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集成电路局部缺陷及其相关的功能成品率和电迁徙问题的研究 CNKI文献
本文首先提出了对集成电路制造中局部缺陷的粒径进行分析的局部 等效圆形缺陷理论,从而得到了衡量缺陷粒径模型精度的准则。其次, 对真实缺陷轮廓的方向尺寸函数及其特征参数所具有的性质进行了...
姜晓鸿 导师:郝跃 西安电子科技大学 1998-11-01 博士论文
关键词: 局部缺陷 / IC关键面积 / 功能成品率 / 可靠性
下载(231)| 被引(9)
IC缺陷轮廓的分形插值模型 CNKI文献
现用于集成电路(IC)成品率预报及故障分析的缺陷模型均是用圆或正方形来代替真实缺陷的复杂轮廓进行近似建模的,从而在模型中引入了很大的误差.本文利用分形插值的思想直接对真实缺陷的轮廓进行模拟,从而提出了一种新...
姜晓鸿 赵天绪... 《电子科学学刊》 2000年04期 期刊
关键词: IC缺陷 / 分形插值 / IC故障 / IC成品率
下载(64)| 被引(9)
IC制造中的真实缺陷轮廓表征方法研究 CNKI文献
为了进行有效的集成电路(IC)成品率预报及故障分析,与光刻有关的硅片表面缺陷通常被假定为圆形的或方形的。然而,真实缺陷的形貌是多种多样的。本文提出一种准确的缺陷表征模型。该模型考虑了缺陷的真实轮廓,并...
姜晓鸿 郝跃... 《电子学报》 1998年02期 期刊
关键词: IC缺陷 / 成品率 / 故障概率 / 等效圆形缺陷
下载(63)| 被引(18)
系统内电磁兼容性(EMC)问题的建模及其优化设计 CNKI文献
本文给出了系统电磁兼容性问题的一般分析模型,并导出该模型在一定条件下所具有的特殊形式及性质;由此分析结果并结合一定的优化处理方法,得到了为保证系统在其工作的电磁环境中的电磁兼容性,其耦合路径下所应满足...
姜晓鸿 邱扬 《系统工程与电子技术》 1996年06期 期刊
关键词: 电磁兼容性 / 线性 / 系统分析 / 非线性规化
下载(164)| 被引(4)
IC制造中真实缺陷轮廓的分形特征 CNKI文献
为了进行有效的集成电路(IC)成品率预报及故障分析,与光刻有关的硅片表面缺陷通常被假定为圆形的或方形的.然而,真实的缺陷的形貌是多种多样的.本文讨论了缺陷轮廓所具有的分形特征.该结果为硅片表面缺陷的精...
姜晓鸿 郝跃... 《半导体学报》 1998年02期 期刊
关键词: 缺陷轮廓 / 形貌 / 表征 / 表面缺陷
下载(49)| 被引(13)
一种IC缺陷轮廓建模的新方法 CNKI文献
现用于集成电路(IC)成品率预报及故障分析的缺陷模型均是用圆或正方形来代替真实缺陷的复杂轮廓进行近似建模的,从而在模型中引入了很大的误差.本文利用分段线性插值的思想直接对真实缺陷的方向尺寸进行逼近,从...
姜晓鸿 赵天绪... 《电子学报》 1999年05期 期刊
关键词: IC缺陷模型 / 分段线性插值 / IC故障概率 / IC成品率
下载(58)| 被引(9)
IC缺陷轮廓的盒维数及其方向的分布特征 CNKI文献
为了对IC进行有效的成品率预报及故障分析,硅片表面与光刻有关的缺陷通常被假设为圆形的或方形的,然而,真实缺陷的形貌是多种多样的.本文对真实缺陷轮廓的盒维数及其描述真实缺陷方向的最小尺寸的方向角θmin...
姜晓鸿 郝跃... 《半导体学报》 1998年08期 期刊
关键词: 缺陷轮廓 / IC / 计盒维数 / 分布特征
下载(18)| 被引(2)
IC丢失物缺陷粒径的表征及其轮廓的分形特征 CNKI文献
对现有的IC制造中丢失物缺陷轮廓的建模方法进行了比较,说明现有方法存在的问题并得到了一些有意义的结论;分析了IC制造中丢失物缺陷轮廓所具有的分形特征,为实现硅片表面丢失物缺陷的精细表征及其计算机模拟打...
