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热厚衬底上薄膜材料热导率测量  CNKI文献

热导率是表征材料热学性能的重要参数之一.为了测量材料的热导率,人们发展了多种测量方法,光热偏转技术便是其中重要的一种.该方法已被成功地用于测量体材料和无衬底的薄膜材料的热导率,但在测量带有衬底的薄膜材料时...

崔景彪 方容川 《科学通报》 1996年03期 期刊

关键词: 薄膜 / 衬底 / 热导率 / 光热偏转

下载(170)| 被引(4)

灯丝温度对原位吸收光谱和金刚石薄膜生长的影响  CNKI文献

报道了原位红外吸收光谱在气相合成金刚石薄膜生长过程中的应用,研究了灯丝温度对原位红外吸收光谱和金刚石薄膜生长的影响。较高的灯丝温度使甲烷分解更充分,从而产生更多诸如C2H2等可能对金刚石薄膜生长有利的...

崔景彪 马玉蓉... 《高压物理学报》 1996年02期 期刊

关键词: 吸收光谱 / 原位检测 / 金刚石薄膜温度

下载(41)| 被引(7)

金刚石薄膜生长过程中反应基团的空间分布研究  CNKI文献

在众多金刚石薄膜生长的方法中,热灯丝法是其中重要的一种。为了研究其生长机理,人们使用了多种原位测量反应基团的方法,如质量谱、红外吸收、紫外吸收等,对基团的种类、作用及气相如何转变为固相进行了研究,并得到一...

崔景彪 方容川 《科学通报》 1996年13期 期刊

关键词: 金刚石薄膜 / 反应基团 / 空间分布

下载(48)| 被引(6)

用原位光发射谱研究电子增强热丝CVD金刚石膜生长过程  CNKI文献

利用光发射谱对电子增强热丝CVD金刚石薄膜的生长过程进行了原位检测,并实现空间分辨测量,系统地研究了衬底偏压、甲烷浓度、衬底温度等反应条件对原位光发射谱的影响,给出了有关反应基团空间分布及电子能量状态等对金...

崔景彪 马玉蓉... 《中国科学(A辑 数学 物理学 天文学 技术科学)》 1996年11期 期刊

关键词: 金刚石薄膜 / 生长过程 / 光发射谱 / 反应基团

下载(70)| 被引(2)

金刚石膜生长过程原位光发射谱研究  CNKI文献

In situ opticaJ eAnssion spectra for an electron assisted hot filament diamond growth process were successfully measured with spatial resolution of better than 1 mm.The ethession lines from atoAnc hy...

崔景彪 方容川 《物理化学学报》 1996年02期 期刊

关键词: 光发射谱 / 反应基团 / 电子增强热打丝CVD

下载(80)| 被引(3)

Investigation of a Hot Filament Diamond Deposition by ...  CNKI文献

In situ infrared absorption spectroscopy has been measured for a hot filament diamondgrowth process.Absorption of CH_4 and C_2H_2 species at 3050cm~(-1)and 730cm~(-1)were detectedrespectively.The abs...

崔景彪 《High Technology Letters》 1996年01期 期刊

关键词: Hot / filament / CVD / In

下载(11)| 被引(0)

光热偏转薄膜热导测试系统及其应用  CNKI文献

根据光热偏转光谱(PTDS)原理,研制成功光热偏转法薄膜热导测试系统,对大量试样进行了测量,结果同文献参考值符合较好,测量重复精度优于5%,为材料科学有关热性质的研究,特别是有关光热偏转薄膜热导率的研...

张纪法 王冠中... 《高技术通讯》 1995年02期 期刊

关键词: 光热偏转 / 薄膜 / 热扩散系数 / 热导率

下载(116)| 被引(7)

功能材料制备中的等离子体发光与过程选控  CNKI文献

近代光电子和微电子等功能材料,主要是通过物理气相淀积(PVD)和化学气相淀积(CVD)等薄膜技术制备的。在PVD和CVD材料形成过程中,往往产生等离子体过程并伴随发光。通过对PVD和CVD过程等离子体发光的原位(in situ)测量...

方容川 常超... 第九届全国发光学术会议摘要集 2001-09-01 中国会议

关键词: 等离子体 / PVD / CVD / 基团

下载(9)| 被引(0)

金刚石薄膜在多晶铜和磷脱氧铜基片上的生长  CNKI文献

分别采用99.99%的多晶铜片和99.95%的磷脱氧铜片作为沉积金刚石薄膜的基片,通过热丝化学汽相沉积法在两种基片上都获得了大面积、自支撑的多晶金刚石膜.使用高分辨率光学显微镜、扫描电子显微镜、Ram...

韩祀瑾 陈金松... 《物理学报》 1998年04期 期刊

关键词: 金刚石膜 / 片上 / 多晶铜 / 金刚石薄膜

下载(72)| 被引(6)

多孔硅的光致发光和红外吸收光谱研究  CNKI文献

用电化学腐蚀法制备出多孔硅系列样品.室温下具有明亮可见的光致发光.增大电解电流或延长腐蚀时间,发光光谱明显地“蓝移”;提高样品测量温度,发光光谱也明显地“蓝移”。红外吸收光谱表明多孔硅中除了硅丝骨架以外,还...

方容川 李清山... 《发光学报》 1992年04期 期刊

关键词: 光致发光 / 电解电流 / 原子 / 分子

下载(90)| 被引(2)

多孔硅的发光  CNKI文献

用电化学腐蚀的方法成功地制备出多孔硅系列样品,这种材料具有室温下肉眼可见的红色发光。波段分布在550-900nm之间的带状光谱,半宽度为0.31eV,峰值波长位于700nm附近。随着测量温度的升高,发光峰位兰移,发光强度随温...

方容川 李清山... 《中国科学技术大学学报》 1992年02期 期刊

关键词: 多孔硅 / 光致发光 / 量子尺寸效应。

下载(16)| 被引(1)

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