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超声强化液固传质动力学模型与硅中阶梯光栅湿法刻蚀技术研...  CNKI文献

单晶硅湿法刻蚀技术是指应用化学溶液腐蚀的手段在硅材料上制作微纳结构的技术。为降低硅器件表面粗糙度,超声波作为辅助手段被广泛应用于单晶硅湿法刻蚀工艺中。在单晶硅与腐蚀液反应过程中,超声波特有的空化效应会...

焦庆斌 导师:巴音贺希格 中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所) 2014-04-01 博士论文

关键词: 单晶硅湿法刻蚀 / 超声波 / 传质系数 / 硅中阶梯光栅

下载(470)| 被引(6)

超声波震荡法及润湿性增强法对单晶硅阶梯光栅闪耀面粗糙度...  CNKI文献

单晶硅阶梯光栅闪耀面表面粗糙度会引起入射光的散射形成杂散光,为获得低杂散光的阶梯光栅槽形,减小单晶硅阶梯光栅闪耀面表面粗糙度显得尤为重要。在单晶硅湿法刻蚀工艺中,阶梯光栅闪耀面表面粗糙度较大的原因是反应...

焦庆斌 巴音贺希格... 《光学学报》 2014年03期 期刊

关键词: 光栅 / 湿法刻蚀 / 表面粗糙度 / 超声波震荡

下载(119)| 被引(8)

硅中阶梯光栅的湿法刻蚀技术  CNKI文献

建立了单晶硅中阶梯光栅湿法刻蚀全工艺过程,并对该工艺所涉及的光刻胶掩模制备、氧化层掩膜制备以及单晶硅湿法刻蚀等环节进行了研究。利用该工艺制作了口径为20mm×20mm的中阶梯光栅,其在入射波长532nm,Littrow...

焦庆斌 《长春工业大学学报》 2015年04期 期刊

关键词: 硅中阶梯光栅 / 湿法刻蚀 / 衍射效率

下载(137)| 被引(0)

小顶角平台硅中阶梯光栅光刻胶掩模制备工艺研究  CNKI文献

为降低硅中阶梯光栅制作工艺中顶角平台对光栅衍射效率的影响,提出了"紫外曝光-倒置热熔"结合法用于制备具有小占宽比的光刻胶掩模,对中阶梯光栅设计、硅基片准备以及光刻胶掩模制备等环节进行了研究。AFM测...

焦庆斌 《长春工业大学学报》 2015年03期 期刊

关键词: 紫外曝光 / 倒置热熔 / 硅中阶梯光栅 / 湿法刻蚀

下载(58)| 被引(1)

CY5系列压阻式压力传感器  CNKI文献

CYS系列压力传感器是利用半导体的压阻效应制成的压阻式压力传感器。自1985年鉴定以来,根据一些用户的使用要求,已派生出不同用途的许多品种和规格。这些产品经过试验和试用,证明其性能良好,可投入小批量或批量性生产...

焦庆斌 李文秀 《遥测遥控》 1988年04期 期刊

关键词: 压阻式压力传感器 / 压阻效应 / CY5 / 零点输出

下载(48)| 被引(0)

压力传感器  CNKI文献

专利申请范围这种传感器是由在壳体内壁形成的内腔中安装一个膜片组合件所组成。该组合件是用静电法把对应变敏感的硅膜片焊在与其有大体相同温度系数、带有轴线孔的玻璃支座上。硅膜片沿边缘焊在玻璃支座的一端,使两...

焦庆斌 《国外导弹技术》 1979年06期 期刊

关键词: 压力传感器 / 应变计 / 压阻 / 中心孔

下载(36)| 被引(0)

叫我如何不爱它——《现代汉语规范词典》  CNKI文献

本期力荐《现代汉语规范词典》首席顾问:吕叔湘李荣许嘉璐主编:李行健出版:外语教学与研究出版社语文出版社定价:69.90元【内容介绍】本词典是国家语委“八五”规划重点项目,国家新闻出版署“八五”重点图书,也是社科...

焦庆斌 《语文世界(高中版)》 2005年06期 期刊

关键词: 《现代汉语规范词典》 / 工具书 / 语言学家 / 首席顾问

下载(13)| 被引(0)

带有温度补偿电路的IC化电力传感器  CNKI文献

日立制作所研制一种小型、高性能的IC化压力传感器。它是利用了硅的压阻效应(当加压力时,晶体电阻发生变化的现象)。由于附带了独特的温度补偿电路,使这类压力传感器所存在的温度误差减小了。

焦庆斌 《遥测技术》 1985年02期 期刊

关键词: 温度补偿电路 / 传感器 / 换能器 / 电子技术

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应用于亚波长角向偏振金属光栅设计的快速收敛粒子群算法优...  CNKI文献

提出了分步寻优的基于粒子位置调整惯性权重的粒子群算法(PDW-PSO),通过调用严格耦合波方法(RCWA)计算衍射效率,进行了光栅结构参数的优化。将PDW-PSO与惯性权重不变的粒子群算法(PSO)和基于迭代次数调整惯性权重的粒...

朱春霖 焦庆斌... 《光学学报》 2019年07期 期刊

电铸金属光栅中金属沉积过程的在线监测  CNKI文献

在使用电铸方法制作金属光栅时,采用传统的计时电铸方法常常不能保证金属栅条具有精确的沉积厚度。为了能够实时监测光栅栅条的沉积厚度,以实现电铸截止时刻的精确判断,建立了基于衍射效率判断金属沉积厚度的在线监测...

朱春霖 胡昊... 《中国光学》 2019年03期 期刊

关键词: 金属光栅 / 在线监测 / 严格耦合波理论 / 占宽比

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水电解式湿度传感器——SPE湿度传感器  CNKI文献

下面介绍的SPE湿度传感器是由特殊的感温元件和检测方法构成的。它是作者1975年所进行的SPE水电解制氢研究中所派生出来的一种应用技术。这种SPE湿度传感器原理大体与SPE水电解相同。其检测方法与平时已熟悉的五氧化二...

竹中启恭 焦庆斌 《遥测技术》 1986年01期 期刊

关键词: 湿度传感器 / 水电解 / SPE

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气体速率传感器的原理和应用  CNKI文献

本文叙述气体速率传感器的原理和应用。传感器是利用科里奥利牵连加速度的流体陀螺仪。将氦封在壳体内使氦循环而检测速率。传感器没有高速旋转部分,只由泵检测器、喷咀和气体流动线路组成。电子线路则由振荡电路、稳...

渡辺博司 焦庆斌 《遥测遥控》 1987年01期 期刊

关键词: 气动传感器 / 角速度传感器

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