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降低高阻硅探测器漏电流的方法研究  CNKI文献

高阻硅探测器的漏电流是噪声的主要来源,它直接影响能量 分辨率好坏和灵敏度高低,是探测器的重要参数之一。如何把漏 电流减少到最低限度,从而获得高质量的探测器,是目前国内外 正...

施志贵 导师:贾焕义 中国工程物理研究院北京研究生部 2000-01-18 硕士论文

关键词: 漏电流 / PIN探测器 / 保护环

下载(385)| 被引(5)

薄片PIN探测器及其阵列的灵敏度和上升时间测定  CNKI文献

利用CΓC67实验装置测量了薄片PIN探测器及其二元和三元阵列的低能g射线灵敏度和上升时间。实验证实,三元阵列灵敏度比单个探测器提高到近3倍,但上升时间也随之增大到近2倍。

施志贵 武蕊... 《信息与电子工程》 2004年01期 期刊

关键词: 电子技术 / 灵敏度 / 上升时间 / PIN探测器

下载(94)| 被引(6)

金-硅共晶键合技术及其应用  CNKI文献

采用金属过渡层来实现硅-硅低温键合,首先介绍了选择钛金作为金属过渡层的原因和金硅共晶键合的基本原理,然后探索了不同键合面积和不同金层厚度对金硅共晶键合质量的影响规律,开展了图形化的硅晶圆和硅盖板之间的低温...

陈颖慧 施志贵... 《纳米技术与精密工程》 2015年01期 期刊

关键词: 圆片级封装 / 键合 / 共晶 / 低温

下载(383)| 被引(11)

不同键合温度对低温硅-硅共晶键合的影响  CNKI文献

选取Ti/Au作为金属过渡层来实现低温硅-硅共晶键合。首先介绍了共晶键合的基本原理,分析了选择金-硅共晶键合的原因,设计了单面溅金、双面溅金以及不同温度下的硅-硅共晶键合实验。采用超声波显微镜对键合样品内部空洞...

陈颖慧 施志贵... 《微纳电子技术》 2013年09期 期刊

关键词: 键合 / 共晶 / 低温 / 超声波显微镜

下载(287)| 被引(9)

MEMS THz滤波器的制作工艺  CNKI文献

基于MEMS技术制作了太赫兹(THz)滤波器样品,研究了制作滤波器的工艺流程方案,其关键工艺技术包括硅深槽刻蚀技术、深槽结构的表面金属化技术、阳极键合和金-硅共晶键合技术。采用4μm的热氧化硅层作刻蚀掩膜,成功完成...

郑英彬 施志贵... 《微纳电子技术》 2011年06期 期刊

关键词: 微电子机械系统(MEMS) / 滤波器 / 太赫兹(THz) / 干法刻蚀

下载(332)| 被引(15)

硅集成爆炸箔组件起爆HNS-IV试验研究  CNKI文献

基于MEMS加工技术,设计制造了一种以硅为基底的集成爆炸箔组件。利用该爆炸箔组件,进行了起爆HNS-IV炸药的试验研究。结果表明,设计制造的爆炸箔组件参数合理,在3.5kA电流条件下可以起爆HNS-IV炸药。

郭菲 施志贵... 《火工品》 2009年06期 期刊

关键词: MEMS / 冲击片雷管 / 爆炸箔组件 / 起爆

下载(54)| 被引(7)

金属电极的腐蚀特性研究  CNKI文献

对金属电极的腐蚀特性进行了研究。实验中设计了多种不同的金属电极,通过改变电极材料、电极厚度、电极层数、腐蚀液成分及温度等条件,研究了金属电极的腐蚀特性。通过研究发现,电极的腐蚀特性跟电极材料、电极厚度、...

张照云 施志贵... 《传感技术学报》 2012年03期 期刊

关键词: 微机械系统 / SOIMEMS / 湿法腐蚀 / 金属电极

下载(244)| 被引(2)

高性能微惯性器件单片集成技术  CNKI文献

讨论了高性能微惯性器件单片集成技术。首先对单片集成MEMS技术的优势及面临的困难进行了讨论,并对目前主流的单片集成MEMS技术特点、工艺流程进行了介绍,最后,给出高性能微惯性器件单片集成技术的未来发展趋势。

张照云 施志贵... 《太赫兹科学与电子信息学报》 2014年04期 期刊

关键词: 微机电系统 / 单片集成 / 微惯性器件 / 表面微机械加工

下载(77)| 被引(1)

场发射冷阴极微栅孔阵列制备技术  CNKI文献

实现了一种采用聚苯乙烯纳米球自组装技术和微机械制造技术加工的场发射阴极用亚微米栅极微孔阵列。设计了一套完整的工艺实验方案,首先采用微球自组装技术获得了亚微米级金属网孔掩膜,然后通过反应离子刻蚀技术获得了...

赵兴海 施志贵... 《强激光与粒子束》 2013年06期 期刊

关键词: 微机电系统 / 自组装 / 微孔阵列 / 场发射冷阴极

下载(80)| 被引(1)

静电刚度式谐振微加速度传感器的结构稳定性  CNKI文献

为了研究静电刚度式谐振微加速度传感器结构稳定的判据和影响其稳定性的因素,根据静电刚度式谐振微加速度传感器的结构原理,分析了传感器中质量块与音叉梁的运动和受力特点,建立了传感器中质量块与音叉梁在加速度作用...

