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现代涡轮分子泵的进展  CNKI文献

本文叙述了涡轮分子泵近期迅速发展的原因,涡轮分子泵采用的轴承型式的演变过程,宽域型复合分子泵的开发与磁悬浮轴承在涡轮分子泵上的应用。

巴德纯 王晓冬... 《真空》 2010年04期 期刊

关键词: 涡轮分子泵 / 磁悬浮轴承 / 轴承分类 / 宽域复合分子泵

下载(643)| 被引(21)

硫化钨薄膜制备方法的研究  CNKI文献

层状物固体润滑薄膜是固体润滑薄膜中最常用的形式,这种薄膜都具有优良的减摩、耐磨、抗擦伤性能。本文介绍了目前主要的硫化钨薄膜的制备方法,并通过射频溅射方法和硫化法制备了硫化钨薄膜,对各种制备方法进行了对比...

巴德纯 杜广煜... 《真空科学与技术学报》 2009年01期 期刊

关键词: 二硫化钨 / 制备方法 / 磁控溅射 / 射频溅射

下载(701)| 被引(18)

磁控溅射TiO_2膜的真空度对薄膜亲水性影响的实验研究  CNKI文献

采用反应溅射技术可以制备出具有亲水作用的TiO2薄膜。这种TiO2薄膜断面呈现柱状晶体结构。薄膜表面出现不规则起伏。薄膜的晶相主体均为锐钛矿型。TiO2薄膜的光透射谱变化不大。这种TiO2薄膜经紫外光辐照后,可以降低...

巴德纯 常学森... 《真空科学与技术学报》 2007年02期 期刊

关键词: TiO2薄膜 / 亲水特性 / 反应溅射 / 真空度

下载(234)| 被引(9)

Mn或Cu掺杂非晶AlN薄膜的光致发光特性  CNKI文献

研究了Mn或Cu掺杂的非晶AlN薄膜在室温下的发光性质。Cu或Mn掺杂的非晶AlN薄膜是在玻璃衬底上采用中频反应磁控溅射制备的。X射线衍射(XRD)结果表明薄膜为非晶。由X射线能谱(EDX)检测分析结果得到薄膜中Cu和Al含量比例...

巴德纯 佟洪波... 《真空科学与技术学报》 2007年06期 期刊

关键词: 氮化铝 / 中频反应溅射 / 掺杂 / 光致发光

下载(242)| 被引(6)

现代分子泵理论研究与进展  CNKI文献

本文根据分泵的发展过程,重点对分子泵在分子流和过渡流态下的理论计算方法进行了系统的评价和讨论。并对当前分子泵的理论研究提出了建议。

巴德纯 杨乃恒 《真空》 1998年02期 期刊

关键词: 分子泵 / 理论 / 研究

下载(299)| 被引(11)

涡旋干式真空泵结构对抽气性能的影响  CNKI文献

本文主要讨论了涡旋干式真空泵抽气通道和密封的结构型式对抽气性能的影响,并提出了最佳的设计方案。

巴德纯 杨乃恒... 《真空》 1999年01期 期刊

关键词: 涡旋 / 真空泵 / 抽气性能

下载(235)| 被引(13)

盘型分子泵3D过渡流特性  CNKI文献

采用直接模拟蒙特卡罗方法对过渡流态下盘型分子泵的抽气特性进行了模拟研究 ,并讨论了盘型分子泵通道几何参数对流动特性的影响。指出了通过改变泵的尺寸参数提高抽气系数的途径。最后 ,进行了实验研究和模拟研究结果...

巴德纯 刘波... 《真空科学与技术学报》 2004年01期 期刊

关键词: 盘型分子泵 / 过渡流 / 抽气系数 / 实验

下载(124)| 被引(7)

涡旋式无油真空泵抽气机理的研究  CNKI文献

本文从涡旋式无油真空泵涡旋体型线的基本几何理论入手,对涡旋式无油泵的抽气机理进行了深入研究,在此基础上建立了涡旋式无油真空泵的主要性能参数的计算公式,并给出了涡旋式无油泵的计算实例,为涡旋式无油泵的设...

巴德纯 许寿华... 《真空》 1998年03期 期刊

关键词: 涡旋式 / 无油真空泵 / 抽气机理

下载(204)| 被引(8)

中频反应磁控溅射制备Al_2O_3:Ce~(3+)薄膜的蓝色发光特性  CNKI文献

本文用中频反应磁控溅射技术制备了Al2O3∶Ce3+的非晶薄膜。这些薄膜的光致发光峰是在370 nm到405 nm范围内,它们来自于Ce3+的5d1激发态向基态4f1的两个劈裂能级的跃迁。发光强度强烈的依赖于薄膜中的掺杂浓度和沉积时...

