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锰铜薄膜超高压力传感器研究  CNKI文献

锰铜计是一种特种传感器,主要用于测量冲击波产生的超高压力。其量程上限可达50GPa,是现有传感器中最高的。为满足国防工程的特殊需要,须进一步提高传感器的量程上限及缩短传感器的响应时间。本文通过传感器的结构...

杜晓松 导师:杨邦朝 电子科技大学 2002-04-01 博士论文

关键词: 锰铜计 / 薄膜 / 超高压力测试 / 氧化铝封装

下载(715)| 被引(12)

MEMS微型气体富集器的研究进展  CNKI文献

气体富集器是为了改善分析仪器的探测极限而设置在探头之前的一个采样和富集装置,采用MEMS技术制作的微型气体富集器与传统的富集器相比,由于热容量小,因而能在更小的功耗下获得更快的升温速率,从而显著地提高富集效率...

杜晓松 肖华... 《电子科技大学学报》 2009年05期 期刊

关键词: 富集率 / 气体传感器 / 微机电系统 / 富集器

下载(262)| 被引(10)

外延薄膜X射线表征方法的新进展  CNKI文献

对X射线倒易空间图技术(RSM)及X射线反射技术(XRR)的原理及其在外延薄膜表征方面的应用进行了介绍。RSM主要用于表征外延薄膜的应变、弛豫、马赛克缺陷、倾斜等微观缺陷,因为这些缺陷在倒空间中按不同的方向展宽。而 ...

杜晓松 杨邦朝 《功能材料》 2005年01期 期刊

关键词:  倒易空间图 / X射线反射谱 / 外延薄膜

下载(552)| 被引(11)

PVDF冲击压力传感器的制备和应用  CNKI文献

PVDF(聚偏氟乙烯)及其共聚物压电计具有响应快、灵敏度高、测压范围宽等特点,是一种理想的冲击压力传感器。用它制作超高压力传感器的关键是必须解决传感器的一致性问题。本文对近年来国内外在此方面的工作进行...

杜晓松 杨邦朝... 《功能材料》 2002年01期 期刊

关键词: 聚偏氟乙烯及其共聚物 / 压电计 / 冲击波 / 一致性

下载(343)| 被引(21)

芯片尺寸封装技术  CNKI文献

芯片尺寸封装 (CSP)技术是近年来发展最为迅速的微电子封装新技术。文中介绍了该技术的基本概念、特点、主要类型及其应用现状和展望。

杜晓松 杨邦朝 《微电子学》 2000年06期 期刊

关键词: 芯片尺寸封装 / 电子封装技术 / 微电子

下载(272)| 被引(21)

薄膜式锰铜传感器——一种新型的超高压力传感器  CNKI文献

文中综述了动态高压锰铜传感器最近十多年来的研究现状,着重介绍了一类新型的锰铜传感器———薄膜式锰铜传感器的研发进展。该类传感器的研制旨在提高传感器高压测试极限和缩短响应时间。目前已进行了直到80GPa以下的...

杜晓松 杨邦朝... 《仪表技术与传感器》 2000年01期 期刊

关键词: 锰铜压力计 / 超高压力测量 / 响应时间 / 薄膜

下载(258)| 被引(17)

氧化铬外延薄膜的x射线研究  CNKI文献

采用分子束外延技术 (MBE)在MgO(0 0 1)基板上沉积了氧化铬薄膜 ,并利用x射线衍射 (XRD)和x射线反射谱(XRR)对薄膜的晶体结构进行了表征 .θ— 2θ扫描和倒易空间图 (RSM)揭示出薄膜为单相c轴外延生长 ,晶体结构为体心...

杜晓松 S... 《物理学报》 2004年10期 期刊

关键词: 一氧化铬薄膜 / x射线衍射 / 倒易空间图 / x射线反射谱

下载(182)| 被引(8)

退火对氧化锌薄膜结晶性能的影响  CNKI文献

采用射频磁控溅射法在(001)硅片上制备了ZnO薄膜,利用X射线衍射对薄膜的制备工艺进行了研究,结果表明,基板温度、溅射功率、氩氧比、总气压在一个较大的范围内变化时都可实现薄膜的c轴择优取向生长。随后对薄膜进行了...

杜晓松 曾雄... 《功能材料》 2008年05期 期刊

关键词: ZnO薄膜 / 退火 / 摇摆曲线 / X射线衍射

下载(382)| 被引(5)

高灵敏Love波传感器及其关键材料  CNKI文献

Love波传感器是声表面波传感器的一种,其灵敏度最高。对Love波生物、化学传感器的研究现状进行了综述,着重分析了波导材料及其厚度、基板材料及其切向对传感器的灵敏度及温度稳定性的影响关系。指出采用高频谐振型的器...

杜晓松 蒋亚东... 《功能材料》 2007年12期 期刊

关键词: Love波传感器 / 波导 / 基板切向 / 灵敏度

下载(156)| 被引(5)

离轴溅射法中最佳几何参量的预测  CNKI文献

为提高磁控溅射薄膜的厚度均匀性,采用理论计算的方法分析了离轴溅射薄膜的厚度分布,结果表明最佳偏心距及对应的有效薄膜尺寸都与靶基距呈线性增大的关系。溅射原子的角分布、溅射环的宽度以及膜厚均匀性要求都会影响...

