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全自动磁控溅射镀膜设备及工艺的研究  CNKI文献

溅射镀膜作为薄膜混合集成电路的重要环节,在厂商要求保证工艺质量的前提下,希望提高设备的自动化程度,减少靶间污染。介绍了一种用于磁控溅射镀膜设备,着重介绍了该系统关键部件溅射镀膜腔室和真空机械手腔室;该系统...

毛朝斌 佘鹏程... 《电子工业专用设备》 2018年01期 期刊

关键词: 磁控溅射 / 磁控溅射靶 / 机械手

下载(301)| 被引(1)

高产能晶体硅太阳能电池制绒设备及工艺研究  CNKI文献

制绒工艺作为晶体硅太阳能电池生产的重要环节,电池厂商在要求保证工艺质量的前提下,希望能扩大单台设备的产能。介绍了一种用于太阳能电池制绒设备及该系统中关键部件制绒槽和移载机械手。该系统结构简单,控制效果良...

毛朝斌 李克... 《电子工业专用设备》 2012年09期 期刊

关键词: 制绒设备 / 晶体硅太阳能电池 / 高产能

下载(203)| 被引(1)

基于矩阵变换器的异步电机直接转矩控制研究  CNKI文献

为了降低谐波污染,实现异步电动机的高性能控制,提出了一种基于矩阵变换器(Matrix Converter,简称MC)供电的异步电动机器直接转矩控制(DTC)系统和控制方法。基于电机控制专用DSP芯片TMS320LF2812A研发了一套矩阵变换器...

毛朝斌 罗卫国... 《电力电子技术》 2008年02期 期刊

关键词: 异步电动机 / 转矩控制/矩阵变换器

下载(205)| 被引(4)

矩阵变换器的无速度传感器直接转矩控制系统的研究  CNKI文献

直接转矩控制系统以其独特的优点受到了普遍的关注并得到了迅速的发展,它代表了现代电气传动领域的发展潮流。目前的直接转矩控制系统绝大多数采用二极管整流的交-直-交变换器,这种变换器的广泛应用,给电力系统造成了...

毛朝斌 导师:朱建林 湘潭大学 2007-05-01 硕士论文

关键词: 矩阵变换器 / 直接转矩控制 / 交流电动机 / 无速度传感器

下载(220)| 被引(1)

基于DSP的矩阵变换器直接转矩控制的研究  CNKI文献

提出了一种适用于矩阵变换器供电的异步电动机调速系统的组合控制策略,同时实现了矩阵变换器的空间矢量调制和异步电动机的定子磁场定向直接转矩控制。实验结果表明,使用该控制策略的调速系统有良好的动态性能。

毛朝斌 《机械与电子》 2008年03期 期刊

关键词: 异步电动机 / 矩阵变换器 / 直接转矩控制

下载(136)| 被引(1)

无速度传感器直接转矩控制与矩阵变换器的融合系统研究  CNKI文献

提出一种基于矩阵变换器供电的交流电动机无速度传感器直接转矩控制系统和控制方法,以降低谐波污染,提高控制精度。在阐述矩阵变换器和无速度传感器直接转矩控制方法的基础上,重点讨论了二者的融合技术和转速的模型参...

毛朝斌 朱建林... 《电气传动》 2008年04期 期刊

关键词: 交流电动机 / 矩阵式变换器 / 无速度传感器 / 直接转矩控制

下载(131)| 被引(0)

高阻晶体硅电池扩散炉温度控制的研究  CNKI文献

介绍了一种用于太阳能电池高阻扩散工艺的扩散炉温度控制系统,该系统结构简单,控制效果良好,能满足60Ω以上高阻的生产要求。

毛朝斌 陈特超... 《电子工业专用设备》 2012年04期 期刊

关键词: 串级控制 / 扩散炉 / PID

下载(74)| 被引(0)

矩阵变换器的无速度传感器DTC研究  CNKI文献

研究基于矩阵变换器直接转矩控制系统应用无速度传感器技术以及将三者融合的技术。仿真结果表明参数辨识的精度高于测量模块的测量精度,动态响应好。在电机加减速运行和负载转矩变化时,系统能够实现转矩和磁链的控制要...

毛朝斌 朱建林... 《微特电机》 2008年03期 期刊

关键词: 交流电动机 / 矩阵式变换器 / 无速度传感器 / 直接转矩控制

下载(96)| 被引(0)

基于MC-DTC的速度辨识仿真与实验研究  CNKI文献

基于矩阵变换器(MC)直接转矩控制系统(MC-DTC)应用无速度传感器技术以及将三者融合的技术讨论了速度自适应辨识方法与满足系统融合要求的控制策略。仿真和实验结果表明系统动态响应好,同时能发挥MC和DTC的优势,是一种...

毛朝斌 《微电机》 2008年08期 期刊

关键词: 交流电动机 / 矩阵变换器 / 无速度传感器 / 直接转矩控制

下载(33)| 被引(1)

采集瞬时无功作为辅助变量的直接转矩控制  CNKI文献

在参考模型自适应(Model Reference Adap- tive System-MRAS)理论基础上讨论了二种转速观测法,提出了一种以电机的瞬时无功作为辅助变量,鲁棒性良好的新型MRAs速度估汁方案。该方法能较好地解决电机参数变化对调速精度...

