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深高宽比微结构的干法刻蚀  CNKI文献

介绍了深高宽比微结构在干法刻蚀过程中遇到的刻蚀滞后、刻蚀中止、侧壁弯曲和开槽效应等与传统器件刻蚀不同的现象,讨论了制作高深宽比结构所需的关键技术和检测手段。

王旭迪 张永胜... 《真空》 2004年05期 期刊

关键词: 微结构 / 深高宽比 / 干法刻蚀

下载(541)| 被引(21)

石英和BK7玻璃的离子束刻蚀特性研究  CNKI文献

石英和BK7玻璃是常用的光学材料和微系统材料。用Ar作为工作气体对石英和BK7玻璃及其掩模材料AZ135 0的离子束刻蚀特性进行了研究 ,分析了离子能量、离子束流密度和离子束入射角等几种因素对刻蚀速率和选择比的影响 ,...

王旭迪 刘颖... 《真空科学与技术学报》 2004年05期 期刊

关键词: 石英 / BK7玻璃 / 离子束刻蚀 / 刻蚀速率

下载(389)| 被引(12)

低能宽束离子源的研究进展  CNKI文献

低能宽束离子源是离子束沉积、刻蚀和表面改性系统的核心部件,综述了考夫曼、射频等离子体、电子回旋共振等离子体、无栅网等四种离子源的等离子体的产生方式,对结构重点进行了分析,并从参数性能上进行了比较。稳定性...

王旭迪 卢景景 《真空》 2008年05期 期刊

关键词: 低能宽束离子源 / 考夫曼 / 射频等离子体 / 电子回旋共振等离子体

下载(246)| 被引(10)

反应离子束刻蚀应用于光刻胶灰化技术研究  CNKI文献

以AZ1500光刻胶为例,将氧气作为工作气体的反应离子束刻蚀工艺用于光刻胶图形的灰化处理,以去除经紫外曝光-显影后光栅中的残余光刻胶。研究结果表明灰化速率有随束流密度呈线性增加的趋势。经过反应离子束刻蚀后,光栅...

王旭迪 刘颖... 《微细加工技术》 2004年02期 期刊

关键词: 反应离子束刻蚀 / 光刻胶灰化 / 灰化速率 / 占空比

下载(394)| 被引(11)

涡旋式真空泵  CNKI文献

涡旋真空泵是一种新型的无油机械泵,它具有结构简单、密封性能好、极限真空高(可达5×10-1Pa)等优点。作为一种高新技术产品,它不易仿制,应用前景广阔。目前在国外,仅有少数几个公司有产品问世。

王旭迪 胡焕林 《真空与低温》 1999年01期 期刊

关键词: 涡旋 / 真空泵 / 结构 / 特点

下载(278)| 被引(22)

HfO_2薄膜的离子束刻蚀特性研究  CNKI文献

实验研究了HfO2薄膜特性以及掩模材料AZ1350以Ar为工作气体下的离子束的刻蚀特性。给出了离子能量、离子束流密度和离子束入射角等因素与刻蚀速率的关系曲线,用最小二乘法拟合了上述因素与刻蚀斜率的函数关系方程;分析...

王旭迪 徐向东... 《光学精密工程》 2004年05期 期刊

关键词: HfO2薄膜 / 离子束刻蚀 / 刻蚀速率 / 图形转移

下载(188)| 被引(7)

基于动态差压衰减方法瞬时流量测量装置的研制  CNKI文献

本文介绍了一种基于动态差压衰减方法瞬时流量测量装置,该装置由真空抽气系统、恒温系统、动态差压衰减测量系统等三部分组成,通过对泄漏元件两侧的动态差压变化进行连续测量,并进行数据分析,得到泄漏元件的流导、漏率...

王旭迪 王永健... 《真空》 2018年04期 期刊

关键词: 动态差压衰减 / 漏率 / 流导

下载(26)| 被引(0)

HfO_2薄膜的反应离子刻蚀特性研究  CNKI文献

研究了HfO2 薄膜在CHF3 /Ar和SF6/Ar等气体中的反应离子刻蚀机理。结果表明刻蚀气体的组分和射频偏压对刻蚀速率有较大影响 ,而气体流量影响不大。CHF3 和SF6与HfO2 的反应产物具有较好的挥发性 ,Ar的引入不仅可以打破...

王旭迪 刘颖... 《真空科学与技术学报》 2004年04期 期刊

关键词: HfO2薄膜 / 反应离子刻蚀 / 刻蚀速率

下载(166)| 被引(4)

涡旋真空泵型线设计  CNKI文献

涡旋真空泵具有结构简单、密封性能好、极限真空高 (≤ 5× 10 - 1 Pa)和不易仿制等优点 ,在国外已广泛应用于半导体和薄膜行业。型线部分是涡旋真空泵设计的关键 ,该文结合工程实际需要对其理论和实际型线进行研...

王旭迪 胡焕林 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 2001年01期 期刊

关键词: 涡旋真空泵 / 型线理论 / 参数化设计

下载(166)| 被引(5)

基于SU-8/PMMA双层胶技术的硅点阵结构制作  CNKI文献

本文介绍了一种通过SU-8/PMMA双层胶制备硅点阵结构的方法,首先用PDMS模板压印带SU-8/PMMA双层胶的硅片,用ICP刻蚀后,得到具有内切结构的光刻胶掩膜,镀金属膜并去胶后,进行金属辅助化学湿法刻蚀,在硅片表面获得点阵结...