姜晓鸿 郝跃... 《西安电子科技大学学报》 1997年04期 期刊
关键词: 集成电路 / 丢失物缺陷 / 分形
下载(24)| 被引(0)
IC制造中真实缺陷轮廓模型的比较 CNKI文献
本文对现有的IC制造中真实缺陷轮廓的建模方法进行了比较,得到了一些有意义的结果。该结果为进行有效的集成电路(IC)成品率预报及故障分析提供了有益的借鉴。
姜晓鸿 郝跃... 《电子科学学刊》 1998年02期 期刊
关键词: IC缺陷 / IC缺陷模型 / IC故障 / 局部等效圆形缺陷
下载(29)| 被引(0)
集成电路制造中真实缺陷位置的提取方法 CNKI文献
提出一种IC缺陷特征的提取算法,该算法能自动检测出IC缺陷的位置.在预处理阶段,利用形态开运算消除小缺陷和背景噪音,对开后的结果图像进行形态腐蚀,获得冗余物型缺陷的位置特征.实验证明了该算法的正确性....
王俊平 姜晓鸿... 《西安电子科技大学学报》 1999年04期 期刊
关键词: IC缺陷 / 缺陷位置提取 / 形态算子
下载(69)| 被引(5)
DRM博弈控制分析 CNKI文献
提出了一种博弈控制模型。博弈的控制者是全局理性的,并依据控制目标来选择策略,迫使被控者依据个体理性原则选择控制者期望的策略,从而实现全局的优化控制。在此基础上,分析了DRM价值链实体的关系和行为,建立了DRM博...
马国峻 裴庆祺... 《通信学报》 2012年S1期 期刊
关键词: DRM / 博弈论 / 控制 / 纳什均衡
下载(116)| 被引(2)
K次程序的定义和构造 CNKI文献
在一次程序研究的基础上,针对K次程序的特性和构造理论研究不足问题,以形式化的定义阐明了K次程序的特性,并研究了K次程序的构造条件和构造方法.给出了不可以构造为K次程序的程序特性,为K次程序的构造提供了必要条件;...
马国峻 裴庆祺... 《西安电子科技大学学报》 2012年01期 期刊
关键词: 一次程序 / K次程序 / 加密电路 / 一次内存
下载(57)| 被引(1)
集成电路功能成品率的研究 CNKI文献
集成电路功能成品率的研究是集成电路可制造性工程和设计中的重要内容。本文主要对导致成品率下降的缺陷的轮廓模型和集成电路的功能成品率的研究作了简单介绍。
赵天绪 何广平... 《宝鸡文理学院学报(自然科学版)》 1999年03期 期刊
关键词: 集成电路 / 成品率 / 缺陷 / 关键面积
下载(62)| 被引(2)
集成电路成品率与效益协调优化模型 CNKI文献
构造了一个光滑连续的价格函数,它兼具了IC效益极大化中价格函数及成品率极大化中检验函数的主要特点;在此基础上讨论了该价格函数的性质,并建立了一个IC成品率与效益协调优化模型,给出了该模型的求解策略.
周涤非 王宇平... 《西安电子科技大学学报》 1998年01期 期刊
关键词: 价格函数 / 成品率 / 效益协调优化
下载(26)| 被引(4)
基于丢失手缺陷的IC互连线失效评估新模型 CNKI文献
在分析现有的集成路互连线失效评估模型的基础上 ,提出了一种考虑丢失物缺陷影响的IC互连接线电迁移损失新模型 .在 IC电路设计中 ,这种新模型可用于估计与丢失物缺陷及其它因素有关的 IC互连线电迁移损失
赵天绪 段旭朝... 《宝鸡文理学院学报(自然科学版)》 2002年01期 期刊
关键词: 丢失物缺陷 / 电迁移 / 失效估模型
下载(34)| 被引(1)