张凤田 施志贵... 《微纳电子技术》 2010年12期 期刊

关键词: 微电子机械系统(MEMS) / 静电刚度 / 谐振 / 加速度传感器

下载(75)| 被引(1)

太赫兹折叠波导慢波结构的设计与微加工(英文)  CNKI文献

从行波管工作的物理特性提出了一种获得折叠波导慢波结构参数的简单方法,给定工作频率和电压,能够获得折叠波导慢波结构的初始参数.设计了D波段的折叠波导结构来验证该方法,对其冷测特性如色散、耦合阻抗进行了分析.仿...

王亚军 陈樟... 《红外与毫米波学报》 2014年01期 期刊

关键词: 行波管 / 折叠波导 / 仿真 / UV-LIGA

下载(92)| 被引(5)

AlN压电薄膜的制备工艺  CNKI文献

采用射频反应磁控溅射法制备了AlN压电薄膜,并分析了制备条件对AlN薄膜性能的影响。为了确定c轴择优取向生长AlN薄膜的制备工艺参数,设计了关于溅射功率、衬底温度、氮氩体积比和气氛压强这四个参数的工艺实验,研究了...

陈颖慧 王旭光... 《微纳电子技术》 2013年08期 期刊

关键词: AlN薄膜 / 射频反应磁控溅射 / c轴择优取向 / X射线衍射(XRD)

下载(285)| 被引(4)

半导体桥点火装置的研制及其应用  CNKI文献

1 引言80年代中期出现了一种用来点燃各种含能材料的新型桥式点火装置—半导体桥点火装置(Semiconductor Bridge(SCB)igniter)。它的作用元件是一薄层半导体膜,其作用过程是:来自储能系统的电流脉冲流经半导体桥使其加...

费三国 文贵印... 中国惯性技术学会光电技术专业委员会第五次学术交流会暨重庆... 2002-11-01 中国会议

关键词: 半导体桥 / 点火装置 / SCB / 传爆药柱

下载(80)| 被引(1)

硅MEMS器件键合强度在线检测方法  CNKI文献

键合强度是MEMS器件研制中一个重要的工艺质量参数,键合强度检测对器件的可靠性具有十分重要的作用。为了获得MEMS器件制造工艺中的键合强度,提出了一种键合强度在线检测方法,并基于MEMS叉指式器件工艺介绍了一种新型...

李仁锋 马凯... 《微纳电子技术》 2009年12期 期刊

关键词: 微电子机械系统 / 阳极键合 / 键合强度 / 微结构

下载(213)| 被引(5)

硅集成冲击片雷管的研制  CNKI文献

介绍了一种利用硅MEMS工艺集成制造冲击片雷管的方法。首先在标准硅片上依次沉积二氧化硅、多晶硅(重掺杂)和铝,经过光刻刻蚀后形成桥单元,接下来采用阳极键合工艺在桥上粘接玻璃片,然后采用深反应离子刻蚀工艺在桥下...

施志贵 杨芳 中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一) 2005-08-01 中国会议

关键词: 集成 / 多晶硅 / 飞片 / 阳极键合

下载(100)| 被引(1)

准LIGA微加速度开关的研制  CNKI文献

阐述了一种主要由质量块、折叠梁结构、触点电极和自锁 /解锁机构组成的微型加速度开关的研制过程。设计过程中采用有限元软件Ansys进行结构模拟计算 ,确定了合适的结构参数 ;以硼硅玻璃为基底 ,采用准LIGA和牺牲层技...

陈光焱 何晓平... 《微纳电子技术》 2003年Z1期 期刊

关键词: 加速度开关 / 准LIGA / 牺牲层 / Ansys

下载(156)| 被引(19)

圆片级封装中硅帽的设计和加工  CNKI文献

为了提高微电子机械系统(MEMS)器件的成品率和集成度,介绍了一种应用于圆片级封装的硅帽结构。重点介绍了该硅帽结构的设计和加工方法。分析了圆片级封装(WLP)采用侧引线和通孔引线两种方式的优缺点。完成了上大下小的...

陈颖慧 张慧... 《微纳电子技术》 2015年10期 期刊

220 GHz折叠波导慢波结构(英文)  CNKI文献

优化设计了一种220GHz的折叠波导慢波结构的尺寸,对其冷测特性如色散、耦合阻抗和衰减进行了分析。理论分析和软件仿真结果表明设计的折叠波导慢波结构在中心频率处具有较平缓的色散关系,较高的耦合阻抗和较低的电路衰...

王亚军 陈樟... 《强激光与粒子束》 2011年06期 期刊

关键词: 冷测特性 / 折叠波导 / 仿真 / THz辐射

下载(109)| 被引(5)

保护环结构高阻硅探测器  CNKI文献

定性分析了高阻硅探测器表面漏电流的产生,同时介绍了一种有效降低漏电流的方法,即保护环结构。结果表明:保护环结构使探测器的漏电流降低了0.5-1个量级。

施志贵 第十届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集 2000-09-01 中国会议

关键词: 漏电流 / 高阻硅探测器 / 保护环

下载(61)| 被引(0)

减小交叉耦合的三维微加速度计的设计  CNKI文献

介绍了一种减小交叉耦合的三维微加速度计的设计,该设计采用全差分电容式结构,X轴和Y轴采用梳齿电容式加速度计,Z轴采用扭摆电容式加速度计,三个轴向各自具有不同的敏感质量块,能够有效减小交叉耦合度。通过公式计算得...

陈颖慧 唐彬... 《微纳电子技术》 2013年02期 期刊

关键词: 微电子机械系统 / 三维微加速度计 / 差分电容 / 交叉耦合度

下载(119)| 被引(2)

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