毛朝斌 《电机技术》 2008年01期 期刊

关键词: 直接转矩控制 / 电机 / 无速度传感器

下载(34)| 被引(0)

电网扰动时矩阵变换器的电流闭环控制及稳定性分析  CNKI文献

矩阵变换器作为一种交-交直接变换电路拓扑,由于没有中间储能环节,当电网电压不平衡或非正弦时将直接影响其输出特性。以提高矩阵变换器的输出电流品质为控制目标,基于空间矢量调制技术,同时结合PI调制对输出电流进行...

谭平安 朱建林... 《电力自动化设备》 2009年02期 期刊

关键词: 矩阵变换器 / 空间矢量调制 / PI调制 / 电流闭环控制

下载(283)| 被引(9)

多靶磁控溅射镀膜设备及其特性  CNKI文献

介绍了一种多靶磁控溅射镀膜设备,阐述了镀膜室、工件台、阴极溅射靶、辅助离子源、真空系统等关键部件的设计思想。镀膜工艺结果显示,设备满足工艺要求,膜层均匀性优于±3%。

佘鹏程 陈庆广... 《电子工业专用设备》 2016年06期 期刊

关键词: 磁控溅射 / 溅射靶 / 离子源

下载(280)| 被引(0)

扫描式磁控溅射设备及工艺研究  CNKI文献

介绍了一种扫描式双腔连续生产型磁控溅射镀膜设备,通过研究不同溅射压强、溅射功率密度下金属薄膜的沉积速率以及沉膜均匀性,实验结果表明在溅射压强0.3 Pa、溅射功率密度9 W/cm~2的条件下沉积TiW薄膜的沉膜速率约41...

范江华 胡凡... 《电子工业专用设备》 2017年04期 期刊

关键词: 磁控溅射 / 薄膜 / 工艺实验 / 扫描

下载(78)| 被引(0)

基于Solid Works的斗轮机关键零部件参数化设计  CNKI文献

以斗轮机关键零部件作为研究对象,论述了参数化建模技术基本原理,对基于SolidWorks参数化设计的主要方法进行了详细介绍,并介绍了斗轮机关键零部件三维参数化设计的具体实现过程。

毛聪 周志雄... 《机械与电子》 2006年02期 期刊

关键词: SolidWorks / 参数化设计 / 斗轮机

下载(216)| 被引(7)

MC-DTC系统的无速度传感器控制算法研究  CNKI文献

对于无速度传感器的研究主要针对电动机的矢量控制系统,而应用于直接转矩控制(DTC)系统很少.本文研究基于矩阵变换器(MC)直接转矩控制系统(MC-DTC)应用无速度传感器技术以及将三者融合的技术.讨论了无速度传感器的直接...

朱建林 柳莎莎... 《传感技术学报》 2007年12期 期刊

关键词: 交流电动机 / 矩阵式变换器 / 无速度传感器 / 直接转矩控制

下载(81)| 被引(6)

高温MOCVD温度控制系统研究与设计  CNKI文献

温度控制技术是MOCVD控制系统关键技术之一,直接影响材料生长的质量。通过对温度控制系统的研究,分析了MOCVD温度控制特点,介绍了一种用于高温MOCVD设备的温度控制系统,着重讨论了温度串级控制及可变斜率控制方法在高...

林伯奇 何华云... 《工业控制计算机》 2015年06期 期刊

关键词: 高温MOCVD / 温度控制系统 / 串级控制

下载(74)| 被引(1)

太阳能电池生产线中新型等离子体刻蚀机刻蚀工艺探讨  CNKI文献

介绍了一种新型等离子体刻蚀机的使用条件,通过对各种参数变化的组合实验,得到了最佳工艺数据。利用该刻蚀机生产的电池片刻蚀效果好,刻蚀后经检测,电池片漏电流小,并联电阻大,提高了电池片的综合性能指标。

陈特超 马度·巴布... 《电子工业专用设备》 2011年06期 期刊

关键词: 等离子体 / 刻蚀 / 工艺 / 实验

下载(194)| 被引(1)

扩散炉自动上下料系统安全性设计  CNKI文献

介绍了一种用于卧式扩散炉的自动上下料系统,对自动上下料系统组成进行了介绍,着重讨论了系统的安全性问题,并对安全性提出了解决方案,该系统控制效果良好,能为电池片生产企业降低人工成本,提高生产效率,增强了设备的...

林伯奇 罗于亮... 《电子工业专用设备》 2013年07期 期刊

关键词: 自动上下料系统 / 扩散炉 / 系统安全性

下载(64)| 被引(0)

晶体硅太阳能电池生产线外围设施建设经验漫谈  CNKI文献

中国电子科技集团公司第四十八研究所是国内最早从事晶体硅太阳能电池整线交钥匙工程的单位,在国内已完成了几十家太阳能整线的建设。整线建设包括生产线设备的配置、安装,外围设施建设(厂房设计,净化间施工,水、电、...

陈特超 谢建国... 《电子工业专用设备》 2012年05期 期刊

关键词: 晶体硅 / 太阳能电池 / 整线 / 外围设施

下载(61)| 被引(0)

扩散炉反应管压力自平衡系统的设计  CNKI文献

对晶体硅太阳能电池片生产用扩散炉反应管压力平衡系统的要求及原理进行了阐述,由于反应管内气流变化对扩散效果影响很大,本系统根据实际使用经验,对工艺管内压力进行检测,在外围尾气排放不稳定的条件下,对反应管内气...

李克 郭立... 《电子工业专用设备》 2012年07期 期刊

关键词: 扩散 / 反应管压力自平衡 / 尾气控制

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