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微型光机电系统  CNKI文献

1引言微型电子机械系统(MEMS)是在半导体集成电路加工技术迅速发展的同时,发展起来的新兴技术领域,它将在工业、农业、信息、通信、医疗、环境、国防等领域有着广泛的应用前景。

叶雄英 福田敏男... 信息科学与微电子技术:中国科协第三届青年学术年会论文集 1998-08-20 中国会议

关键词: MOEMS / MEMS / Micromachined / display

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微型光机电系统  CNKI文献

微型电子机械系统(MEMS)与光器件融合于一体的微型光机电系统(MOEMS)成为MEMS研究的一个重要方向,它将会给光器件的发展带来新的飞跃,而光系统因无需力的输出,正是MEMS的一个理想的应用领域。...

叶雄英 周兆英... 《仪表技术与传感器》 1998年10期 期刊

关键词: 微型电子机械系统 / 光学平台 / 可变波长光学器件 / 光开关

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