2004年10期 期刊

关键词: 大颗粒 / 电弧离子镀 / 脉冲偏压 / 等离子体鞘层

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