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钛酸镧铅薄膜的介电、铁电性能研究  CNKI文献

采用溶胶 凝胶法在Si衬底上制备了钛酸镧铅薄膜。通过对膜进行XRD、SEM、介电和铁电性能测试 ,研究了退火条件和掺镧量对薄膜性能的影响 ,结果发现在 60 0℃下退火 1h的PLT薄膜呈现钙钛矿结构 ;常温下 ,薄膜的矫顽场...

甘肇强 《功能材料》 2002年04期 期刊

关键词: 铁电薄膜 / 钛酸镧铅 / 溶胶凝胶法

下载(131)| 被引(8)

微波ECR-CVD法制备a-C:F:H膜的红外吸收及其光学带隙  CNKI文献

改变CHF3 CH4 流量比R =[CHF3] ([CHF3]+[CH4 ]) ,采用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积 (MWECR CVD)方法沉积a C :F :H薄膜。a C :F :H薄膜的结构和光学带隙使用傅立叶变换红外光谱和紫外 可见光谱来表征。红外...

甘肇强 陆新华 《材料科学与工程》 2002年02期 期刊

关键词: aC / F / H薄膜 / 傅立叶变换红外光谱

下载(83)| 被引(2)

双离子束溅射法制备铁氮薄膜  CNKI文献

使用双离子束溅射法制得了铁氮薄膜 ,随着基片温度的变化 ,薄膜的成分是ε Fe2~ 3N、γ′ Fe4 N或是二相的混合物 ,薄膜的晶粒尺寸随基片温度的升高而增大。以振动样品磁强计(VSM)测定了薄膜的磁性能。另外 ,研究了在...

甘肇强 罗经国... 《功能材料》 2001年05期 期刊

关键词: 双离子束 / 铁氮薄膜 / 磁性能

下载(66)| 被引(3)

Experimental Study on RF Hollow Cathode Discharge  CNKI文献

By using a longitudinal static magnetic field, we have shown that it is possible to excite an intensive plasma in a simple stainless steel tube which is connected with a RF power supply. Under certai...

甘肇强 吴雪梅 ... 《Plasma Science & Technology》 2001年06期 期刊

关键词: RF / Experimental / Study / on

下载(15)| 被引(0)

穆斯堡尔谱仪的激光测速装置  CNKI文献

本文叙述了穆斯堡尔谱仪激光干涉绝对测速的方法,介绍了一台配用高精度穆斯堡尔谱仪的激光测速装置,其测速范围为±5mm/s~±300mm/s,并具有穆斯堡尔谱与速度谱同时测量的性能。本文列举了部分测试结果,

甘肇强 毛伟康... 《核技术》 1984年04期 期刊

关键词: 测速 / 激光 / 穆斯堡尔谱仪

下载(15)| 被引(0)

烘烤温度对溶胶-凝胶法制备镧掺杂钛酸铋薄膜结构与铁电性质...  CNKI文献

采用溶胶 凝胶法 ,在保持薄膜结晶温度和有机物分解温度相同情况下 ,发现烘烤温度 (即溶剂的挥发温度 )对镧掺杂钛酸铋薄膜的晶体结构、表面形貌和铁电性质均产生重要影响 .在较低烘烤温度下得到的薄膜 (117)择优取向...

王强 沈明荣... 《物理学报》 2004年07期 期刊

关键词: 溶胶-凝胶法 / 烘烤温度 / 铁电薄膜

下载(299)| 被引(15)

氧分压强和基片温度对脉冲激光沉积的ZnO∶Al膜性能的影响  CNKI文献

利用脉冲激光法制备了ZnO∶Al透明导电膜。通过对膜进行霍尔系数测量及SEM、XRD测试分析 ,详细研究了沉积时的基片温度、氧分压强对膜的透光率和电阻率的影响。结果表明 :基片温度、氧分压强影响着膜的电学、光学性能...