陶伟 王旭迪... 《真空》 2014年06期 期刊

关键词: SU-8/PMMA / 软压印 / 硅点阵 / 湿法刻蚀

下载(106)| 被引(0)

逆向热键合技术制作SU-8胶纳流控通道  CNKI文献

热键合技术常用于制备纳米通道,但其需要高温高压的工艺条件,因此难以获得大面积和尺寸可控的纳米通道。本文提出一种利用热键合技术制作尺寸可控的SU-8胶纳米通道的方法,该方法利用UV胶带在紫外曝光前后粘附力变化的...

涂吕星 王旭迪... 《真空科学与技术学报》 2013年12期 期刊

关键词: 逆向热键合 / SU-8 / UV胶带 / 纳米通道

下载(101)| 被引(1)

罗茨泵径向间隙泄漏量的研究与建模  CNKI文献

分析罗茨泵的工作过程 ,根据平行平板间稀薄气体的流动理论建立泄漏模型 ,用模型来描述转子回转和不同流态下的压力差引起的径向泄漏。求解数学模型可为改进泵的性能提供理论依据

陈长琦 王旭迪 《流体机械》 2002年11期 期刊

关键词: 罗茨真空泵 / 径向间隙 / 泄漏 / 数学模型

下载(254)| 被引(16)

紫外固化浇铸法制作PUA蛾眼结构  CNKI文献

本文采用聚氨酯丙烯酸酯(PUA)通过紫外固化浇铸复制多孔氧化铝(AAO)模板制作蛾眼微结构。PUA低粘度和低表面能特性保证了高深宽比柱状阵列结构的精确复制。测量制备的蛾眼结构与水的接触角大于150°,得出蛾眼结构...

桑艾霞 王旭迪... 《真空》 2016年01期 期刊

关键词: PUA / PET / 蛾眼微结构 / 超疏水

下载(104)| 被引(0)

Flexible subwavelength gratings fabricated by reversal...  CNKI文献

We present a replication process, named reversal soft ultraviolet (UV) nanoimprint, to fabricate a high- aspect-ratio flexible subwavelength grating (SWG) on a polyurethane acrylate (PUA). This nanop...

葛良进 王旭迪... 《Chinese Optics Letters》 2012年09期 期刊

关键词: PUA / Flexible / subwavelength / gratings

下载(33)| 被引(1)

聚碳酸酯基片超疏水表面的制备与表征  CNKI文献

超疏水表面改性可以提高聚碳酸酯(PC)的实用性能。采用氧气等离子体刻蚀的方法对PC基片表面进行处理结合表面沉积疏水性涂层制备了超疏水表面。利用原子力显微镜、X射线光电子能谱仪和傅里叶变换红外光谱仪对制备过程...

郑正龙 涂吕星... 《真空科学与技术学报》 2014年03期 期刊

关键词: 聚碳酸酯 / 超疏水 / 表面形貌 / 表面化学成分

下载(277)| 被引(6)

CF_4/CHF_3反应刻蚀石英和BK7玻璃  CNKI文献

用CF4/CHF3作为工作气体对石英和BK 7玻璃进行了研究,分析了气体组分、气体流量和射频偏压等几种因素对刻蚀速率的影响,结果表明刻蚀速率与射频偏压的均方根成正比。在1 CF4∶1CHF3的等离子体中由于与光刻胶良好的刻蚀...

黄长杰 王旭迪... 《真空》 2005年04期 期刊

关键词: 石英 / BK7玻璃 / 反应刻蚀 / 刻蚀速率

下载(201)| 被引(0)

基于PDMS微结构模板转印技术的研究  CNKI文献

基于界面间粘附能理论,结合有限元模拟研究聚二甲基硅氧烷(PDMS)微结构模板实现聚合物SU-8光刻胶的图形转移复制的转印机理,分析了微结构转印过程中基底表面能、压力和SU-8胶溶剂对图形转印的影响。结果表明,氧等离子...

李鑫 王时飞... 《真空科学与技术学报》 2013年06期 期刊

关键词: 聚二甲基硅氧烷 / SU-8光刻胶 / 有限元分析 / 粘附能

下载(391)| 被引(5)

卷对卷纳米压印脱模过程的有限元模拟  CNKI文献

本文提出卷对卷纳米压印脱模的两种形式并分析了脱模过程中的阻力。选取垂直于光栅形微结构的截面作为研究对象,忽略脱模过程中旋转角度的影响,将模板上微结构当作竖直平移脱离胶层的方式来处理,利用ANSYS有限元软件模...

汤启升 金建... 《真空》 2012年03期 期刊

关键词: 卷对卷纳米压印 / 脱模 / 有限元分析 / 变形

下载(308)| 被引(10)

软刻蚀技术及其应用  CNKI文献

软刻蚀是通过表面带图案的弹性模板来实现图案的转移的图形复制技术,作为非光刻微米和纳米量级微加工方法,加工的分辨率可以达到5nm100μm,它克服了传统光刻技术的缺陷,为形成和制作平面和曲面上的微米和纳米图案提供...

陈长琦 王艳... 《真空》 2003年06期 期刊

关键词: 软刻蚀 / 弹性模板/印章 / 微接触印刷 / 近场光刻蚀

下载(774)| 被引(16)

低能离子束表面改性对聚碳酸酯(PC)润湿性能的影响  CNKI文献

本文利用氩氧混合低能离子束对双酚A型聚碳酸酯(PC)透明材料进行表面改性,主要研究了改性前后表面润湿性的变化。结果表明,改性后的PC表面润湿性能得到了明显的改善,经XPS分析发现,改性后的PC表面生成了大量的含氧极性...

伍建华 张官理... 《真空科学与技术学报》 2008年04期 期刊

关键词: 低能离子束 / 聚碳酸酯 / 表面改性 / 接触角

下载(303)| 被引(13)

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