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分子束外延设备  CNKI文献

分子束外延(简称MBE)技术是近十年来基于真空蒸发技术发展起来的一门晶体生长新技术,它是在超高真空(10~(-10)托)条件下,控制不同束流成分和密度的分子束,打在一定温度的单晶衬底上,按化学配比进行结晶外延生长的。MB...

分子束外延设备研制组 《仪器仪表学报》 1981年04期 期刊

关键词: 分子束外延 / 反射高能电子衍射 / MBE

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