杜晓松 李杰... 《真空》 2007年03期 期刊

关键词: 膜厚均匀性 / 离轴溅射 / 普适公式 / 预测

下载(90)| 被引(7)

快响应薄膜式高压锰铜传感器  CNKI文献

本文采用磁控溅射技术制作了新型的薄膜式锰铜超高压力传感器 ,获得了 32 ns的快速响应 ,同时 ,研究了传感器的安装方式及绝缘封装层的厚度对传感器响应时间的影响关系

杜晓松 杨邦朝... 《仪器仪表学报》 2001年01期 期刊

关键词: 锰铜传感器 / 薄膜 / 响应时间

下载(91)| 被引(10)

网络监控技术与IT技术的融合及发展  CNKI文献

“十一五”期间,我国的经济建设将保持快速发展,加上“国家应急体系”、“平安城市”建设、“科技强警”、“3111”工程等重大项目工程在全国展开,以及“奥运会”、“世博会”等重要国际活动在中国的举办,给国内安防产...

杜晓松 《中国公共安全(综合版)》 2007年Z1期 期刊

关键词: 网络监控技术 / 第三代 / 监控系统 / 安防行业

下载(98)| 被引(3)

冷水游泳训练对糖尿病大鼠外周神经功能及结构的影响  CNKI文献

目的:糖尿病外周神经病变发病率极高,严重影响患者的生活质量,因无有效的治疗方案,也是医疗中的难题。目前认为游泳运动(水温35℃)不但可以预防糖尿病大鼠神经病变的发生,而且对己发生的糖尿病周围神经病变能起到治疗...

杜晓松 导师:齐素萍 大连医科大学 2011-04-01 硕士论文

关键词: 冷水 / 游泳训练 / 糖尿病外周神经 / 尾神经传导速度

下载(41)| 被引(0)

同步辐射光刻的X射线反射谱表征  CNKI文献

采用X射线反射(XRR)谱对同步辐射导致的氧化物薄膜的刻蚀进行了在位测试,结果表明波长为0.154nm的单色X光在室温下可对MgO和Cr2O3产生轻微的刻蚀。与文献中大量报道的同步辐射X射线光刻及烧蚀不同,这是单色X射线光刻的...

杜晓松 Hak S... 《电子显微学报》 2006年05期 期刊

关键词: 同步辐射 / 光刻 / X射线反射谱

下载(118)| 被引(0)

锰铜薄膜超高压力传感器研究  CNKI文献

锰铜计是一种特种传感器,主要用于测量冲击波产生的超高压力。其量程上限可达50GPa,是现有传感器中最高的。为满足国防工程的特殊需要,须进一步提高传感器的量程上限及缩短传感器的响应时间。笔者通过传感器的结构设计...

杜晓松 《电子元件与材料》 2003年01期 期刊

关键词: 锰铜计 / 薄膜 / 超高压力测试 / 氧化铝封装

下载(168)| 被引(2)

薄膜式锰铜传感器的超高压力标定  CNKI文献

为拓展锰铜传感器的高压测试上限 ,本文采用薄膜技术研制了一种新型的锰铜传感器。该传感器采用氧化铝封装 ,后置式结构 ,两步薄膜工艺制作。利用二级轻气炮进行了 40~ 10 7GPa的冲击高压加载 ,试验波形呈现出一理想...

杜晓松 郝建德... 《仪器仪表学报》 2001年S1期 期刊

关键词: 锰铜传感器 / 薄膜 / 标定 / 超高压力测试

下载(120)| 被引(3)

锰铜精密电阻薄膜的制备工艺研究  CNKI文献

采用溅射技术 ,对薄膜沉积的相关工艺参数进行了优化 ,获得了电阻温度系数 TCR≤± 10× 10 - 6 /℃的锰铜薄膜。该项技术为锰铜传感器的薄膜化奠定了基础 ,同时也可用于制作锰铜薄膜精密电阻器

杜晓松 杨邦朝... 《仪器仪表学报》 2002年S1期 期刊

关键词: 锰铜 / 薄膜 / 电阻温度系数 / 溅射

下载(104)| 被引(3)

镱薄膜高压传感器的准静态压阻特性研究  CNKI文献

采用真空蒸发技术在聚酰亚胺、云母、陶瓷等基板上制作了镱薄膜传感器 ,研究了该传感器在 70MPa~ 2GPa范围内准静态单轴压缩载荷下电阻—压力的变化关系。结果表明该传感器精度高、重复性好、工艺简单

杜晓松 杨邦朝... 《仪表技术与传感器》 2000年09期 期刊

关键词: 镱传感器 / 薄膜 / 压阻系数 / 准静态压缩

下载(59)| 被引(4)

热处理对金属薄膜压阻灵敏度的影响  CNKI文献

采用磁控溅射法制备锰铜薄膜,溅射和真空蒸发法制备镱薄膜。对热处理前后薄膜的电学性能、微观形貌和结构进行了表征,并采用轻气炮和对顶砧装置对薄膜传感器进行了压阻性能测试,结果表明热处理后薄膜的压阻系数有很大...

杜晓松 杨邦朝... 《功能材料》 2006年09期 期刊

关键词: 压阻系数 / 锰铜 / / 薄膜

下载(99)| 被引(0)

高温超导多芯片组件  CNKI文献

超导多芯片组件被誉为继高温超导之后 ,超导研究最大的技术革命。采用超导材料作互连线 ,是解决芯片间互连瓶颈的有效技术途径。它可保证电子系统进一步高速化、小型化和宽带化。本文阐述了高温超导 MCM的研究现状、存...

杜晓松 杨邦朝 《电子元件与材料》 2000年02期 期刊

关键词: 多芯片组件 / 高温超导 / 互连

下载(50)| 被引(2)

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