葛水兵 程珊华... 《功能材料》 2000年S1期 期刊

关键词: 脉冲激光沉积 / ZnO膜 / 基片温度 / 氧分压强

下载(138)| 被引(35)

溶胶-凝胶法制备钛酸锶铅薄膜和多层膜及其介电性质  CNKI文献

采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了多种不同组分的(Pb1-xSrx)TiO3(PST)(x=0.45、0.50、0.55、0.60、0.65)均匀薄膜和多层膜,并研究了它们的介电性质。发现均匀薄膜在x=0.55(PST55)时有最大的介电常数,10kHz...

王季魁 沈明荣... 《功能材料》 2006年02期 期刊

关键词: 溶胶-凝胶法 / 钛酸锶铅 / 多层膜 / 介电性质

下载(204)| 被引(6)

磁控溅射法制备非晶碳膜及其光学特性  CNKI文献

利用射频磁控溅射法成功制备了类金刚石薄膜,研究了溅射功率和基片温度对所沉积的薄膜的性能的影响.对所制备的类金刚石薄膜用拉曼光谱、紫外光谱进行了表征,所沉积的类金刚石碳薄膜是簇状分布的SP2 碳键和网状...

张月蘅 徐政... 《同济大学学报(自然科学版)》 1999年06期 期刊

关键词: 磁控溅射 / 类金刚石薄膜 / 非晶碳薄膜

下载(416)| 被引(9)

ECR-CVD法制备的a-C:F:H薄膜在N_2气氛中的热退火研究  CNKI文献

改变CHF3 CH4源气体流量比 ,使用微波电子回旋共振化学气相沉积方法 (ECR CVD)制备了具有不同C—F键结构的a C :F :H薄膜 ,着重研究了退火对其结构的影响 .结果显示薄膜的厚度及其光学带隙E0 4随退火温度的上升均呈现...

辛煜 宁兆元... 《物理学报》 2002年02期 期刊

关键词: 电子回旋共振化学气相沉积 / 红外吸收光谱 / 热退火 / 光学带隙

下载(67)| 被引(22)

不同CHF_3/CH_4流量比下沉积a-C∶F∶H薄膜键结构的红外分析  CNKI文献

通过微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积方法使用CH4 CHF3源气体制备a C∶F∶H薄膜 .红外结果表明 ,a C∶F∶H薄膜随着流量比R =[CHF3] [CHF3]+[CH4])的变化存在结构上的演变 ,R <6 4%时 ,薄膜主要是以类金刚石...

辛煜 宁兆元... 《物理学报》 2001年12期 期刊

关键词: a-C∶F∶H薄膜 / 傅里叶变换红外光谱 / 紫外可见光谱

下载(68)| 被引(19)

基片温度对电子束蒸发沉积的ZnO:Al膜性能的影响  CNKI文献

使用电子束蒸发法沉积了铝掺杂的氧化锌透明导电膜。通过对膜进行霍尔系数测量及XRD测试分析,详细研究了沉积时的基片温度对膜的透光率和电阻率的影响。结果表明,基片温度影响膜的载流子浓度、迁移率以及膜的结晶程度...

葛水兵 程珊华... 第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集 1998-10-13 中国会议

关键词: 电子束蒸发沉积 / ZnO / Al膜 / 基片温度

下载(32)| 被引(1)

微波ECR-CVD的宏观参数对a-C:F膜结构的影响  CNKI文献

利用CH_4和CF_4混合气体在微波等离子体ECR反应槽中不对基片加热和施加偏压的条件下沉积a-C:F膜.本文主要使用傅立叶变换红外吸收光谱(FTIR)技术来研究沉积气压、[CH_4]/[CF_4]流量比R与薄膜结构之间的关系.FTIR谱显示...

