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干式真空泵的原理、特征及其应用  CNKI文献

本文介绍了干式真空泵的抽气原理、定义和特点及其应用 ,最后简述了干式泵抽除颗粒物质的措施和方法。

杨乃恒 《真空》 2000年03期 期刊

关键词: 干式真空泵

下载(1564)| 被引(73)

分子泵的世纪回顾与展望  CNKI文献

分子泵自 1912年诞生以来 ,至今已快近一个世纪了。它在初期进展较缓慢 ,在 1970年以前 ,分子泵的应用还仅限于核物理、电真空、表面科学等领域。但近 2 0年来由于半导体产业的兴起和薄膜工业的发展 ,分子泵才被人们所...

杨乃恒 巴德纯... 《真空》 2001年02期 期刊

关键词: 分子泵 / 牵引分子泵 / 涡轮分子泵 / 复合分子泵

下载(715)| 被引(35)

真空冶金技术的现状与发展  CNKI文献

为使从事真空冶金技术人员对国内外真空冶金技术的现状和发展有较全面的了解,综述性详细回顾了真空冶金技术的历史及发展过程,对真空冶金进行了详细分类,对各类常用真空冶炼方法进行了系统论述,介绍了国内外发展情...

杨乃恒 《真空与低温》 2001年01期 期刊

关键词: 真空冶炼 / 工艺分类 / 工业应用

下载(802)| 被引(24)

扩散泵的世纪回顾与发展  CNKI文献

本文叙述了盖得的发明专利,从初期的汞扩散泵到分馏油扩散泵的演变过程。讨论了泵体结构、喷咀型式、泵油性能和几个关键技术问题。现代油扩散泵的何氏系数达0.65以上,返油率达10-5 mg/cm2.min,1 kW功率抽气量可达200...

杨乃恒 巴德纯... 《真空》 2008年01期 期刊

关键词: 扩散泵 / 何氏系数 / 气流量

下载(353)| 被引(13)

如何选择和使用涡轮分子泵  CNKI文献

本文首先介绍了涡轮分子泵的工作原理,结构型式及其优缺点。为了利用涡轮分子泵,获得清洁真空,国外多利用干式机械泵作其前级泵,构成无油的真空系统。然而,目前国内涡轮分子泵多以油封机械泵为其前级泵,构成了有油真空...

杨乃恒 巴德纯... 《真空》 2010年02期 期刊

关键词: 涡轮分子泵 / 返流 / 充气

下载(573)| 被引(5)

真空获得设备的发展现状与展望  CNKI文献

本文针对国外的一些真空厂家近期出产的一些真空泵的主要性能和结构特点进行一些分析和介绍,并对我国今后在真空泵方面的发展提出些粗浅看法,以供参考。

杨乃恒 《真空》 1999年02期 期刊

关键词: 真空泵 / 旋片泵 / 真空应用 / 极限压力

下载(438)| 被引(20)

现代涡轮分子泵的技术现状与展望  CNKI文献

本文介绍了涡轮分子泵的优点及普及的原因,讨论了泵轴承系统的改善,泵的工作寿命与可靠性的提高以及宽域型复合分子泵的开发,还给出了极高真空的获得方法和泵快速抽气的措施。

杨乃恒 《真空》 1996年02期 期刊

关键词: 涡轮分子泵 / 控制型 / 轴承系统 / 低温泵

下载(327)| 被引(16)

冶金用真空电弧炉真空系统的评述  CNKI文献

本文综述了真空电弧炉的发展概况,介绍了炉子的结构与应用,分析了炉子真空系统的气源、漏率、运转与维护,给出了实验室及生产车间真空电弧炉真空系统的分布等。(1 Torr=133 Pa)

杨乃恒 《真空》 2014年04期 期刊

关键词: 真空电弧 / 熔炼金属 / 真空系统 / 漏率

下载(206)| 被引(2)

多室镀膜机的结构特点与工业应用  CNKI文献

首先介绍镀膜技术的分类、软硬衬底涂层设备的结构特点及多室系统、现代卷绕镀膜机单室、双室及三室的真空设计,其次介绍直线式与集束式多室镀膜机的结构特点,最后叙述大型真空镀膜设备工业应用及进展情况。(1 Torr=1...

杨乃恒 巴德纯... 《真空》 2013年01期 期刊

关键词: 多室 / 直线式与集束式系统 / 大型镀膜设备 / 真空系统设计

下载(214)| 被引(2)

钢液炉外精炼设备真空系统的设计分析  CNKI文献

本文综合一些国内外有关资料,讨论了钢液炉外精炼设备真空系统设计中的一些技术问题,对放气量的确定、真空系统的气体负荷的等效换算以及真空泵容量的选择和能源消耗等进行了分析。给出蒸汽喷射泵的抽气能力与真空度的...