巴德纯 廖国进... 《真空科学与技术学报》 2006年05期 期刊

关键词: 光致发光 / Al2O3 / 薄膜 / Ce

下载(98)| 被引(5)

涡旋式无油真空泵动力学研究  CNKI文献

本文分别对各运动部件进行了受力分析,求出了切向气体力;对运动部件采取动、静平衡措施消除了振动和噪音。为以后的零部件优化设计提供理论依据。

巴德纯 李树军... 《真空》 1998年04期 期刊

关键词: 涡旋式 / 无油真空泵 / 动力学

下载(133)| 被引(6)

分子泵中螺旋通道在过渡流和滑流态抽气特性的研究  CNKI文献

螺旋通道过渡流和滑流状态下抽气特性的理论是分子泵研究的最重要的课题之一。在这篇文章中,介绍了一种螺旋槽移动的计算抽气特性的理论模型。根据这一模型,可以模拟分子泵在过渡流和滑流工作条件下的抽气性能。这一...

巴德纯 杨乃恒... 《真空》 1995年01期 期刊

关键词: 分子泵 / 过渡流 / 滑流 / 抽气

下载(115)| 被引(5)

盘型分子泵3D流动的数学模型  CNKI文献

在这篇论文中,一个能计算分子泵3D流动的数学模型被建立了。这个模型可以模拟在分子泵抽气通道内的气体分子速度与压力的分布。

巴德纯 杨乃恒... 《真空》 1998年05期 期刊

关键词: 分子泵 / 流动 / 模拟

下载(111)| 被引(5)

两种螺旋通道结构牵引分子泵的性能比较  CNKI文献

这篇文章主要介绍了计算两种牵引分子泵抽气特性的理论模型。利用模型可以模拟牵引分子泵在过渡流和滑流工作条件下的抽气性能。

巴德纯 杨乃恒... 《真空》 1995年03期 期刊

关键词: 分子泵 / 过渡流 / 研究

下载(114)| 被引(3)

著名教授专家访谈录——访东北大学巴德纯教授  CNKI文献

谈及到纳米与真空技术的发展方向 ,特别是对分子气体动力学、干式真空泵、真空冶金的发展等问题提出了新的观点

巴德纯 陆国柱 《真空》 2002年06期 期刊

关键词: 纳米技术 / 真空 / 真空冶金 / 干泵

下载(89)| 被引(0)

矩形螺旋槽真空动密封研究  CNKI文献

螺旋槽真空动密封是近年来国际上真空密封研究课题之一。它的主要优点是密封偶 件之间无接触;功耗少;结构简单,在高温、高速、深冷、腐蚀以及超细微粉和带有颗粒的液体等苛刻的真空条件下能正常工作,因此这种真空...

巴德纯 杨乃恒... 《真空》 1989年01期 期刊

关键词: 真空密封 / 螺旋密封

下载(100)| 被引(0)

医用316L不锈钢表面改性研究及发展  CNKI文献

316L不锈钢因其优良的性能和低廉的价格广泛应用于临床及医疗领域。通过分析医用316L不锈钢目前存在的主要问题及发展状况,对医用316L不锈钢近年来表面改性的新方法和新成果进行了较为详细的介绍,表明表面改性技术是解...

徐林 巴德纯... 《真空与低温》 2014年01期 期刊

关键词: 生物材料 / 医用316L不锈钢 / 表面改性 / 耐腐蚀性

下载(553)| 被引(15)

离子能流密度对AISI304不锈钢氮化层摩擦性能的影响  CNKI文献

采用低温等离子体氮化技术,对AISI304不锈钢进行表面氮化处理。考察了离子能流密度对不锈钢氮化层性能的影响。运用X射线衍射、扫描电镜和显微硬度计等分析手段对氮化层的物相组成及表面硬度进行分析及测量;利用球-盘...

徐林 巴德纯... 《真空科学与技术学报》 2014年10期 期刊

关键词: AISI304不锈钢 / 氮化层 / 表面改性 / 能流密度

下载(97)| 被引(5)

多级罗茨干泵泵内传热与变形的计算和实验研究  CNKI文献

间隙设计是多级罗茨干泵设计的重要参数之一。在多级罗茨干泵运转时,间隙受转子和泵腔热变形的影响较大。本文通过分析了多级罗茨干泵内部的传热过程,建立了工作过程的传热模型。通过接触式和非接触式测温方法,对多点...

刘坤 巴德纯... 《真空科学与技术学报》 2011年01期 期刊

关键词: 多级罗茨干泵 / 热变形 / 热-结构耦合 / 间隙

下载(221)| 被引(18)

高真空直排大气干泵的最新进展  CNKI文献

为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过...

刘坤 巴德纯... 《真空科学与技术学报》 2008年01期 期刊

关键词: 干式真空泵 / 高真空 / 直排大气 / 研究进展

下载(395)| 被引(30)

射频磁控溅射制备氮化钽薄膜及微结构和电性能研究  CNKI文献

采用自主研发系统,应用反应射频磁控技术,在氧化铝陶瓷样片上制备了方阻稳定性好的Ta N薄膜,研究了氮分压(N2/(N2+Ar))、沉积温度、沉积时间对Ta N膜层结构和电性能的影响,通过X射线衍射、四探针方阻仪器测试了薄膜的...

张健 巴德纯... 《真空科学与技术学报》 2015年08期 期刊

关键词: 射频磁控 / TaN薄膜 / 氮分压 / 沉积温度

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