辛煜 方亮... 第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集 2001-10-01 中国会议

关键词: 微波等离子体ECR技术 / FTIR技术 / α-C / F

下载(7)| 被引(0)

微波电子回旋共振-化学气相沉积SiN_x薄膜的光学性能研究  CNKI文献

研究了微波电子回旋共振-化学气相沉积SiNx薄膜的光学性能,这种SiNx薄膜具有透光谱宽、透光率高的特点,总结了透光谱、折射率、光隙能随微波功率、基片温度的变化关系

叶超 宁兆元... 《光学学报》 1997年04期 期刊

关键词: 氮化硅薄膜 / 光学性能 / 微波电子回旋共振-化学气相沉积

下载(79)| 被引(16)

HfO_2在CHF_3,Ar和H_2的感应耦合等离子体中的刻蚀行为  CNKI文献

通过改变偏压功率和气体气压的宏观条件 ,利用CHF3 ,Ar和H2 的感应耦合等离子体 (ICP)对HfO2 和RZJ 30 6光刻胶进行了刻蚀选择性实验研究。结果表明 ,HfO2 与等离子体化学相互作用的刻蚀产物属于非挥发性的 ,容易造成...

辛煜 宁兆元... 《真空科学与技术学报》 2004年04期 期刊

关键词: 感应耦合等离子体 / 刻蚀选择性 / HfO2 / 光刻胶

下载(147)| 被引(4)

低温氮化硅薄膜的介电性能研究  CNKI文献

研究了微波电子回旋共振等离子体化学汽相沉积低温氮化硅薄膜在5—106Hz频率范围内的介电性能.由于低温氮化硅薄膜为具有分形结构的纳米非晶薄膜,致使氮化硅薄膜的介电谱、损耗谱在低频区和高频区具有两种不同...

叶超 宁兆元... 《物理学报》 1997年06期 期刊

关键词: 氮化硅薄膜 / 非晶薄膜 / 化学汽相沉积 / 电子回旋共振等离子体

下载(124)| 被引(6)

掺杂比对脉冲激光沉积的ZnO:Al膜性能的影响  CNKI文献

用脉冲激光法制备了ZnO :Al透明导电膜。通过对膜的霍尔系数测量及SEM、XRD分析 ,详细研究了靶材中的化学配比 (掺杂比 )对膜的透光率和电阻率的影响。结果表明 :掺杂比影响着膜的电学、光学性能和膜的结晶状况。掺杂...

葛水兵 程珊华... 《功能材料与器件学报》 2000年01期 期刊

关键词: 脉冲激光沉积 / ZnO膜 / 掺杂比

下载(78)| 被引(8)

非晶碳膜及掺氮非晶碳膜的制备及光学性质的比较  CNKI文献

用射频磁控溅射法成功地制备了非晶碳薄膜及掺氮非晶碳薄膜。拉曼光谱表征表明所沉积的非晶碳薄膜是非晶结构,具有类金刚石特性。对所制备的掺氮非晶碳薄膜用光电子能谱和红外光谱进行了表征。同时还研究了两种薄膜的...

张月蘅 徐政... 《功能材料与器件学报》 1999年01期 期刊

关键词: 磁控溅射 / 类金刚石薄膜 / 非晶碳薄膜 / 掺氮非晶碳薄膜

下载(231)| 被引(3)

液相法制备掺氮碳膜的实验研究  CNKI文献

在低温和常压下,通过电解甲醇和氨水混合溶液,在硅基片上进行沉积掺氮碳膜的尝试,得到了含氮8%的类金刚石薄膜。通过拉曼光谱和X光电子能谱对样品的测试表明:碳和氨在薄膜中是以SP2和SP3进行化学成键的。本文还提...

沈明荣 许杞安... 《功能材料》 1999年05期 期刊

关键词: 液相法 / 掺氮碳膜 / Raman光谱 / XPS

下载(93)| 被引(6)

CF_4气体ICP等离子体中的双温电子特性  CNKI文献

使用朗谬尔探针方法研究了低压CF4 气体感应耦合等离子体 (ICP)的放电特性 .结果表明 ,CF4 等离子体的电子呈现双温分布 :一类是密度低、能量高的快电子 ,另一类是密度高、能量低的慢电子 .快电子温度The、慢电子温度...

黄松 宁兆元... 《物理学报》 2004年10期 期刊

关键词: 感应耦合等离子体 / CF4气体 / 朗谬尔探针 / 电子温度

下载(105)| 被引(2)

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