杨乃恒 巴德纯... 《真空》 2007年04期 期刊

关键词: 炉外精炼 / 真空系统 / 真空泵

下载(390)| 被引(4)

有害气体的抽除与清洁真空的获得  CNKI文献

主要介绍了几种工艺条件下使用的干式真空系统对有害气体的抽除和清洁真空的获得方法

杨乃恒 巴德纯... 《真空》 2004年04期 期刊

关键词: 有害气体 / 清洁真空 / 真空获得

下载(185)| 被引(8)

一种水喷射泵的简易计算方法  CNKI文献

本文详细地介绍了水喷射泵性能试验装置的系统图。在试验的基础上综合出水喷射泵的一种简易的计算方法,最后给出计算实例,可用以选出最佳的设计方案。

杨乃恒 《真空》 2014年02期 期刊

关键词: 水喷射泵 / 计算方法 / 压力 / 流量

下载(203)| 被引(2)

电炉真空系统的设计与计算(一)  CNKI文献

为了满足目前一些读者的需要,我们较系统地介绍了前苏联这方面的有关资料。内容有电炉真空系统计算的理论基础与计算方法及有关数据,最后给出真空感应炉、真空电阻炉、真空电弧炉和电子轰击炉真空系统的计算实例。这些...

杨乃恒 巴德纯... 《真空》 2009年02期 期刊

关键词: 电炉 / 真空系统 / 设计

下载(364)| 被引(2)

关于涡轮分子泵的安全使用问题  CNKI文献

本文叙述了关于涡轮分子泵安全使用的一些技术问题。首先对涡轮分子泵的构造特点作了介绍,其次对涡轮分子泵的故障类型、损坏原因,进行了分析。最后从设计和使用上的安全对策进行了讨论,以便更好的使用涡轮分子泵。

杨乃恒 《真空》 2008年04期 期刊

关键词: 安全使用 / 故障分析 / 安全对策

下载(262)| 被引(3)

对油封机械泵一些主要性能的分析  CNKI文献

该文介绍了油封机械泵的抽速与入口压力的关系、泵抽气效率下降的原因,指出泵入口管道的流导和油蒸汽逆流是造成泵抽速下降的主要原因。其次,还对油封机械泵的消耗功率与入口压力的关系进行了分析,指出最大功率时所对...

杨乃恒 《真空》 2005年05期 期刊

关键词: 抽气效率 / 消耗功率 / 绝热压缩 / 等温压缩

下载(158)| 被引(5)

电炉真空系统的设计与计算(二)  CNKI文献

为了满足目前一些读者的需要,我们较系统地介绍了前苏联这方面的有关资料(文中保留原使用单位Torr,1Torr=133Pa)。内容有电炉真空系统计算的理论基础与计算方法及有关数据,最后给出真空感应炉、真空电阻炉、真空电弧炉...

杨乃恒 巴德纯... 《真空》 2009年03期 期刊

关键词: 电炉 / 真空系统 / 设计

下载(354)| 被引(0)

前苏联高真空扩散泵统一系列工作的回顾  CNKI文献

详细地介绍了前苏联1953年由国家制订的高真空油扩散泵工业产品的统一系列。该系列包括五种规格,在入口压力为1×10-4~1×10-5Torr(1 Torr=133Pa,下同)范围内,对空气的抽速为100~8000L/s,用Д-1A号泵油获极限...

杨乃恒 《真空》 2007年01期 期刊

关键词: 高真空 / 油扩散泵 / 增压泵

下载(94)| 被引(5)

可凝性气体抽除的一些措施  CNKI文献

本文详细叙述了抽除可凝性气体时所利用的两种抽气设备,即气镇泵与冷凝器。首先介绍了可凝性气体的形成、饱和状态、汽化与凝结。讨论了油封机械泵抽除可凝性气体对泵性能所造成的不良影响及其防止的措施,通常有如下两...

杨乃恒 巴德纯... 《真空》 2011年04期 期刊

关键词: 可凝性气体 / 气镇泵 / 冷凝器 / 汽化与凝结

下载(110)| 被引(0)

建筑玻璃真空蒸镀薄膜厚度的理论计算  CNKI文献

本文对建筑玻璃大面积多蒸发源真空蒸镀的膜厚均匀性进行了理论分析,给出了膜厚及其分布的计算公式和计算实例.对如何提高薄膜的均匀性进行了讨论.

杨乃恒 杨志强 《真空》 1993年05期 期刊

关键词: 建筑玻璃 / 真空蒸镀 / 膜厚

下载(76)| 被引(9)

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